種基于厚膜陶瓷電容的微位移傳感器(編輯修改稿)
2025-06-07 01:28 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 R 12R L 3 _1 00 KR 13R B _ 10 0KC4C r e f_2 .2 uC3C os cC1C L 1C5C vm _0 .1 uC2C L 2V C C 24 V12J1P O W E RV C C 24 VG N DR 15R os c 2R4R c xC6C A PC8C R _ B LC 10C M _ B LR 16R C R 2R 17R C M 2R 18R L 1 _2R 19R A _ 2C7CRC9CMC 11C os c _b lR5R C RR6R C MR8R L 1R1P O T 2R 11R A _ 10 0KR3R os c2021/6/8 22 信號處理電路（ 2021版） ? 右圖為 08版信號處理電路實物照片，采用雙面布線，較厚；當時采用的容轉(zhuǎn)壓芯片XE2021現(xiàn)已停產(chǎn)。 2021/6/8 23 信號處理電路（ 2021版） ? 右圖為 09版信號處理電路實物照片，采用 CAV414容轉(zhuǎn)壓芯片，性能較好。 2021/6/8 24 信號處理電路（ 2021版） ? 右圖為 09版信號處理電路實物照片 ， 采用厚膜工藝實現(xiàn)信號處理電路與電容芯片的一體化集成 ，性能優(yōu)異 。 2021/6/8 25 四、微位移傳感器性能優(yōu)化 ? 邊緣效應的消除； ? 寄生電容干擾的排除； ? 溫度穩(wěn)定性的提高； ? 信號處理電路優(yōu)化設計 傳感器 非線性誤差 2021/6/8 26 傳感器的非線性分析與補償 傳感器非線性產(chǎn)生的主要原因： 邊緣效應 。 寄生電容； 溫、濕度的干擾； 2021/6/8 27 邊緣效應引起的非線性 ? 當極板厚度 t和間隙 δ之比相對較大時，邊緣效應的影響就不能忽略 。 ? 邊緣電場將發(fā)生畸變，使工作不穩(wěn)定，非線性誤差增加。 2021/6/8 28 ?邊緣效應造成傳感器邊緣電場畸變，使工作不穩(wěn)定，非線性誤差增加 2016l n ( )rr r hC r f????? ? ??? ??? ? ??? ??????h? 其中 ； 為邊緣效應因子； h為極板厚度； δ 為間隙 2021/6/8 29 克服邊緣效應造成傳感器邊緣電場畸變； 增加性能穩(wěn)定性，減小非線性誤差。 設計保護環(huán)電路，消除邊緣效應： 在上電極增加參考電極 2021/6/8 30 邊緣效應的消除方法 ? 增設補償電容：在結(jié)構(gòu)設計時 ,采用帶有補償電容 (保護環(huán) )的結(jié)構(gòu)，為消除邊緣效應的影響，； ? 補償電容與測量電容同心，電氣上絕緣，且間隙越小越好； ? 補償電容始終保持等電位，以保證測量電容（中間工作區(qū)）始終得到均勻
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