微慣性技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀與未來趨勢講義-預(yù)覽頁
【正文】 微傳感器 微機(jī)電加速度計應(yīng)用 ? ? ? ? ? 傳感器分辨率靈敏度要求較高，保證適時發(fā)出氣囊充氣的指令。 由于工藝限制 ， 在硅襯底上加工出可高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子并不容易 ，因此轉(zhuǎn)子式的微機(jī)械陀螺并不常見 ， 而振動式和微加速度計式的微陀螺基本原理一致 ， 都是利用 柯氏效應(yīng) 。 2. 成本低 ， 加工工藝可保證大規(guī)模生產(chǎn) 。 微機(jī)械陀螺特點 MEMS陀螺儀是利用 coriolis 定理 ， 將旋轉(zhuǎn)物體的角速度轉(zhuǎn)換成和角速度成正比的直流電壓信號 ， 其核心部件通過摻雜技術(shù) 、 光刻技術(shù)、 腐蝕技術(shù) 、 LIGA技術(shù) 、 封裝技術(shù)等批量生產(chǎn)的 ， 它主要特點是 優(yōu)點： 1. 體積小 、 重量輕 、 功耗低 。/s 缺點： 目前，各種微機(jī)械陀螺的角速度測量精度相對較低， 漂移較大。 / sec帶寬 [Hz]陀螺性能導(dǎo)航設(shè)備醫(yī)療應(yīng)用頭戴顯示設(shè)備定點設(shè)備平臺穩(wěn)定主動懸浮體汽車安全智能彈藥 微機(jī)械陀螺國內(nèi)外研究現(xiàn)狀 ?國外：如美國 Draper實驗室 、 ADI公司 、 Berkeley大學(xué) ，德國 Daimler Benz公司 、 Bosch公司 ， 日本 Toyota公司 ，以及土耳其 、 芬蘭等國家 ， 已有商業(yè)化產(chǎn)品 。/s / 芬蘭 赫爾辛基工業(yè)大學(xué) 框架式 角振動 電容檢測 信噪比 德國 Bosch公司 雙質(zhì)量塊 電磁驅(qū)動 電容檢測 18mV/?/s 量程為 100186。/s / 中科院 雙質(zhì)量塊 電磁驅(qū)動 電容檢測 176。/h。 靜夜四無鄰，荒居舊業(yè)貧。 19:16:1319:16:1319:16Sunday, January 22, 2023 1乍見翻疑夢，相悲各問年。 2023年 1月 22日星期日 7時 16分 13秒 19:16:1322 January 2023 1做前，能夠環(huán)視四周；做時，你只能或者最好沿著以腳為起點的射線向前。 :16:1319:16Jan2322Jan23 1世間成事，不求其絕對圓滿，留一份不足，可得無限完美。 2023年 1月 下午 7時 16分 :16January 22, 2023 1少年十五二十時，步行奪得胡馬騎。 19:16:1319:16:1319:161/22/2023 7:16:13 PM 1越是沒有本領(lǐng)的就越加自命不凡。 :16:1319:16:13January 22, 2023 1意志堅強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 下午 7時 16分 13秒 下午 7時 16分 19:16: MOMODA POWERPOINT Lorem ipsum dolor sit, eleifend nulla ac, fringilla purus. Nulla iaculis tempor felis amet, consectetur adipiscing elit. Fusce id urna blanditut cursus. 感謝您的下載觀看 專家告訴
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