用于流體壓力測量的電容傳感器(編輯修改稿)
2024-10-11 17:15 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 高次小量，得： 由式 (9)可知：電容的變化量 ΔC與壓力 P成線性關(guān)系。 2 壓力傳感器 電容壓力傳感器結(jié)構(gòu)簡單，靈敏度高、動態(tài)響應(yīng)快，不足之處是存在非線性。為了盡可能地減小非線性誤差，制作電容傳感器時，采取了以下主要措施： (1)工藝方面，在玻璃上蒸鍍一層金屬膜片作為電容電極，目的是消除電容極板的變形，保證極板有很好的平面度。 (2)敏感膜片采用白寶石，因?yàn)榘讓毷墙^緣體，應(yīng)變與應(yīng)力呈線性關(guān)系，穩(wěn)定性好。 (3)用敏感膜片中心位置的最大撓度作為可動極板的位移，減小理論性誤差。 (4)在結(jié)構(gòu)方面，采用差動形式，既提高了靈敏度，又減小了非線性誤差。 由式 (9)可得，電容傳感器的靈敏度系數(shù)為 3 檢測電路 為了能 檢測出電容的變化量 ΔC，檢測電路采用雙 T型交流電橋，如
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