位移檢測(cè)傳感器之光柵傳感器-展示頁(yè)
2025-05-24 03:37本頁(yè)面
【正文】 塊光柵的縫隙相交處形成暗帶（ bb），這種亮帶和暗帶形成明暗相間的條紋，這些條紋稱為 莫爾條紋。刻痕之間的距離為柵距 W。 ? 用玻璃制成的光柵稱為透射光柵，它是在透明玻璃上刻出大量等寬等間距的平行刻痕，每條刻痕處是不透光的，而兩刻痕之間是透光的。1 第三節(jié) 大位移檢測(cè)傳感器 二、光柵位移傳感器 2 二、光柵式位移傳感器 ? 光柵式位移傳感器有測(cè)量 線位移 的 長(zhǎng)光柵 和測(cè)量 角位移 的 圓光柵 。 3 光柵式位移傳感器的分類 1 測(cè)量線位移的長(zhǎng)光柵 2 測(cè)量角位移的圓光柵 4 長(zhǎng)光柵 圓光柵 5 ? 由大量等寬等間距的平行狹縫組成的光學(xué)器件稱為光柵，如圖所示。 ? 光柵的刻痕密度一般為每厘米 2 50、 100線。 莫爾條紋 6 光柵結(jié)構(gòu)放大圖 7 ? 長(zhǎng)光柵是在兩塊光學(xué)玻璃上或具有強(qiáng)反射能力的金屬表面上，刻上相同的均勻密集的平行細(xì)線。 條紋方向與刻線方向近似垂直。 莫爾條紋 9 若光柵柵距為 W，兩個(gè)相鄰莫爾條紋的間距為 BH，（即莫爾條紋中兩條暗紋或兩條亮紋之間的距離）則有 2 ( s in / 2 )HWWB????莫爾條紋 這里 θ 是弧度，如果夾角為 ，則θ =*π ,則 BH=573W,相當(dāng)于把柵距放大了 573倍。光柵運(yùn)動(dòng)方向改變，莫爾條紋的運(yùn)動(dòng)方向也作相應(yīng)改變。這相當(dāng)于把柵距 W放大了 1/θ 倍?？梢詫?shí)現(xiàn)高靈敏的位移測(cè)量 ) 莫爾條紋有如下特點(diǎn) 11 —— 當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線垂直方向作相對(duì)移動(dòng)時(shí)，莫爾條紋的光強(qiáng)度隨條紋移動(dòng)近似按 正弦規(guī)律 變化。通過(guò)光電元件，可將莫爾條紋移動(dòng)時(shí)光強(qiáng)的變化轉(zhuǎn)換為近似正弦變化的電信號(hào)，如圖所示。通過(guò)莫爾條紋所獲得的精度可以比光柵本身柵線的刻劃精度還要高。如采用 100線 /mm光柵時(shí)，若光柵移動(dòng)了 xmm(即移過(guò) 100x條光柵柵線時(shí)），則從光電元件前掠過(guò)的莫爾條紋也是 100x條。將此莫爾條紋產(chǎn)生的電脈沖信號(hào)計(jì)數(shù)，就可知道移動(dòng)的實(shí)際位移。光柵每移動(dòng)一個(gè)柵距 W，莫爾條紋移動(dòng)一個(gè)條紋間距 BH，通過(guò)測(cè)量莫爾條紋移過(guò)的數(shù)目，即可得出光柵的位移量。查看莫爾條紋的上下移動(dòng)方向，即可確定主光柵左右移動(dòng)方向 . 莫爾條紋的光強(qiáng)度隨
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