rena技術(shù)員培訓(xùn)ppt課件(編輯修改稿)
2025-02-06 17:20 本頁面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 進(jìn)入手動(dòng)添加界面 曲線圖 進(jìn)入報(bào)警信息界面 取消蜂鳴 取消報(bào)警 RENA主界面詳細(xì)說明 各添加桶狀態(tài) 冷水機(jī)狀態(tài) 儲(chǔ)液箱狀態(tài) 儲(chǔ)液箱進(jìn)口溫度 儲(chǔ)液箱設(shè)定溫度 儲(chǔ)液箱實(shí)際溫度 冷水機(jī)內(nèi)自來水的電導(dǎo)率 集中供液是否 READY 機(jī)器內(nèi)化學(xué)品排放是否 READY RENA手動(dòng)模式狀態(tài)詳解 1） 刻蝕槽界面 RENA刻蝕槽界面介紹 MODE MANamp。MODE AUTO自動(dòng)運(yùn)行時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換 PT FILLING DI儲(chǔ)液槽加純水 PT FILLING CHEMIE儲(chǔ)液槽加化學(xué)藥品 SYSTERM RINSING整個(gè)系統(tǒng) (包括外槽內(nèi)槽儲(chǔ)液槽 )用純水清洗 SYSTERM DRAINING整個(gè)系統(tǒng)排液 BATH CHANGE刻蝕槽儲(chǔ)液槽排空 ,再重新配液 START MAIN FUNCTION在手動(dòng)模式下單個(gè)槽運(yùn)行工藝 RINSE BATH START開始用純水不斷清洗 (只有在槽內(nèi)加滿純水后次按鍵才有作用 ) RINSE BATH STOP純水清洗結(jié)束 FILL BATH給刻蝕槽加化學(xué)藥品 (如果儲(chǔ)液槽內(nèi)是純水則加的是純水 ) DRAIN BATH刻蝕槽排液 RENA刻蝕槽功能 第一次配槽的設(shè)定體積 實(shí)際加入的體積 未加入的體積 (點(diǎn)擊上圖的 REST REMAIN 以清零） 流量 2） RENISE1界面 RENISE1功能 MODE MANamp。MODE AUTO自動(dòng)運(yùn)行時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換 FILLING DI給槽內(nèi)加純水（ RENISE１的水是RENISE２槽的水溢流過來的） DRAINING整個(gè)槽排液 START PROCESS在手動(dòng)模式下單個(gè)槽運(yùn)行工藝 STOP結(jié)束操作 RENISE 1槽的狀態(tài) 3） RENA堿槽界面 堿槽功能 MODE MANamp。MODE AUTO自動(dòng)運(yùn)行時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換 FILLING DI給槽內(nèi)加純水 FILLING CHEMIE加化學(xué)藥品（初始配槽） RINSING用純水清洗 DRAINING整個(gè)槽排液 START CIRCULATION開始循環(huán)（只有加滿純水或化學(xué)藥品后此功能才起作用，此步驟程序內(nèi)有時(shí)間計(jì)算，會(huì)自動(dòng)停止，是整個(gè)槽達(dá)到 READY的基本條件之一） START ETCHING在手動(dòng)模式下單個(gè)槽運(yùn)行工藝 STOP結(jié)束操作 初始配槽時(shí) KOH和水的體積 4） RENISE2界面介紹 RENISE2功能 MODE MANamp。MODE AUTO自動(dòng)運(yùn)行時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換 FILLING DI給槽內(nèi)加純水（ RENISE2的水是RENISE3槽的水溢流過來的） DRAINING整個(gè)槽排液 START PROCESS在手動(dòng)模式下單個(gè)槽運(yùn)行工藝 STOP結(jié)束操作 RENISE 2槽的狀態(tài) 5） HF槽界面介紹 HF槽功能 MODE MANamp。MODE AUTO自動(dòng)運(yùn)行時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換 FILLING DI給槽內(nèi)加純水 FILLING CHEMIE加化學(xué)藥品（初始配槽） RINSING用純水清洗 DRAINING整個(gè)槽排液 START CIRCULATION開始循環(huán)（只有加滿純水或化學(xué)藥品后此功能才起作用，此步驟程序內(nèi)有時(shí)間計(jì)算，會(huì)自動(dòng)停止，是整個(gè)槽達(dá)到 READY的基本條件之一） START ETCHING在手動(dòng)模式下單個(gè)槽運(yùn)行工藝 STOP結(jié)束操作 初始配槽時(shí) HF和水的體積 6） RENISE3界面介紹 RENISE3功能 MODE MANamp。MODE AUTO自動(dòng)運(yùn)行時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換 FILLING DI給槽內(nèi)加純水（ RENISE2的水是RENISE3槽的水溢流過來的） DRAINING整個(gè)槽排液 START PROCESS在手動(dòng)模式下單個(gè)槽運(yùn)行工藝 STOP結(jié)束操作 RENISE ３槽的狀態(tài) 7） DR
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