xps原理及使用分析(編輯修改稿)
2025-06-15 16:44 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 子在射出表面的同時，可能激發(fā)固體中某些過程從而自身能量發(fā)生損失： （ 1）聲子激發(fā)或點(diǎn)陣振動 能量為幾十 meV，只能在高分辨譜中觀察到。 （ 2）等離子激發(fā) （ 3）各種單、雙粒子激發(fā) XPS能譜儀的構(gòu)成 主要： 超高真空系統(tǒng)； X射線源； 能量分析系統(tǒng) 電子控制系統(tǒng) 數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng) 進(jìn) 樣 室分 析 室X 光 槍真 空 系 統(tǒng)能 量 分 析 器計 算 機(jī) 系 統(tǒng)離 子 槍X射線光電子能譜儀結(jié)構(gòu)框圖 三、儀器結(jié)構(gòu) X射線的產(chǎn)生 X射線源的結(jié)構(gòu) X射線的單色化 X射線的聚焦和掃描 Mg/Al雙陽極 X射線源 ? 能量范圍適中（ Mg： ， Al： ） ? X射線的能量范圍窄（ eV） ? 能激發(fā)幾乎所有的元素產(chǎn)生光電子； ? 靶材穩(wěn)定，容易保存以及具有較高的壽命 X射線的產(chǎn)生：陰極發(fā)射電子，直流高壓電場對電子加速，高速碰撞陽極， 產(chǎn)生特征 X射線 其中， ΔEx—X射線半寬度 ΔEe—光電子自然能量分布，與樣品材料有關(guān)（不確定關(guān)系） ΔEs—固態(tài)寬化效應(yīng)，激發(fā)光電子時產(chǎn)生晶格振動，即聲 子對譜的影響 ΔE
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