位移檢測傳感器之光柵傳感器(編輯修改稿)
2025-06-17 03:37 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 位移傳感器 15 3241 尺光柵 示光柵 電元件 4 .光 源光柵的構(gòu)造： 16 2. 長光柵位移傳感器 ? 根據(jù)不同的設(shè)計要求，光柵可以制成透射光柵和反射光柵。 ? 透射光柵的柵線刻制在透明材料上，要求較高時，可以采用光學(xué)玻璃；而指示光柵最好采用光學(xué)玻璃。 ? 反射光柵的柵線刻制在具有反射率很高的金屬或鍍以金屬膜的玻璃上。 17 ? 由于采用不同形式的光柵，光學(xué)系統(tǒng)也各不相同，常采用的光學(xué)系統(tǒng)有： ? (1)透射式光路 ? (2)反射式光路 3. 光學(xué)系統(tǒng) 18 （ 1） 透射式光路 ? 光源 5發(fā)出的光線經(jīng)準(zhǔn)直透鏡 4變成平行光，入射到指示光柵 3上，經(jīng)過指示光柵 3和標(biāo)尺光柵 2，再透射到光敏元件 1上。 ? 一般標(biāo)尺光柵固定不動，而光源、指示光柵和光敏元件固定在被測位移體上，莫爾條紋的移動信號被光敏元件接收。每當(dāng)亮帶通過光敏元件時，有一個相應(yīng)的電信號輸出。 19 透射式光柵 20 （ 2） 反射式光路 ? 光源 1發(fā)出的光線經(jīng)聚光鏡 2及場鏡 4后以平行光束射向指示光柵 5上，再經(jīng)標(biāo)尺光柵 6反射后形成莫爾條紋，通過反射鏡 3和物鏡系統(tǒng) 7把莫爾條紋的信號送入光敏元件 8上 . ? 當(dāng)指示光柵與標(biāo)尺光柵有相對位移時，光敏元件可接收到移動的莫爾條紋信號。 21 反射式光柵 22 長光柵式位移傳感器的特點 ? 長光柵位移傳感器的測長精度可達(dá) ～3?m (3000mm范圍內(nèi) )，分辨力可達(dá) ?m,可進(jìn)行無接觸測量 23 ? 用兩塊刻線數(shù)目相同，切線圓半徑分別為 rr2的切向圓光柵同心放置，所產(chǎn)生的環(huán)形莫爾條紋如圖所示 4. 圓光柵 ? 其條紋間距為 21 rrWRHB ??24 ? 用兩塊刻線數(shù)目相同的徑向圓光柵偏心放置，偏心量為 e，這時形成不同曲率半徑的圓弧形莫爾條紋如圖所示 4. 圓光柵 ? 其條紋間距為 eWRHB ?25 ? 動光柵固定在轉(zhuǎn)軸上，因此，可將軸旋轉(zhuǎn)的角度量變換成莫爾條紋信號。通過光電轉(zhuǎn)換元件，將莫爾條紋的變化轉(zhuǎn)換成近似于正弦波形的電信號。測角精度可達(dá) ”，分辨力可達(dá) ”，甚至更高。 4. 圓光柵 26 二、
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