【文章內容簡介】 RTS9 雙電測 四探針測試儀 用戶手冊 7 啟動 /關閉 雙電測 四探針 軟件 測試系統(tǒng) 啟動程序請進行以下任 一操作 ： 1. 單擊 Window【 開始 】 按鈕，選擇 【 程序 】 → 【 RTS9 型 雙電測 四探針測試系統(tǒng) 】 → 【 RTS9 雙電測四探針測試系統(tǒng) 】 命 令。 2. 直接在桌面上點擊 【 RTS9雙電測 四探針測試系統(tǒng) 】 快捷方式。 關閉程序：按程序主窗口 最 右上角的 【 】 關閉按鈕。 雙電測 四探針 軟件 測試系統(tǒng)的用戶界面 四探針 軟件 測試系統(tǒng) 啟動后 出現(xiàn)如下圖所示的用戶界面。 軟件測試系統(tǒng)的 用戶界面主要由以下四 部分組成 ，各組成部分的說明如下： 1. 【 測試 基本 參數(shù) 】 窗口 ： 用戶 可 在此窗口中選擇測試材料的類別和輸入測試材料基本 屬性 數(shù)據 值 （厚度、探針平均間距 等） 、測試環(huán)境數(shù)據 （ 溫度、濕度 ） 。 2. 【 實時采集兩次組合模式下的電壓值 】 窗口：獲得樣品最新測試點兩次組合模式下的實時電壓正反向值和 平均值。 3. 【 統(tǒng)計 測試數(shù)據 】 窗口 ：記錄和顯示測試材料的各項屬性 數(shù)據 值、測量數(shù)據和統(tǒng)計 分析后數(shù)據。 4. 【 操作欄 】 ：供用戶進行測量 、重測、自動測量、打開、保存、打印等操作的執(zhí)行按鈕 測試參數(shù)窗口 操作欄 統(tǒng)計 測試數(shù)據窗口 實時采集兩次組合模式下的電壓值 RTS9 雙電測 四探針測試儀 用戶手冊 8 軟件使用 雙電測 四探 針軟件測試系統(tǒng) 具有友好的用戶界面 ，軟件所有使用 功能都位于主程序窗口右端 【 操作欄 】 的 12個按鈕上 ， 如 右 圖 2 所示。 用戶只需按下按鈕就可以實現(xiàn)相關的功能。 【 操作欄 】 共有 12 個類別： 【測量】、【重測】、【低阻擴展】、【自動測量 】、【采樣時間設置】、【新建測試】、【打開】、【存 檔】、【輸出 Excel文件】、【打印】、【幫助】、 【關于】。 軟件的使用也是圍繞這些按鈕 功能 來實現(xiàn)的。以下將對每一操作 按鈕 的使用進行說明。 在進行 【測量】、【重測】、【低阻擴展】、【自動測量 】時一定要與 RTS9型 雙電測 四探針測試儀連機才能使用， 【打開】、【存檔】、【輸出 Excel文件】、【打印】的操作 在連機或者是脫機狀態(tài)下都能使用。 1.【測量 】 【 測量 】 功能 和 【 自動測量 】 功能 是 四探 針軟件測試系統(tǒng)最主要的功能，通過 【 測量 】 和 【 自動測量 】 采集 RTS9型 雙電測 四探針測試儀上被測試材料的測試數(shù)據 ，然后將測試數(shù)據在 【 統(tǒng)計 測試數(shù)據 】 窗口顯示和記錄 下來，并 統(tǒng)計分析測試數(shù)據。 【 測量 】 功能相當于手動測量，要求用戶 自行 確定適合測試材料的 量程和 電流后，再按下此按鈕進行測量。 【 自動測量 】 功能會自動比較各電流量程 ，然后 確定最適合測試 材料的量程， 取得測試數(shù)據。 在進行測量 前請確認 RTS9型四探針測試儀已經 正確連接到計算機的并口，并且四探針測試儀的電源已經打開。否則 在按下 【 測量 】 、 【 自動測量 】 、【 重測 】 按鈕后 將會彈出如下圖 3提示窗口 。 圖 2 操作欄 圖 3 如果彈出圖 3 的 提示窗口，用戶只需將隨機配帶 并口線將四探針測試儀與計算機連接起來，并打開四探針測試儀的電源，然后按下 【 確定 】 按鈕 程序將會繼續(xù)測試下去。