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正文內(nèi)容

厚膜沉積技術(shù)ppt課件(留存版)

  

【正文】 料的相容性要好,隔絕外界環(huán)境的氣密性要高,擴(kuò)散要少,而且容易實(shí)現(xiàn)多層化。 ? 凸版印刷是可進(jìn)行活字排版的活版印刷,一般出版物多采用此法。印刷時(shí)通過(guò)刮板的擠壓,使?jié){料通過(guò)電路部分的網(wǎng)孔轉(zhuǎn)移到承印物上,形成與原稿一樣的電路。測(cè)量時(shí),首先使絲網(wǎng)處于透亮的狀態(tài)下或放在看版臺(tái)上,將網(wǎng)目尺放在絲網(wǎng)上,然后將網(wǎng)目尺慢慢移動(dòng),使網(wǎng)目尺上的豎線與絲網(wǎng)的經(jīng)線或緯線平行,這時(shí)由于絲網(wǎng)經(jīng)緯線和網(wǎng)目尺上的豎線產(chǎn)生重疊的效果,在網(wǎng)目尺上形成菱形花紋,花紋的橫向?qū)撬傅木W(wǎng)目尺上對(duì)應(yīng)的數(shù)字,即是所測(cè)的絲網(wǎng)目數(shù)。首先按照印刷尺寸選好相應(yīng)的網(wǎng)框,將網(wǎng)框與絲網(wǎng)粘合的一面清洗干凈。直接制版法乳膠嵌入網(wǎng)絲之中,耐印性及尺寸穩(wěn)定性都很好,但圖 形邊角附近網(wǎng)絲交叉部位容易殘留乳膠顯像殘?jiān)龋@往往成為印刷圖 形邊緣不平直的原因。 a. 非接觸工藝可以獲得較好的線條輪廓清晰度,大多數(shù)的厚膜漿料印刷都采用這種方式。 ? 絲網(wǎng)到基板的距離 (“快速恢復(fù)距離” )設(shè)定 a. 這是絲網(wǎng)印刷機(jī)最重要的參數(shù)。 c. 接著調(diào)整刮板下壓量 (印刷時(shí)刮板下壓的距離 )、刮板與基板的平行度,以及印刷速度等。 2) 烘干 ? 在流平之后,器件在 70~150攝氏度范圍烘干約 15分鐘。這個(gè)階段主要是溶劑揮發(fā)、有機(jī)粘合劑燃燒。 (a)為印刷后漿料的狀態(tài),在玻璃大顆粒之間由有機(jī)載體樹(shù)脂填充,樹(shù)脂中混有作為電阻體主材料的微細(xì) 粉末。 c. 氣氛的選擇 主要根據(jù)材料本身的性質(zhì)以及對(duì)燒結(jié)膜性能的要求來(lái)決定。 三、絲網(wǎng)印刷的幾點(diǎn)注意事項(xiàng) ? 絲網(wǎng)的顏色對(duì)制版有何影響? 絲網(wǎng)有白色、黃色、琥珀色、紅色等,絲網(wǎng)顏色對(duì)制版的質(zhì)量有很大的影響??梢?jiàn),焊膏印刷質(zhì)量不佳,會(huì)嚴(yán)重影響封裝質(zhì)量。 3. 簡(jiǎn)述絲網(wǎng)印刷中接觸工藝與非接觸工藝的定義與特點(diǎn)。 ? 焊膏的孔 (模 )板印刷 焊膏 是由合金焊粉,焊劑載體等組成的膏狀混合物,在表面安裝技術(shù) (SMT)技術(shù)中起到粘固元件,促進(jìn)焊料潤(rùn)濕,清除氧化物、硫化物、微量雜質(zhì),保護(hù)表面不發(fā)生再次氧化,形成牢固冶金結(jié)合等作用。氣流速度太慢,則去除有機(jī)物能力太弱;氣流速度太快,會(huì)在爐中產(chǎn)生湍流,使燒結(jié)曲線不穩(wěn)定 ? 一般馬弗爐采用電阻加熱 (鎳鉻加熱元件 ),圍繞金屬馬弗爐周?chē)泻苤氐哪突鸫u,而耐火磚易吸收潮氣,為保持穩(wěn)定的燒結(jié)曲線,爐子不用時(shí)會(huì)被“壓火”到一個(gè)較低的溫度,但不能關(guān)閉。此時(shí)晶粒大小懸殊,膜層結(jié)構(gòu)極不均勻,同時(shí)氧化物可能分解放出氣體,使膜層凹凸不平。 