ut光刻機(jī)報(bào)警燈設(shè)計(jì)與安裝畢業(yè)論文(編輯修改稿)
2024-10-07 16:35 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 C：優(yōu)化性能比較：提高了響應(yīng)時(shí)間 優(yōu)化后 性能規(guī)格合格，實(shí)際方案已經(jīng)固化。后續(xù)剩余所有 UT STEP 光刻 機(jī)報(bào)警安裝計(jì)劃都采用最終的優(yōu)化方案。 UT1100 報(bào)警響應(yīng)時(shí)間 綠燈常亮：設(shè)備狀態(tài)發(fā)生 設(shè)備正常作業(yè) 報(bào)警響應(yīng)時(shí)間 立即 綠燈閃亮：設(shè)備狀態(tài)發(fā)生 設(shè)備作業(yè)結(jié)束 報(bào)警響應(yīng)時(shí)間 6 秒內(nèi) 紅燈常亮：設(shè)備狀態(tài)發(fā)生 AUTOLOAD 傳輸報(bào)警 報(bào)警響應(yīng)時(shí)間 立即 紅燈閃亮：設(shè)備狀態(tài)發(fā)生 Z MODE 報(bào)警 報(bào)警響應(yīng)時(shí)間 3 秒內(nèi) 黃燈常亮：設(shè)備狀態(tài)發(fā)生 設(shè)備 IDLE 報(bào)警響應(yīng)時(shí)間 立即 黃燈閃亮：設(shè)備狀態(tài)發(fā)生 工作控制器異 常報(bào)警 報(bào)警響應(yīng)時(shí)間 6 秒內(nèi) （論文） 10 第四 階段 選型 1. stage 設(shè)置 wafer VAC sensor（載臺(tái)圓片真空傳感器） 真空傳感器的工作原理是介質(zhì)的 壓力 直接作用在傳感器的 膜片 上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感 器的 電阻 發(fā)生變化，和用電子線路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這個(gè)壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。 傳感器：能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。通常有敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。 ① 敏感元件是指?jìng)鞲衅髦心苤苯樱ɑ蝽憫?yīng)）被測(cè)量的部分。 ② 轉(zhuǎn)換元件指?jìng)鞲衅髦心茌^敏感元件感受（或響應(yīng)）的北側(cè)量轉(zhuǎn)換成是與傳輸和（或）測(cè)量的電信號(hào)部分。 ③ 當(dāng)輸出為規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)時(shí)，則稱 . 測(cè)量范圍： 在允許誤差限內(nèi)被測(cè)量值的范圍。量程：測(cè)量范圍上限值和下限值的代數(shù)差。精確度：被測(cè)量的測(cè)量結(jié)果與真值間的一致程度。從復(fù)性：在所有下述條件下，對(duì)同一被測(cè)的量進(jìn)行多次連續(xù)測(cè)量所得結(jié)果之間的符合程度：分辨力：傳感器在規(guī)定測(cè)量范圍圓可能檢測(cè)出的被測(cè)量的最小變化量。閾值：能使傳感器輸出端產(chǎn)生可測(cè)變化量的被測(cè)量的最小變化量。使輸出的絕對(duì)值為最小的狀態(tài)，例如平衡狀態(tài) 。 激勵(lì)：為使傳感器正常工作而施加的外部能量（電壓或電流）。最大激勵(lì)：在市內(nèi)條件下，能夠施加到傳感器上的激勵(lì)電壓或電流的最大值。輸入阻抗：在輸出端短路時(shí)，傳感器輸 入的端測(cè)得的阻抗。輸出：有傳感器產(chǎn)生的與外加被測(cè)量成函數(shù)關(guān)系的電量。輸出阻抗：在輸入端短路時(shí)，傳感器輸出端測(cè)得的阻抗。零點(diǎn)輸出：在市內(nèi)條件下，所加被測(cè)量為零時(shí)傳感器的輸出。滯后：在規(guī)定的范圍內(nèi)，當(dāng)被測(cè)量值增加和減少時(shí)，輸出（論文） 11 中出現(xiàn)的最大差值。遲后：輸出信號(hào)變化相對(duì)于輸入信號(hào)變化的時(shí)間延遲。