如果用戶不想進行測試可以按 【 取消 】 按鈕這樣程序將在脫機的狀態(tài)下使用。 RTS9 雙電測 四探針測試儀 用戶手冊 9 為了更詳細 和 準確 采集、 記錄 、 分析被測試材料 的測量 數(shù)據，請用戶在 對測試樣品 進行 測 量 前 在 【 測試參數(shù) 】 窗口 （ 如圖 4） 選擇 樣品的 測試 類別、輸入 樣 品 測試中需要的 相關屬性參數(shù) 值 。 圖 4 測試參數(shù)窗口 以下 對 【 選擇測試類別 】 、 【 輸入測試基本參數(shù) 】 兩個窗口操作進行說明。 1. 選擇測試類別 在此窗口中 對 要測量 的樣品選擇相應的 測試類別， 用戶可對樣品進行 “薄層方塊電阻”和“薄片電阻率” 的測量 ， 用戶 要選某一測試類別 只需點擊 相應 測試類別 即可選 定 。 由于選擇不同的測試類別它的相關基本 測量 屬性不同，對此窗口的操作會影響到 【 輸入測試基本參數(shù) 】 窗口和 【 統(tǒng)計 測試數(shù)據 】 窗口一些屬性項的變化。用戶可以嘗試選擇不同的測試類別觀察到這二個窗口中的一些屬性項的增加否者減少（減少的屬性項字體顏色會變灰，表示這些屬性項相對于選擇測試類別無效）。 【 輸入測試基本參數(shù) 】 窗口在用戶選擇不同 測試 類別時，厚度 、探針平均間距屬性項會因不同的測試類別需的測試參數(shù)不同會自動變無效（屬性項變灰用戶不能操作） 【 統(tǒng)計 測試數(shù)據 】 窗口記錄和顯示的數(shù)據也會因不同的測試類別一些屬性項會變無效，無效的屬性項字體變灰色，屬性項數(shù)據無顯示 選擇測試類別窗口 輸入 測試 基本參數(shù) 窗口 RTS9 雙電測 四探針測試儀 用戶手冊 10 2． 輸入測試基本參數(shù) 此窗口輸入測試時的環(huán)境參數(shù)和被測試材料 的各種基本屬性項的數(shù)據值。對此窗口的操作會在 【 統(tǒng)計 測試數(shù)據 】 窗口上記錄屬性項的數(shù)據值。 【 輸入測試基本參數(shù) 】 窗口的 各屬性項有效性會因選擇 “薄層方塊電阻”和“薄片電阻率”測試類別 時不同 而變化（某 些 屬性項會 變灰色表示 此屬性項對于選擇的測試類別無效 ,屬性項變灰用戶不能操作 ）。 【 溫度 】、【 溫度 】 ：測試材料時的 環(huán)境 溫度、濕度 。 【 晶片標識 】 ：對測試的材料作標識 ，可輸入長度為 6位的中英文組合字符串 ，輔助記錄測試的數(shù)據 。 【 厚度 】 :輸入被 測試材料的厚度 ，此屬性項 是 測量 “薄片電阻率“ 時 必需參數(shù) ，輸入的厚度值必須在 4mm以內才有效 (用雙電測方法獲得樣品精確電阻率的條件 )， 測量類別是 “薄層方塊電阻” 時 無效 。 【 電流量程 】 : 在執(zhí)行 【 測量 】 功能時 選擇適當?shù)碾娏髁砍虂頊y量樣品的電阻率或方塊電阻 。 ① “薄片電阻率“ 測量時 可參考 （表 1） 選擇量程； ② “薄層方塊電阻”測量 時 可參考（表 2）選擇量程； 對此項的操作可以直接控 制四探針測試儀主機的電流量程檔的切換而不用手動到四探針測試儀主機上操作 ，用戶可通過點擊選擇電流量程檔觀察到四探針測試儀主機電流量程檔的變化（如果在切換不同 量程檔時主機電流量程檔 沒變化請檢查四探針測試儀主機跟計算機是否已經正確連接）。 如無法估計樣品方塊電阻或電阻率的范圍，則可以先按“ 10μ A”量程進行測試，再以該測試結果作為估計值按表1 和表 2 選擇電流量程。 如果進行的是 【 自動測量 】 可以忽略對此處電流量程選擇，程序會 自動 比較各量程檔找出適合此樣品的電流量程。 表 1. 電阻率測量時電流量程選擇表 (推薦 ) 電阻率 (Ω cm) 電流