第六章電子束和離子束加工(編輯修改稿)
2024-11-16 11:59 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 如在硅片上刻出寬 、深 ，在混合電路電阻的金屬鍍層上刻出 40 微米寬的線條。 12 第六章 電子束和離子束加工 （四）焊接 電子束焊接是利用電子束作為熱源的一種焊接工藝。由于電子束的能量密度高，焊接速度快，所以電子束焊接的焊縫深而窄，熱影響區(qū)小，變形小。電子束焊接一般不用焊條，焊接過程在真空中進行，因此焊縫化學成分純凈， 焊接接頭的強度往往高于母材 。 電子束焊接可以焊接難熔金屬如鉭、鈮、鉬等，也可焊接鈦、鋯、鈾等化學性能活潑的金屬。它 可焊接很薄工件，也可焊接幾百毫米厚的工件。 電子束焊接還能完成一般焊接方法難以實現(xiàn)的異種金屬焊接。 如銅和不銹鋼的焊接，鋼和硬質(zhì)合金的焊接， 13 第六章 電子束和離子束加工 （五）熱處理 電子束熱處理也是把電子束作為熱源．但適當控制電子束的功率密度．使金屬表面加熱而不熔化，達到熱處理的目的。 電子束熱處理在真空中進行，可以防止材料氧化。 （ 六）光刻 電子束光刻先利用低功率的電子束照射高分子材料，由入射電子束與高分子相碰撞，經(jīng)電子曝光后，在高分子材料中留下潛像。 14 第六章 電子束和離子束加工 15 第六章 電子束和離子束加工 離子束加工 （ ion beam machining， IBM） 一、原理、分類和特點 離子束加工是在真空條件下利用離子源（離子槍）產(chǎn)生的離子經(jīng)加速聚焦形成高能的離子束流投射到工件表面，使材料變形、破壞、分離以達到加工目的。 因為離子帶正電荷且質(zhì)量是電子的千萬倍，且加速到較高速度時，具有比電子束大得多的撞擊動能，因此，離子束撞擊工件將引起變形、分離、破壞等機械作用，而不像電子束是通過熱效應進行加工。 16 第六章 電子束和離子束加工 離子束
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