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正文內(nèi)容

基于位移傳感器的折射率測量系統(tǒng)(編輯修改稿)

2025-02-14 14:47 本頁面
 

【文章內(nèi)容簡介】 ;(15)小齒輪;(16)電機(jī)該折射率測試系統(tǒng)主要由精密機(jī)械傳動機(jī)構(gòu)、光學(xué)成像系統(tǒng)、位移傳感器檢測系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)幾大部分構(gòu)成。其中:精密機(jī)械直線傳動機(jī)構(gòu)主要由電機(jī)驅(qū)動齒輪做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動,迫使鏡筒 A 沿著螺旋槽做直線傳動;線性位移傳感器構(gòu)成傳感器檢測系統(tǒng)的核心;光學(xué)成像系統(tǒng)采用三片式攝像物鏡系統(tǒng),CCD 接收成像,整個系統(tǒng)采用人機(jī)交互測量。上位機(jī)控制系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的主要負(fù)責(zé)對精密機(jī)械傳動機(jī)構(gòu)的控制,采集光學(xué)成像系統(tǒng)的位移信號,并通過上位程序的計(jì)算,獲得最終的測試結(jié)果。 成像光學(xué)系統(tǒng)成像光學(xué)系統(tǒng)用于對被測件光學(xué)平板成像與 CCD 圖像傳感器中,是系統(tǒng)內(nèi)的核心部分,儀器中的光學(xué)成像系統(tǒng)安裝在由電機(jī)驅(qū)動的鏡筒中。本儀器所使用的光學(xué)系統(tǒng)由圖像接收系統(tǒng)和圖像采集系統(tǒng)兩部分組成。本文所設(shè)計(jì)的光學(xué)系統(tǒng)采用三片式攝影物鏡系統(tǒng),其透鏡的厚度較小,這種物鏡結(jié)構(gòu)對像差影響較小,一般不作為變量,可直接根據(jù)透鏡的通光孔徑和工藝要求決定,能夠滿足設(shè)計(jì)需要。在安放成像光學(xué)系統(tǒng)的鏡筒的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中,如圖 所示,安裝過程中不但需要保證整個系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的完整性,也同樣需要保證透鏡與透鏡之間要有一定的調(diào)整量,11鏡筒內(nèi)部要有可利用的空間,從而保證成像系統(tǒng)在鏡筒內(nèi)能夠做直線運(yùn)動,并產(chǎn)生系統(tǒng)檢測所需的位移量。系統(tǒng)內(nèi)的透鏡鏡片用壓圈加以固定,用彈簧和螺紋帽來進(jìn)行透鏡之間距離的調(diào)整。圖 鏡筒的機(jī)械結(jié)構(gòu)圖1 鏡片 1;2 隔圈 1;3 鏡片 2;4 隔圈 2;5 鏡片 3;6 壓圈;7 鏡筒 精密傳動機(jī)構(gòu)及其電控系統(tǒng) 傳動機(jī)構(gòu)及電控系統(tǒng)原理圖如圖 所示,電控系統(tǒng)和精密傳動機(jī)構(gòu)是折射率測量系統(tǒng)的核心組成部分,兩者的相互配合實(shí)現(xiàn)了對被測樣品平行平板的測量。所以電控系統(tǒng)和傳動機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)直接影響到整個折射率測量系統(tǒng)的工作精度、效率等。由于測量時不能直接就進(jìn)行數(shù)據(jù)的采集,所以電控系統(tǒng)和傳動機(jī)構(gòu)主要完成兩個動作,其一是負(fù)責(zé)整個測量系統(tǒng)的傳動,其二是負(fù)責(zé)位移傳感器信號的檢測,只有兩個動作協(xié)調(diào)配合才能實(shí)現(xiàn)對被測樣品平行平板的折射率的高精度的測量。