微慣性技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀與未來(lái)趨勢(shì)講義-預(yù)覽頁(yè)
【正文】 微傳感器 微機(jī)電加速度計(jì)應(yīng)用 ? ? ? ? ? 傳感器分辨率靈敏度要求較高，保證適時(shí)發(fā)出氣囊充氣的指令。 由于工藝限制 ， 在硅襯底上加工出可高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子并不容易 ，因此轉(zhuǎn)子式的微機(jī)械陀螺并不常見(jiàn) ， 而振動(dòng)式和微加速度計(jì)式的微陀螺基本原理一致 ， 都是利用 柯氏效應(yīng) 。 2. 成本低 ， 加工工藝可保證大規(guī)模生產(chǎn) 。 微機(jī)械陀螺特點(diǎn) MEMS陀螺儀是利用 coriolis 定理 ， 將旋轉(zhuǎn)物體的角速度轉(zhuǎn)換成和角速度成正比的直流電壓信號(hào) ， 其核心部件通過(guò)摻雜技術(shù) 、 光刻技術(shù)、 腐蝕技術(shù) 、 LIGA技術(shù) 、 封裝技術(shù)等批量生產(chǎn)的 ， 它主要特點(diǎn)是 優(yōu)點(diǎn)： 1. 體積小 、 重量輕 、 功耗低 。/s 缺點(diǎn)： 目前，各種微機(jī)械陀螺的角速度測(cè)量精度相對(duì)較低， 漂移較大。 / sec帶寬 [Hz]陀螺性能導(dǎo)航設(shè)備醫(yī)療應(yīng)用頭戴顯示設(shè)備定點(diǎn)設(shè)備平臺(tái)穩(wěn)定主動(dòng)懸浮體汽車安全智能彈藥 微機(jī)械陀螺國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀 ?國(guó)外：如美國(guó) Draper實(shí)驗(yàn)室 、 ADI公司 、 Berkeley大學(xué) ，德國(guó) Daimler Benz公司 、 Bosch公司 ， 日本 Toyota公司 ，以及土耳其 、 芬蘭等國(guó)家 ， 已有商業(yè)化產(chǎn)品 。/s / 芬蘭 赫爾辛基工業(yè)大學(xué) 框架式 角振動(dòng) 電容檢測(cè) 信噪比 德國(guó) Bosch公司 雙質(zhì)量塊 電磁驅(qū)動(dòng) 電容檢測(cè) 18mV/?/s 量程為 100186。/s / 中科院 雙質(zhì)量塊 電磁驅(qū)動(dòng) 電容檢測(cè) 176。/h。 靜夜四無(wú)鄰，荒居舊業(yè)貧。 19:16:1319:16:1319:16Sunday, January 22, 2023 1乍見(jiàn)翻疑夢(mèng)，相悲各問(wèn)年。 2023年 1月 22日星期日 7時(shí) 16分 13秒 19:16:1322 January 2023 1做前，能夠環(huán)視四周；做時(shí)，你只能或者最好沿著以腳為起點(diǎn)的射線向前。 :16:1319:16Jan2322Jan23 1世間成事，不求其絕對(duì)圓滿，留一份不足，可得無(wú)限完美。 2023年 1月 下午 7時(shí) 16分 :16January 22, 2023 1少年十五二十時(shí)，步行奪得胡馬騎。 19:16:1319:16:1319:161/22/2023 7:16:13 PM 1越是沒(méi)有本領(lǐng)的就越加自命不凡。 :16:1319:16:13January 22, 2023 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 下午 7時(shí) 16分 13秒 下午 7時(shí) 16分 19:16: MOMODA POWERPOINT Lorem ipsum dolor sit, eleifend nulla ac, fringilla purus. Nulla iaculis tempor felis amet, consectetur adipiscing elit. Fusce id urna blanditut cursus. 感謝您的下載觀看 專家告訴
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