玻璃熔融后,由于玻璃對(duì)固體顆粒的潤(rùn)濕和流動(dòng),固體顆粒之間相互吸附,粘結(jié)起來(lái),構(gòu)成了 ”鏈狀結(jié)構(gòu)”。爐子的選擇需滿足: a. 干凈的爐內(nèi)環(huán)境; b. 針對(duì)漿料的溫度曲線,能夠提供穩(wěn)定和可控的溫度; c. 穩(wěn)定可控的氣氛。通過(guò)探針以設(shè)置好的速率在膜表面移動(dòng),檢測(cè)探針位置,隨探針的移動(dòng)可繪出膜外形。首先要保證版面與基片面平行,然后調(diào)整離版距離,順序是先向下調(diào)版面,使其與基片表面接觸,再按離版距離上調(diào)版面。 c. 刮板刃部磨損后,相當(dāng)于刮板角度發(fā)生了變化,而且刃部帶傷會(huì)損壞網(wǎng)版,這些都有損于印刷質(zhì)量。 ? 印刷 1)絲網(wǎng)印刷的兩種基本方法 接觸工藝和非接觸工藝 。微細(xì)圖形漏印網(wǎng)版多采用斜繃網(wǎng)方式。 5) 使用時(shí)根據(jù)印刷尺寸的大小確定合適的網(wǎng)框。通常它在 80線 /英寸到 400線 /英寸之間變化,前者用于粗糙的印刷如焊膏,后者用于精細(xì)線條的印刷。早在秦漢時(shí)期就出現(xiàn)了夾頡印花法。 近年來(lái)仍繼續(xù)以 為基進(jìn)行開(kāi)發(fā),多采用使高介電常數(shù) 的成分 Ba和 Ti被 Pb, Ca, Fe, W, Cu, Mg等置換構(gòu)成鈣鈦礦結(jié)構(gòu)介電體來(lái)改善性能。 b. 右圖表示 粒徑對(duì)膜層電氣性能的影響,粒徑越小,阻值越小。 ? 代替玻璃而加入 等,與基板反應(yīng),生成 (鋁酸銅、鋁酸鎘)等化合物,成為導(dǎo)體膜與基板之間的界面。這是由于 Ag與玻璃層間形成 AgO鍵,以及與焊料擴(kuò)散成分生成 所致。 例 . 鈀銀導(dǎo)體漿料的典型配方 固體微粒: 導(dǎo)電相: Ag % , Pd % 粘結(jié)相: 3% ,硼硅玻璃 % 載體 (25%): 有機(jī)粘合劑: 乙基纖維素 溶劑:丁基卡必醇醋酸酯 為了完成按配比加工,厚膜漿料的各組分按一定比例混合在 一起并用三輥球磨機(jī)研磨足夠長(zhǎng)時(shí)間,以保證徹底的混合。 總的粘結(jié)強(qiáng)度是兩種因素的總和。其實(shí),油漆和涂料就是非牛頓流體,它們的粘度是可變的。 將印刷的厚膜漿料烘干以去除易揮發(fā)的成分,并且暴露在高溫下激活粘結(jié)機(jī)理,使厚膜粘附于基板上。 ? 顆粒的表面形貌可根據(jù)制作金屬粒子方法不同有很大差別,球形、薄片狀或圓形的顆粒均可由粉末制造工藝得到。 ? 有機(jī)粘合劑一般都是不揮發(fā)的有機(jī)物,它不蒸發(fā),但在350攝氏度左右會(huì)開(kāi)始燃燒。在導(dǎo)體圖形間滴上水滴,并施加一定的電壓,測(cè)量達(dá)到短路經(jīng)過(guò)的時(shí)間。故最近開(kāi)發(fā)了許多不含 Bi而采用其他玻璃粘結(jié)劑的 PdAg漿料,特別是適用于 AlN陶瓷基片的漿料。為了得到性能優(yōu)良成品率高的厚膜電阻器,要求導(dǎo)電相在粘結(jié)相中均勻分布。 當(dāng)用于積層數(shù)較少的多層電路及交叉絕緣時(shí),一般要在 PbO ZnO系及 PbO 系玻璃中混入 ,MgO 等填充物用以調(diào)整玻璃的熱膨脹系數(shù)、機(jī)械強(qiáng)度、粘度、軟化 點(diǎn)、介電特性等。膠版印刷就屬于平版印刷的一種,圖示的輪轉(zhuǎn)式用的最多,版輥與壓輥之間有一膠輥 (轉(zhuǎn)印輥 ),將膠輥上轉(zhuǎn)印的內(nèi)容印刷在介質(zhì)上。 a. 絲網(wǎng)材料最早采用蠶絲,故稱(chēng)其為絲網(wǎng)印刷。