漂移：在一定的時(shí)間間隔內(nèi)，傳感器輸出終于被測(cè)量無(wú)關(guān)的不需要的變化量。零點(diǎn)漂移：在規(guī)定的時(shí)間間隔及室內(nèi)條件下零點(diǎn)輸出時(shí)的變化。靈敏度：傳感器輸出量的增量與相應(yīng)的輸入量增量之比。靈敏度漂移：由于靈敏度的變化而引起的校準(zhǔn)曲線斜率的 變化。熱靈敏度漂移：由于靈敏度的變化而引起的靈敏度漂移。熱零點(diǎn)漂移：由于周圍溫度變化而引起的零點(diǎn)漂移。線性度：校準(zhǔn)曲線與某一規(guī)定只限一致的程度。菲線性度：校準(zhǔn)曲線與某一規(guī)定直線偏離的程度。長(zhǎng)期穩(wěn)定性：傳感器在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)仍能保持不超過(guò)允許誤差的能力。固有憑率：在無(wú)阻力時(shí)，傳感器的自由（不加外力）振蕩憑率。響應(yīng)：輸出 時(shí)被測(cè)量變化的特性。補(bǔ)償溫度范圍：使傳感器保持量程和規(guī)定極限內(nèi)的零平衡所補(bǔ)償?shù)臏囟确秶Ｈ渥儯寒?dāng)被測(cè)量機(jī)器多有環(huán)境條件保持恒定時(shí)，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)輸出量的變化。絕緣電阻：如無(wú)其他規(guī)定，指在室溫條件下施加規(guī)定的直流電壓時(shí)，從傳感器規(guī)定絕緣部分之間測(cè)得的電阻值。 2. 設(shè)備曝光路設(shè)置光感 sensor switch 光感電路有多種形式，如自鎖亮激發(fā)、暗激發(fā)及精密亮激發(fā)、暗激發(fā)等等，是一種簡(jiǎn)單的暗激發(fā)繼電器開(kāi)關(guān)電路。其工作原理是：當(dāng)照度下降到設(shè)置值時(shí)由于光敏電阻阻值上升激發(fā) VT1 導(dǎo)通， VT2 的激勵(lì)電流使繼電器工作，常 開(kāi)觸點(diǎn)閉合，常閉觸點(diǎn)斷開(kāi)，實(shí)現(xiàn)對(duì)外電路的控制。 3. 設(shè)備出片端 index安裝設(shè)置 cassette 漫反射 switch 光電開(kāi)關(guān)是 傳感器 的一種，它把發(fā)射端和接收端之間光的強(qiáng)弱變化轉(zhuǎn)化為（論文） 12 電流的變化以達(dá)到探測(cè)的目的。由于光電開(kāi)關(guān)輸出回路和輸入回路是電隔離的（即電緣絕），所以它可以在許多場(chǎng)合得到應(yīng)用 .。 下列場(chǎng)所，一般有可能造成光電開(kāi)關(guān)的誤動(dòng)作，應(yīng)盡量避開(kāi)： （ 1）灰塵較多的場(chǎng)所 ；（ 2）腐蝕性氣體較多的場(chǎng)所；（ 3）水、油、化學(xué)品有可能直接飛濺的場(chǎng)所；（ 4）戶外或太陽(yáng)光等有強(qiáng)光直射而無(wú)遮光措施的場(chǎng)所；（ 5）環(huán)境溫度變化超出產(chǎn)品規(guī)定范圍的場(chǎng)所；（ 6）振動(dòng)、沖擊大，而未采取避震措施的場(chǎng)所。 4. Wafer ready 觸發(fā) coupler sensor監(jiān)測(cè)設(shè)備傳輸異常 夏普 pc817 是常用的線性光藕，廣泛用在電腦終端機(jī)，可控硅系統(tǒng)設(shè)備，測(cè)量?jī)x器，影印機(jī)，自動(dòng)售票，家用電器，如風(fēng)扇，加熱器等電路之間的信號(hào)傳輸，常常在各種要求比較精密的功能電路中被當(dāng)作耦合器件，具有上下級(jí)電路完全隔離的作用 ，相互不產(chǎn)生影響。使之前端與負(fù)載完全隔離，目的在于增加安全性，減小電路干擾，減化電路設(shè)計(jì)。 5. 18D20溫控集成電路 DS18B20 的讀寫時(shí)序和測(cè)溫原理與 DS1820 相同，只是得到的溫度值的位數(shù)因分辨率不同而不同，且溫度轉(zhuǎn)換時(shí)的延時(shí)時(shí)間由 2s 減為 750ms。 DS18B20測(cè)溫原理如圖 3 所示。圖中低溫度系數(shù)晶振的振蕩頻
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