本章根據(jù)論文要求,完成了其所需的傳動機(jī)構(gòu)及電控系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。電控系統(tǒng)完成對整個系統(tǒng)的協(xié)調(diào)控制,整個傳動系統(tǒng)由步進(jìn)電機(jī)提12供動力,通過高精度大齒輪的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動整個系統(tǒng)的運(yùn)動,通過位移傳感器拉桿的直線運(yùn)動得到所需要的測量數(shù)據(jù)。整個系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊,布局簡潔合理,能夠滿足測量要求。圖 控制系統(tǒng)原理框圖整個電控系統(tǒng)的原理圖如圖 所示,其由電機(jī)、位移傳感器、圖像采集卡、上位機(jī)、穩(wěn)壓電源等組成。其中,整個折射率測量系統(tǒng)的核心成像光學(xué)系統(tǒng)的調(diào)整是由上位機(jī)指令控制與處理電路,控制電機(jī)驅(qū)動凸輪筒來實(shí)現(xiàn)的,以保證系統(tǒng)檢測過程的進(jìn)行。整個電控系統(tǒng)以上位機(jī)為核心,通過電機(jī)驅(qū)動光學(xué)系統(tǒng)直線運(yùn)動,位移傳感器采集的位置信息經(jīng)過電壓轉(zhuǎn)換、濾波等前端處理,送入上位機(jī);CCD 攝像機(jī)進(jìn)行圖像采集的圖像信息通過圖像采集卡送入上位機(jī);上位機(jī)通過計(jì)算機(jī)圖像識別技術(shù)對圖像及數(shù)據(jù)信號統(tǒng)一接收、處理,最終顯示檢測結(jié)果。 計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)圖像處理系統(tǒng)計(jì)算機(jī)圖像采集處理系統(tǒng)主要由計(jì)算機(jī)控制,被測物體圖像經(jīng)前方圖像采集系統(tǒng)采集后,將圖像電信號傳輸儲存到 PC 內(nèi),將電信號經(jīng)過 D/A 轉(zhuǎn)換為視頻信號,將所采集到的圖像最終呈現(xiàn)在計(jì)算機(jī)上,然后根據(jù)對所需不同圖像要求,對所采集到的圖像信息進(jìn)行進(jìn)一步的處理,如像質(zhì)評定,被測物體的物理分析,圖像局部分析評定等,然后根據(jù)圖像分析處理后,再進(jìn)行再次光學(xué)系統(tǒng)調(diào)焦、圖像采集、圖像處理等操作。如圖 所示為圖像處理系統(tǒng)原理圖,首先,被測件光學(xué)平行平板經(jīng)由光學(xué)系統(tǒng)成像,被圖像采集系統(tǒng)機(jī)器視覺 CCD 所接收,再經(jīng)由 CCD 將前方傳來的光信號轉(zhuǎn)換為電信號傳輸給圖像處理系統(tǒng)進(jìn)行進(jìn)一步圖像處理工作,然后經(jīng)過圖像處理系統(tǒng)處理過的電信號轉(zhuǎn)換為視頻影像信號,最后由計(jì)算機(jī)進(jìn)行圖像輸出顯示。當(dāng)圖像采集系統(tǒng)所采集圖像不是清晰有效像時,計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)會發(fā)出相應(yīng)指令,控制機(jī)械調(diào)焦系統(tǒng)來調(diào)節(jié)系統(tǒng)的機(jī)械結(jié)構(gòu),進(jìn)而調(diào)節(jié)光學(xué)系統(tǒng)中得相應(yīng)鏡片結(jié)構(gòu),使得待測物體處于遠(yuǎn)13近任何位置時,自始至終都將獲得清晰有效像。圖 圖像處理系統(tǒng)原理圖本系統(tǒng)通過結(jié)合光、機(jī)、電一體化有效組合,即可將需求的待測物體數(shù)據(jù)通過簡單便捷的方式存儲輸出與計(jì)算機(jī)上。 