ut光刻機報警燈設計與安裝畢業(yè)論文-文庫吧
2025-07-29 16:35 本頁面
【正文】 ,000 元 安裝費用 ： 約 10,000 元總價約￥ 75,000（不含稅） （四）。優(yōu)點 1，如果設備傳輸異常發(fā)生會實時輸出報警，縮短響應處理時間。提高設備作業(yè)效率 2，針對不同的報警信息可以預 先設置連鎖輸出。報警響應比較全面。 （五）。缺點 （論文） 3 1，成本較高。 2，軟硬件安裝后，對原有控制系統(tǒng)的有干擾隱患。 （一）。 工程部自行設計電氣連鎖方案 方案內(nèi)容：控制器通過傳感器監(jiān)控發(fā)現(xiàn)光刻機關鍵位置的動作信息，分析判斷設備工作狀態(tài)。產(chǎn)生并輸出相應的聲光報警提示。 (二 )。關鍵點 自行設計安裝。軟硬件監(jiān)控。硬件為主。新控制系統(tǒng)電路上與原有的設備控制系統(tǒng)無任何電子關聯(lián)。不會產(chǎn)生任何干擾。 （三）。成本費用估算 硬件： 約 1100 元 /每臺 軟件：單片計算機軟件自行開發(fā) 安裝費：自行安裝 總價約￥ 9900 元（不含稅） （四）。優(yōu)點 1，如果設備傳輸異常發(fā)生會輸出報警，提高設備作業(yè)效率。 2，成本相對較低。 3，系統(tǒng)由 STC 單片機控制。新控制器電路上與原來的設備控制系統(tǒng)無任何電子關聯(lián)。不會產(chǎn)生任何干擾。 （五）。缺點 1,報警連鎖響應時間相對略長。 （論文） 4 結論： 選擇自行設計安裝方案 ，解決報警連鎖響應時間相對略長的問題。 三 階段概述 第一階段：技術設計要求 1， 連鎖報警系統(tǒng)結構簡單，工作可靠。能自動運行。 2， 新報警連鎖與原光刻機控制系統(tǒng)有光電隔離，不產(chǎn)生干擾。 3， 連鎖報警響應時間盡可能短，提 高及時處理效率 4， 電氣方案有安全措施，電氣元件有品質(zhì)保障。 第一階段：安全設計要求 1， 采用低壓低功率 12vdc LED 開關電源 10W12V1A 輸入 100240AC。 2， 電源輸入采用 1A 過流熔斷器保護，電源可靠接地。 3， 電源輸出采用 1A 過流熔斷器保護。 4， 系統(tǒng)各個接線保證有可靠的歐姆接觸。控制盒布局合理。并且設置控制盒電源工作溫度有監(jiān)控報警。 （論文） 5 第二階段：功能設計要求 . 報警指示燈 報警指示燈 報警指示燈 報警指示燈 報警指示燈 報警指示燈 報警指示燈 （論文） 6 第三階段 —— 控制方案設計 選取 2 臺設備分別做了試驗： UT1100 報警 燈 輸出定義： 輸出綠燈：狀態(tài) 設備作業(yè)中 定義 1放片架作業(yè) 輸出紅燈 : 狀態(tài) 傳輸報警 /作業(yè)結束 定義 1放片架開始作業(yè)后，作業(yè)員 20 秒內(nèi)未完成輸入菜單執(zhí)行曝光，報警 定義 2其他原因?qū)е聜鬏敭惓Ｎ磮?zhí)行曝光 20 秒以上，報警。 定義 3作業(yè)曝光中，設備掉 Z MODE 異常發(fā)生后 3 秒以后，報警。 定義 4作業(yè)結束在 15 秒內(nèi)未取走片架，報警。 輸出黃燈：狀態(tài) 設備閑置 定義 1無片架，無曝光動作。 以上設備 UT04 是 由 分立器件，以及延時繼電器，繼電器，通過一定的邏輯組合關系完成。試用合格。但是功能有局限性。報警響應時間 20 秒。時間略長。 （論文） 7 UT1100 報警輸出定義 ： 綠燈常亮：狀態(tài) 設備正常作業(yè) 應對動作 無 綠燈閃亮：狀態(tài) 設備正常作業(yè) 應對動作 需要作業(yè)員收片架 紅燈常亮：狀態(tài) AUTOLOADER 傳輸報警 應對動作 需要作業(yè)員通知技術人員處理 紅燈閃亮：狀態(tài) Z MODE 報警 應對動作 需要作業(yè)員現(xiàn)場確認狀況恢復流通 黃燈常亮：設備 IDLE 應對動作 無 以上是設備 UT01 是采用單片計算機來完成控制部分，解決了 報警響應時間略長的問題。報警響應時間 3 秒之內(nèi)。試用合格！ 第三階段 控制方案設計 通過優(yōu)化使得報警控制連鎖方案性能提升，在設備安全，工藝安全的前提下符合生產(chǎn)要求。 主要控制單元： A 方案：主要控制單元由 RELAY TIMER RELAY 等分立器件通過邏輯關系組成 B 方案：主要控制單元由微處理器（單片機）組成 C:優(yōu)化性能比較：工業(yè)級別信號處理，控制可靠，穩(wěn)定。 （論文） 8 LED 報警燈輸出： A 方案 : LED 報警燈輸出只有一種模式三種狀態(tài)。目前為常亮模式 B 方案： LED 報警燈輸出兩種模式，六種狀態(tài)。分常亮和閃爍。 C:優(yōu)化性能比較：輸出狀態(tài)由 3 種增加到 6 種，便于作業(yè)人員識別 AUTOLOADER異常檢測傳感器： A 方案 : 無 B 方案：有 C:優(yōu)化性能比較：傳輸響應時間由 20 秒提高到立即響應 溫度報警傳感器： A 方案：無 B 方案：有 C:優(yōu)化性能比較：增加了溫度報警傳感器，提高了工作安全水平 光敏傳感器 真空傳感器 片架檢測傳感器： A 方案：有 B 方案：有 監(jiān)測設備狀態(tài)變化響應時間 : A 方案：小于 20 秒 （論文） 9 B 方案：小于 6 秒
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