【正文】 折疊彈性梁 芬蘭赫爾辛基工業(yè)大學 土耳其安卡拉中東科技大學 日本 Murata 美國 Michigan大學 單位 結(jié)構(gòu)特點 檢測機理 靈敏度 /分辨率 噪聲 /漂移 美國 Michigan大學 振動環(huán)式 電容檢測 25Hz帶寬 下 分辨率 ?/s ?/h 日本 Murata 獨立梁式 電容驅(qū)動 電容檢測 25Hz帶寬 下 分辨率 ?/s / 土耳其安卡拉中東科技大學 電容驅(qū)動3mm 3mm 電容檢測 真空 24mV/186。 振動式微機械陀螺主要由 支撐框架 、 諧振質(zhì)量塊 ， 以及 激勵 和 測量單元 幾個部分構(gòu)成 。 ? 2以 硅為 主要材料， 機械電器 性能 優(yōu)良。 微慣性器件類別 ?微機電加速度計 ?微陀螺儀 微加速度計、微陀螺儀外觀 微機電加速度計發(fā)展 ? 1977年，美國斯坦福大學首先采用各向異性蝕刻與微光刻技術(shù)制成一種開環(huán)微型加速度計，并于 20世紀 8O年代初首次投放市場，隨后許多公司也紛紛仿效研制。/s 缺點： 目前，各種微機械陀螺的角速度測量精度相對較低， 漂移較大。/s / 復旦 雙質(zhì)量塊 電容驅(qū)動 壓阻檢測 電橋輸出176。 2023年 1月 下午 7時 16分 :16January 22, 2023 1行動出成果，工作出財富。勝人者有力，自勝者強。 2023年 1月 22日星期日 7時 16分 13秒 19:16:1322 January 2023 1空山新雨后，天氣晚來秋。 , January 22, 2023 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 ?國內(nèi)：有北京大學 、 清華大學 、 復旦大學 、 哈爾濱工業(yè)大學 、 中科院上海微系統(tǒng)所 、 中北大學等 ， 都對陀螺進行了深入的研究 ， 取得了一定的成果 ， 但無商業(yè)化產(chǎn)品 ， 處于研究階段 。 目前 ， 微機械陀螺基本都是振動式的 ， 因此本文將著重對這類陀螺進行介紹 。 MEMS的特 點 ? :MEMS器件 體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率 高、回應(yīng)時間短 。在 8O年代后半期，人們開始研究各種力平衡式硅微加速度計，并取得了巨大進展。 微機械陀螺特點 MEMS陀螺儀是利用 coriolis 定理 ， 將旋轉(zhuǎn)物體的角速度轉(zhuǎn)換成和角速度成正比的直流電壓信號 ， 其核心部件通過摻雜技術(shù) 、 光刻技術(shù)、 腐蝕技術(shù) 、 LIGA技術(shù) 、 封裝技術(shù)等批量生產(chǎn)的 ， 它主要特點是 優(yōu)點： 1. 體積小 、 重量輕 、 功耗低 。/s / 中科院 雙質(zhì)量塊 電磁驅(qū)動 電容檢測 176。 2023年 1月 22日星期日 7時 16分 13秒 19:16:1322 January 2023 1做前，能夠環(huán)視四周；做時，你只能或者最好沿著以腳為起點的射線向前。 :16:1319:16:13January 22, 2023 1意志堅強的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 1月 下午 7時 16分 :16January 22, 2023