本章小結(jié)本章主要完成了基于位移傳感器的折射率測量系統(tǒng)的總體結(jié)構(gòu)方案設(shè)計(jì),并著重介紹了該系統(tǒng)的基本測量原理,同時闡述了該系統(tǒng)內(nèi)各個組成機(jī)構(gòu)的主要工作原理。整個測量系統(tǒng)具有較好的穩(wěn)定性,良好的可操作性,方便易用,自動化程度較高。14第三章 成像光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì) CCD 的選取 CCD 與 CMOS 對比 CCD 成像器件和 CMOS 成像器件都是利用光電轉(zhuǎn)換原理制成,這種轉(zhuǎn)換原理與太陽能發(fā)電的原理相近,都是利用光照射轉(zhuǎn)化為電信號,光的能量越強(qiáng),電信號越強(qiáng),反之光能量越弱,電信號也越弱,根據(jù)這點(diǎn),就可以實(shí)現(xiàn)對光圖像到電信號的轉(zhuǎn)換。 兩者雖然原理相近,但也是各有利弊,對于兩者從技術(shù)方面進(jìn)行對比,有以下四點(diǎn)不同:(1) 它們的信息讀取方式不同CCD 上由于光的照射而產(chǎn)生的儲存電荷,需要一位一位的傳輸,還要有同步信號進(jìn)行控制,其輸出時還需要有三組不同的電源和時鐘控制電路的配合,整體而言比較復(fù)雜。CMOS 是將光的照射直接的變?yōu)殡娦盘?,然后一起讀取,比較 CCD 的信息讀取要簡單。(2) 它們的速度不同CCD 在時鐘電路下,讀取信息,需要一位一位的讀取,然后一位一位的輸出,速度較慢;而 CMOS 對信息的采集是同時的,一下就可以讀取,同時還可處理圖像信息,比 CCD 要快很多。(3) 它們的能量消耗不同 CCD 需要三組電源為其供電,能量消耗較大;而 CMOS 只需要一個電源就足以對其進(jìn)行供電,能量消耗要小于 CCD。較小的能量消耗,使 COMS 在功耗上占有很大優(yōu)勢。(4) 它們的成像質(zhì)量不同CCD 成像技術(shù)很早便被大家廣泛研究,技術(shù)已經(jīng)很成熟,而且其已經(jīng)采用了很多新技術(shù)減小了噪聲對成像質(zhì)量的影響,比起 COMS 要有很大的優(yōu)勢。 除了上面所說的以外,在成像效果上還有一定的差異,其中包括感光面積及靈敏度差異、生產(chǎn)成本差異、解析度的差異、噪點(diǎn)比的大小、功耗等。感光面積及靈敏度差異:CMOS 的成像像素眾多,在每一個像素都接有處理電路和放大器,所以在相同的像素和相同的感光面積下,CMOS 的總體感光面積要小于CCD 的感光面積,因此 COMS 的靈敏度要低于 CCD 的靈敏度。生產(chǎn)成本差異:對于 CMOS 的生產(chǎn)制作一般都是采用半導(dǎo)體工業(yè)中的 MOS 制程,它可以用單晶片一次的將周邊的設(shè)施統(tǒng)一整合,這樣可以節(jié)約成本同時也減少故障的損失;由于 CCD 本身是采用電荷移動傳輸來輸出信號的,當(dāng)在其傳輸通道上有一個15壞點(diǎn),即一個像素故障,這將導(dǎo)致整個通道的信息傳輸故障,從而無法傳遞信息。因此 CCD 的故障率要高于 CMOS,所以其生產(chǎn)成本也要高于 COMS。解析度的差異:由于 CMOS 的每個像素都配有電路,加上其周邊電路,導(dǎo)致其整體的感光面積會小于 CCD,所以在其大小的感光面積和像素?cái)?shù)相同時,CCD 的解析度會高于 CMOS。但是如果沒有尺寸大小的束縛,CMOS 可以做到很大,能夠克服大尺寸感光元件在制造上的困難。噪點(diǎn)的大小差異:因?yàn)?CMOS 的每個像素都配有放大器和 A/D 轉(zhuǎn)換電路,如果CMOS 有百萬像素,那就有百萬個放大器和轉(zhuǎn)換電路,雖然統(tǒng)一制造,但是在彼此之間還是有差異的存在,很難同步的放大;而 CCD 感光器只有一個放大器,這就大大的減小了噪點(diǎn),CCD 的噪點(diǎn)要比 CMOS 少很多。