用于流體壓力測量的電容傳感器-文庫吧
2025-08-02 17:15 本頁面
【正文】 具有精度高、線性度好、靈敏度大等優(yōu)點，尤其適于微壓力和大動態(tài)力的測量。 1 基本原理 電容應變式流體壓力傳感器的結(jié)構(gòu)如圖 1所示，電極為圓形極板，半徑為 R，在被測流體壓力 P的作用下，敏感膜片產(chǎn)生彎曲變形，在距中心任意 x 處的撓度為： 其中： μ為敏感膜片材料的泊松比； E為敏感膜片材料的楊氏模量； h為敏感膜片的厚度。 顯然，在 x＝ 0處，撓度最大，即： 壓力傳感器的電氣特性，可用 2個電容 C1和 C2來等效，壓力 P作用于膜片產(chǎn)生變形，通過導桿帶動可動極板產(chǎn)生位移，改變了 C1和 C2的值，即： 其中： d0為兩極板的初始距離； Δd為動極板的位移； c0為電容的初始值； ε0為空氣的介電常數(shù)； A為極板的有效面 把式 (7)略去
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