微慣性技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀與未來趨勢(shì)講義(文件)
【正文】 展 應(yīng)用比重增大 仍然面臨挑戰(zhàn) 過去幾十年內(nèi) ， 在汽車工業(yè)需求的推動(dòng)下 , 微陀螺技術(shù)取得了長足進(jìn)展 ， 隨著對(duì)傳感器小型化 、 集成化的應(yīng)用需求 ， 其在應(yīng)用領(lǐng)域中的比重將會(huì)不斷增大 。 :16:1319:16Jan2322Jan23 1故人江海別，幾度隔山川。 2023年 1月 下午 7時(shí) 16分 :16January 22, 2023 1行動(dòng)出成果，工作出財(cái)富。 19:16:1319:16:1319:161/22/2023 7:16:13 PM 1成功就是日復(fù)一日那一點(diǎn)點(diǎn)小小努力的積累。 2023年 1月 22日星期日 下午 7時(shí) 16分 13秒 19:16: 1楚塞三湘接，荊門九派通。 , January 22, 2023 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。勝人者有力，自勝者強(qiáng)。 2023年 1月 22日星期日 7時(shí) 16分 13秒 19:16:1322 January 2023 1一個(gè)人即使已登上頂峰，也仍要自強(qiáng)不息。 2023年 1月 22日星期日 下午 7時(shí) 16分 13秒 19:16: 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過于提升自我。 :16:1319:16Jan2322Jan23 1越是無能的人，越喜歡挑剔別人的錯(cuò)兒。 2023年 1月 22日星期日 7時(shí) 16分 13秒 19:16:1322 January 2023 1空山新雨后，天氣晚來秋。 19:16:1319:16:1319:16Sunday, January 22, 2023 1不知香積寺，數(shù)里入云峰。 下午 7時(shí) 16分 13秒 下午 7時(shí) 16分 19:16: 沒有失敗，只有暫時(shí)停止成功！。 :16:1319:16:13January 22, 2023 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國見青山。 , January 22, 2023 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 隨著先進(jìn)的微電子技術(shù)的發(fā)展 ， 預(yù)計(jì)微機(jī)械陀螺的價(jià)格將會(huì)在一美元到幾百美元之間 。/s 中北大學(xué) 諧振式 電容檢測(cè) 176。/s 國外微機(jī)械陀螺的特點(diǎn)與性能指標(biāo) 15 1 / /h Hz?? 北京大學(xué)、清華大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)，中科院上海微系統(tǒng)所 單位 結(jié)構(gòu)特點(diǎn) 檢測(cè)機(jī)理 靈敏度 噪聲 /漂移 北大 諧振式 電容檢測(cè) 22mv/176。 ?國內(nèi)：有北京大學(xué) 、 清華大學(xué) 、 復(fù)旦大學(xué) 、 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 、 中科院上海微系統(tǒng)所 、 中北大學(xué)等 ， 都對(duì)陀螺進(jìn)行了深入的研究 ， 取得了一定的成果 ， 但無商業(yè)化產(chǎn)品 ， 處于研究階段 。 微機(jī)械陀螺分類 微機(jī)械陀螺分類 按振動(dòng)結(jié)構(gòu) 按材料 按加工方式 旋轉(zhuǎn)振動(dòng)結(jié)構(gòu) 線性振動(dòng)結(jié)構(gòu) 振動(dòng)盤結(jié)構(gòu)陀螺 旋轉(zhuǎn)盤結(jié)構(gòu)陀螺 正交線振動(dòng)結(jié)構(gòu) 非正交線振動(dòng)結(jié)構(gòu) 振動(dòng)平板結(jié)構(gòu) 振動(dòng)梁結(jié)構(gòu) 振動(dòng)音叉結(jié)構(gòu) 加速度計(jì)振動(dòng)結(jié)構(gòu) 振動(dòng)平板結(jié)構(gòu) 振動(dòng)梁結(jié)構(gòu) 振動(dòng)音叉結(jié)構(gòu) 單晶硅 多晶硅 石英 其它 硅材料 非硅材料 體微機(jī)械加工 表面微機(jī)械加工 LIGA(光刻、電鑄和注塑 ) 表面工藝制作的微結(jié)構(gòu) 體硅工藝制作的微結(jié)構(gòu) 微機(jī)械陀螺分類 微
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