材料測試分析方法131xps(編輯修改稿)
2025-06-19 22:50 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 》 ? 樣品表面的清潔； ? 樣品表面層的離子刻蝕； ? Ar離子 ，氧離子，銫離子，鎵離子等 ? 固定濺射和掃描濺射方式 ? 濺射的均勻性 ? 濺射過程的其他效應 《 材料分析測試方法 》 ? 電子的平均自由程；（ 10－ 5 torr， 50m） ? 清潔表面（ 10－ 6 torr， 1s，原子單層） ? 場發(fā)射離子槍要求（ 108 torr ） ? XPS要求： 108 torr以上 《 材料分析測試方法 》 6. 成像 XPS ? 給出的是元素分布像 ? 可給出元素化學成份像 ? 可進行顯微分析 ? 8微米分辨率 《 材料分析測試方法 》 三、 XPS樣品制備 ? X射線光電子能譜儀對待分析的樣品有特殊的要求，在通常情況下只能對固體樣品進行分析。 ? 由于涉及到樣品在超高真空中的傳遞和分析，待分析的樣品一般都需要經(jīng)過一定的預處理。 ? 主要包括樣品的大小，粉體樣品的處理 , 揮發(fā)性樣品的處理，表面污染樣品及帶有微弱磁性的樣品的處理。 《 材料分析測試方法 》 ? 在實驗過程中樣品通過傳遞桿，穿過超高真空隔離閥，送進樣品分析室。因此，樣品尺寸必須符合一定規(guī)范。 ? 對于塊體樣品和薄膜樣品，其長寬最好小于 10mm, 高度小于 5 mm。 ? 對于體積較大的樣品則必須通過適當方法制備成合適大小的樣品。但在制備過程中，必須考慮到處理過程可能會對表面成分和狀態(tài)的影響。 1. 樣品的尺寸 《 材料分析測試方法 》 2. 粉體樣品 ? 粉體的兩種制樣方法： ? 用雙面膠帶直接把粉體固定在樣品臺上 ? 把粉體樣品壓成薄片，再固定于樣品臺上 ? 前者的優(yōu)點是制樣方便，樣品用量少，預抽高真空時間短，缺點是可能會引進膠帶的成分。在普通的實驗過程中，一般采用膠帶法制樣。 ? 后者的優(yōu)點是可在真空中對樣品進行處理，如原位和反應等，其信號強度也要比膠帶法高得多。缺點是樣品用量太大，抽到超高真空的時間太長。 《 材料分析測試方法 》 3. 揮發(fā)性材料 ? 對于含有揮發(fā)性物質(zhì)的樣品，在樣品進入真空系統(tǒng)前必須清除掉揮發(fā)性物質(zhì)。 ? 一般可以通過對樣品加熱或用溶劑清洗等方法。 ? 在處理樣品時，應該保證樣品中的成份不發(fā)生、化學變化。 《 材料分析測試方法 》 4. 污染樣品 ? 對于表面有油等有機物污染的樣品，在進入真空系統(tǒng)前必須用油溶性溶劑如環(huán)己烷，丙酮等清洗掉樣品表面的油污。最后再用乙
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