微慣性技術發(fā)展現(xiàn)狀與未來趨勢講義-文庫吧在線文庫
【正文】 公司 諧振方向 諧振方向 柯氏力方向 加速度 傳感 器 質量塊 電流回路 加速度傳感器鍵合 電流回路 加速度 傳感器 折疊彈性梁 芬蘭赫爾辛基工業(yè)大學 土耳其安卡拉中東科技大學 日本 Murata 美國 Michigan大學 單位 結構特點 檢測機理 靈敏度 /分辨率 噪聲 /漂移 美國 Michigan大學 振動環(huán)式 電容檢測 25Hz帶寬 下 分辨率 ?/s ?/h 日本 Murata 獨立梁式 電容驅動 電容檢測 25Hz帶寬 下 分辨率 ?/s / 土耳其安卡拉中東科技大學 電容驅動3mm 3mm 電容檢測 真空 24mV/186。/s 國內微機械陀螺的特點與性能指標 72 / /h Hz?67 / /h Hz? 從國內外發(fā)展現(xiàn)狀來看，微機械陀螺的特點總結如下： 機械結構：圓環(huán)、獨立梁、框架、雙質量塊 驅動方式：電容驅動的多 檢測方式：電容檢測的多 使用的材料：都是 Si基，靈敏度 mV級 微機械陀螺應用 微機械陀螺目前精度在 102176。 19:16:1319:16:1319:161/22/2023 7:16:13 PM 1以我獨沈久，愧君相見頻。 , January 22, 2023 很多事情努力了未必有結果，但是不努力卻什么改變也沒有。 下午 7時 16分 13秒 下午 7時 16分 19:16: 楊柳散和風，青山澹吾慮。 2023年 1月 下午 7時 16分 :16January 22, 2023 1業(yè)余生活要有意義，不要越軌。 19:16:1319:16:1319:16Sunday, January 22, 2023 1知人者智，自知者明。 :16:1319:16:13January 22, 2023 1意志堅強的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 1月 22日星期日 下午 7時 16分 13秒 19:16: 1比不了得就不比，得不到的就不要。 其低廉的價格使其具有廣闊的應用前景 ， 有望在一些新的領域中得到應用 ， 如車載導航系統(tǒng) 、 天文望遠鏡 、 工業(yè)機器人 、計算機鼠標 ， 甚至是玩具上 。/s 清華 角振動 電容檢測 176。 10 410 21 10210410 11101102103104角速度 [ 176。 4. 測量范圍大 ， 一些 MEMS陀螺儀測量范圍可高達數(shù)千 176。 微機械陀螺儀基本概念 微機械陀螺特點 微機械陀螺分類 基本概念及組成 基本概念及組成 陀螺儀也稱角速率傳感器 ， 是用來測量物體旋轉快慢的傳感器 。 ? :MEMS涉及電子、機械、材料、制造、信息與自動控制、物理、化學 和生物等多種學科，并集中了當今科學技術發(fā)展的許多尖端成果。 MEMS是多種學科的交叉融合，應用領域極為廣泛，目前已成功地應用于汽車、電子和軍事等行業(yè)。
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