功耗差異:CMOS 是受光照后傳輸電信號,其為主動式,由光照產(chǎn)生的電荷會直接放大輸出;而 CCD 則是需要外接電源,通常需要 12V 以上,還要有外圍處理電路等等,這就是 CCD 功耗要遠(yuǎn)大于 CMOS 的功耗。如表 31 所示,對 CCD 和 CMOS進(jìn)行對比:表 31 CCD 與 CMOS 對比CCD CMOS設(shè)計(jì) 單一感光器 感光器連接放大器靈敏度 同樣面積高 感光開口小成本 線路品質(zhì)影響程度高 CMOS 整合集成解析度 連接復(fù)雜度低,解析度高低,新技術(shù)高噪點(diǎn) 單一放大,噪點(diǎn)低 百萬放大,噪點(diǎn)高功耗比 需要外加電壓 直接放大,功耗低 由于其自身的固有結(jié)構(gòu)差異,我們可以知道其各自性能上的差異。由于 CCD 在信號傳輸時有自己的專屬信息傳輸通道,故它可以充分保持在信號傳輸中不產(chǎn)生失真現(xiàn)象,然后每個像素都集合于同一放大器進(jìn)行處理,這樣可大大的保證了資料的完整性;CMOS 的每個像素都配有放大器,每個像素都是先經(jīng)過放大后在整合各個像素的資料,這樣不能保證整體資料的完整性。綜上,為了更好地觀察和監(jiān)視目標(biāo),分析目標(biāo)的位置,從而進(jìn)行穩(wěn)定的跟蹤,我們選擇了 CCD 作為本次設(shè)計(jì)的成像器件。 CCD 的 選定CCD 在現(xiàn)在的使用中是非常具有代表性的,它有很多優(yōu)點(diǎn):小的體積、高的靈敏度、長的使用壽命,傳輸信號不失真等。本題中 CCD 的選擇是至關(guān)重要的。對 CCD 的選擇需要滿足的要求:1)CCD 的感光范圍為可見光。2)選取的 CCD 要有較高的分辨率,從而滿足系統(tǒng)分辨要求。經(jīng)過查閱資料和市場調(diào)研之后,決定選取 1/3 英寸 CCD 圖像傳感器,如圖 所16示,其型號為 WAT231S2 高分辨、高靈敏度彩色攝像機(jī)。其彩色高解析度達(dá)到540TVL,具有圖像疵點(diǎn)消除功能,多功能、高靈敏度,是具有 BNC amp。 Y/C 雙輸出的彩色數(shù)字式 CCD。它對感光面進(jìn)行逐行掃面,然后進(jìn)行隔行傳輸。CCD 后接圖像采集卡,采集卡得到的數(shù)字信息通過軟件處理變?yōu)椴噬珗D像顯示出來。其主要應(yīng)用于要獲取彩色圖像、高分辨率和高幀速的要求,而且還帶有外部異步采集功能,使抓拍快速運(yùn)動的物體變得簡單容易。圖 UNIQ UC930 型 CCD本產(chǎn)品具有體積小、重量輕等優(yōu)點(diǎn),可以選擇使用數(shù)字輸出或使用模擬輸出,其后面板上還有其它功能,使用都是十分簡單,便于操作。其系統(tǒng)參數(shù)見表 32。表 32 UNIQ 公司 UC930 型 CCD 芯片的主要性能型號 WAT231S2(NTSC)影像傳感器 1/3 英寸 CCD 圖像傳感器總像素?cái)?shù) 811(H)*508(V)有效像素(HxV)768(H)*494(V)像元大小 (H)*(V)成像系統(tǒng) Ye, Cy, Mg, and G plementary color mosaic filters on chip同步方式 內(nèi)同步掃描系統(tǒng) 2:1 隔行掃描視頻輸出 綜合,Y/C: V(PP) ,75Ω,不平衡分辨率(H) 大于 540TVL(中心)17最低照度 lx. S/N 大于 50dB(MGC=0dB,γ= )1/60 1/100 1/250,1/500,1/1000,1/2022,1/4000,1/10000 sec.1/601/100000 sec.AE 模式EI1/60 1/100000 sec.