微慣性技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀與未來(lái)趨勢(shì)講義-免費(fèi)閱讀
【正文】 :16:1319:16:13January 22, 2023 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 1月 下午 7時(shí) 16分 :16January 22, 2023 1少年十五二十時(shí)，步行奪得胡馬騎。 2023年 1月 22日星期日 7時(shí) 16分 13秒 19:16:1322 January 2023 1做前，能夠環(huán)視四周；做時(shí)，你只能或者最好沿著以腳為起點(diǎn)的射線向前。 靜夜四無(wú)鄰，荒居舊業(yè)貧。/s / 中科院 雙質(zhì)量塊 電磁驅(qū)動(dòng) 電容檢測(cè) 176。 / sec帶寬 [Hz]陀螺性能導(dǎo)航設(shè)備醫(yī)療應(yīng)用頭戴顯示設(shè)備定點(diǎn)設(shè)備平臺(tái)穩(wěn)定主動(dòng)懸浮體汽車(chē)安全智能彈藥 微機(jī)械陀螺國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀 ?國(guó)外：如美國(guó) Draper實(shí)驗(yàn)室 、 ADI公司 、 Berkeley大學(xué) ，德國(guó) Daimler Benz公司 、 Bosch公司 ， 日本 Toyota公司 ，以及土耳其 、 芬蘭等國(guó)家 ， 已有商業(yè)化產(chǎn)品 。 微機(jī)械陀螺特點(diǎn) MEMS陀螺儀是利用 coriolis 定理 ， 將旋轉(zhuǎn)物體的角速度轉(zhuǎn)換成和角速度成正比的直流電壓信號(hào) ， 其核心部件通過(guò)摻雜技術(shù) 、 光刻技術(shù)、 腐蝕技術(shù) 、 LIGA技術(shù) 、 封裝技術(shù)等批量生產(chǎn)的 ， 它主要特點(diǎn)是 優(yōu)點(diǎn)： 1. 體積小 、 重量輕 、 功耗低 。 由于工藝限制 ， 在硅襯底上加工出可高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子并不容易 ，因此轉(zhuǎn)子式的微機(jī)械陀螺并不常見(jiàn) ， 而振動(dòng)式和微加速度計(jì)式的微陀螺基本原理一致 ， 都是利用 柯氏效應(yīng) 。在 8O年代后半期，人們開(kāi)始研究各種力平衡式硅微加速度計(jì)，并取得了巨大進(jìn)展。所謂微型機(jī)械從廣義上包含了微小型和納米機(jī)械，但并非單純微小化，而是指可批量制作的集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及接口信號(hào)處理和控制電路、通訊和電源等于一體的微電子機(jī)械系統(tǒng) (MicroElectronic Mechanical SystemME MS)或 稱(chēng)為微機(jī)電系統(tǒng)。 MEMS的特 點(diǎn) ? :MEMS器件 體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率 高、回應(yīng)時(shí)間短 。 2O世紀(jì) 9O年代后期，美國(guó)加州大學(xué)柏克利分校傳感器與執(zhí)行器研究中心 (The Berkeley Sensor Actuater )， CSDL及Honeywell公司等相繼開(kāi)展了硅微諧振式加速度計(jì)技術(shù)的研究，這種加速度計(jì)將被測(cè)加速度信號(hào)轉(zhuǎn)換成諧振器的頻率變化，直接輸出數(shù)字信號(hào)，避免了微電容檢測(cè)的弊端 . 隧道電流式加速度計(jì) (tunneling based micromachined silicon aecelerometer， TMSA)是將微機(jī)械加工的微結(jié)構(gòu)與基于電子隧道效應(yīng)的新的高靈敏測(cè)量技術(shù)結(jié)合在一起形成的。 目前 ， 微機(jī)械陀螺基本都是振動(dòng)式的 ， 因此本文將著重對(duì)這類(lèi)陀螺進(jìn)行介紹 。 2. 成本低 ， 加工工藝可保證大規(guī)模生產(chǎn) 。 ?國(guó)內(nèi)：有北京大學(xué) 、 清華大學(xué) 、 復(fù)旦大學(xué) 、 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 、 中科院上海微系統(tǒng)所 、 中北大學(xué)等 ， 都對(duì)陀螺進(jìn)行了深入的研究 ，
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