將上式展開(kāi)對(duì) D求導(dǎo),可求得開(kāi)口尺寸為最大時(shí) 321( ) ( 2 ) ( )V in D DM??13D M?? 網(wǎng)框 選擇網(wǎng)框的標(biāo)準(zhǔn): 1) 網(wǎng)框必須具有一定的強(qiáng)度。最后用清水或清洗劑沖洗絲網(wǎng),待晾干后,就可涂布感光膠了。 直接乳膠的初始狀態(tài)是液體,絲網(wǎng)的外圍四周用透明玻璃紙帶形成一個(gè)擋壩來(lái)控制膠層的厚度。 2)刮板 刮板形狀有圖示的三種類(lèi)型,厚膜印刷多使用菱形刮板和平行刮板 。一般常用的速度為 5~25cm/s,并保持勻速。 d. 每次印刷后,漿料被刮板刮向一方,下次印刷則漿料不足,而且,在該狀態(tài)下放置,網(wǎng)版也會(huì)干燥、堵塞,造成漿料透過(guò)性變差。 ? 烘干過(guò)程必須控制升溫速率以防止由于溶劑快速揮發(fā)造成的膜開(kāi)裂。超過(guò) 550攝氏度,玻璃料開(kāi)始軟化,逐漸熔融。最高溫度燒結(jié)應(yīng)在有機(jī)粘合劑完全燃盡后才開(kāi)始,否則燃燒產(chǎn)生的氣體將影響燒結(jié)氣氛。顆粒形狀以球形最好,因?yàn)楦妆唤?rùn),晶粒長(zhǎng)大也較均勻。 產(chǎn)生暈影的原因主要有兩點(diǎn):一是白色絲網(wǎng)使圖文邊緣感光材料受光敏化程度不均勻;二是曝光時(shí)底片與絲網(wǎng)貼合不緊,時(shí)圖文邊緣部分感光材料受光不均勻。其特征是開(kāi)口側(cè)壁中央向外凸,壁面粗糙,印刷質(zhì)量差,不適合精細(xì)圖形的印刷。其特征是開(kāi)口內(nèi)壁相當(dāng)平滑,一般用于高質(zhì)量印刷。產(chǎn)生原因有:一、印刷中漿料顆粒過(guò)大,和網(wǎng)孔開(kāi)口尺寸不匹配,可通過(guò)選擇合適的漿料或絲網(wǎng)來(lái)解決;二、由于溶劑揮發(fā)而使?jié){料粘度增高,在網(wǎng)孔處形成瞬間干燥。 箱式爐結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,爐溫偏差大,不易獲得性能再現(xiàn)性良好的厚膜元件或互連線。對(duì)厚膜來(lái)說(shuō),最高燒結(jié)溫度一般高于玻璃軟化點(diǎn) 100攝氏度左右,以使玻璃料熔融后充分浸潤(rùn)導(dǎo)電顆粒,起到良好的粘結(jié)作用。同時(shí), PdO含量隨溫度升高也繼續(xù)增加。 厚膜漿料的燒結(jié)有三個(gè)作用: a. 使?jié){料中作為輔助材料的有機(jī)載體燃燒、熱分解,并蒸發(fā),即脫膠過(guò)程?;毓伟迮c網(wǎng)版平行設(shè)置,二者保持一定間距,其速度也要調(diào)整以達(dá)到最佳。 ? 絲網(wǎng)印刷機(jī)設(shè)置順序 此順序適用于大多數(shù)絲網(wǎng)印刷機(jī),可用最少的時(shí)間,保證較好印刷效果。刮板材料硬度按橡膠常用的 HS(肖氏硬度 )來(lái)標(biāo)定,厚膜印刷使用的刮板硬度一般在 60~80HS范圍內(nèi)。 2)曝光 絲網(wǎng)曝光是把掩膜和光敏乳膠面接觸,然后在紫外線下進(jìn)行曝光,光源更易使用平行光??嚲W(wǎng)夾頭的移動(dòng)是通過(guò)氣壓表來(lái)控制的。這就要求網(wǎng)框耐壓,不變形。不銹鋼絲網(wǎng)強(qiáng)度高、伸縮小、尺寸精度高,與其他絲網(wǎng)比可選用更細(xì)的絲徑,絲網(wǎng)開(kāi)口大,適合于更纖細(xì)的圖案,漿料透過(guò)性最好,耐藥品性強(qiáng)。照相凹版印刷就屬于此,要將過(guò)剩的油墨用刮板刮除。若
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