(flicker suppress)白平衡 ATW(color rolling less), PWB, MWB,Preset(3200K,4300K,5100K,6300K)自動增益控制: 高:038dB / 低:032dB手動增益控制 032dBGamma 特性: γ≒(開)/γ= (關(guān))鏡頭光圈 Video /DC(EIAJ arrangement,Autoselect)背光補(bǔ)償 開/關(guān)白色缺陷校正 高達(dá) 32 像素電源電壓 DC + 12V + 10%耗電量 (175mA)工作溫度 10 +50℃(無霜結(jié)) )儲藏溫度 30 +70℃(無霜結(jié))工作/儲藏濕度 低于 95%RH鏡頭接口 CS 接口(后焦距可調(diào))重量 約 140 克 光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)本論文所提出的折射率測量系統(tǒng)的目的是為了通過檢測平行平板,由光學(xué)成像系統(tǒng)產(chǎn)生位移量,位移傳感器探測到位移量,然后經(jīng)由計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理,從而獲得檢測結(jié)果,所以成像光學(xué)系統(tǒng)是儀器的核心組成部分,需滿足儀器的使用要求。本論文采用三片式攝像物鏡初始結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì),光學(xué)系統(tǒng)采用柯克型光學(xué)系統(tǒng),其物鏡結(jié)構(gòu)的基本形式如圖 所示,這種系統(tǒng)結(jié)構(gòu)三片都是薄透鏡,最后一片為非對稱鏡,這種結(jié)構(gòu)對像差影響較小,光闌在中鏡片附近等特點(diǎn),有利于儀器整體小型化,降低成本,在攝影物鏡設(shè)計(jì)中使用廣泛,其相對孔徑和視場角都不是特別大,滿足我們的使用要求。根據(jù)本文系統(tǒng)提出的技術(shù)指標(biāo)要求,可以從相關(guān)資料中找到物鏡結(jié)構(gòu),作為設(shè)計(jì)基礎(chǔ),并采用 ZEMAX 光學(xué)設(shè)計(jì)軟件進(jìn)行設(shè)計(jì),對鏡頭參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì),把各種像差降低到我們使用要求的程度,從而確定最終的鏡頭結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)。18光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)就是根據(jù)其使用需求來確定光學(xué)系統(tǒng)的性能參數(shù)、各透鏡光組的結(jié)構(gòu)和外形尺寸等。因此可以把光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的主要過程分為 4 個階段:系統(tǒng)主要技術(shù)指標(biāo)的確定、初始結(jié)構(gòu)的確定、ZEMAX 設(shè)計(jì)仿真優(yōu)化以及像質(zhì)評價(jià)。一般考慮到光學(xué)系統(tǒng)存在單色像差主要有:像散、球差、彗差、畸變和場曲;兩種色差:位置色差和倍率色差。在進(jìn)行像質(zhì)評價(jià)分析時,這些像差都不是單獨(dú)存在著,需要綜合考慮全部的像差。圖 柯克型物鏡結(jié)構(gòu)圖 系統(tǒng)主要指標(biāo)的確定(1).相對孔徑入瞳在均勻光照時,物鏡的像面照度與相對孔徑的平方成正比,或者與 F 數(shù)的平方成反比。相對孔徑越大,越能夠在像面上獲得越大的光通量。本文的攝像物鏡的相對孔徑為 1∶4 。(2)鏡頭片數(shù)為了保證在像面上能夠獲得更多的光能,提高光學(xué)系統(tǒng)的使用性,應(yīng)該使物鏡中的透鏡
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