【正文】 d. 準(zhǔn)分子激光加工孔版 采用紫外線激光對(duì)聚合物版材進(jìn)行開口加工，由于采用短波長激光進(jìn)行原子水平的加工，故與其他方法制取的孔版相比，內(nèi)壁平滑光潔，尺寸精度高，質(zhì)量最好。圖中右邊是控制較差的情況，但要達(dá)到接近左邊所示的理想情況并不容易。 脫膜的程序是：先將印刷后殘余的漿料清洗干凈，然后用脫膜劑浸泡 5~10分鐘，等版膜發(fā)白后用加壓清水沖洗絲網(wǎng)，干燥后即可再次使用。 有色絲網(wǎng)能吸收一部分照射光，減少光的反射強(qiáng)度，而且有色絲網(wǎng)反射、散射的是有色光，這種光不是活性光，對(duì)感光材料不產(chǎn)生影響。將爐子稍微傾斜 ， 或采用強(qiáng)制通風(fēng)法使新鮮的干燥空氣通過爐膛，就能使膜保持清潔。例如， PdAg電阻必須在氧化氣氛下燒成，因?yàn)槠鋵?dǎo)電網(wǎng)絡(luò)由 PdO,PdAg合金組成，在燒結(jié)過程中需要氧化； Cu導(dǎo)線需在還原氣氛中燒成，否則生成的 CuO會(huì)降低導(dǎo)線的導(dǎo)電性能。 最高燒結(jié)溫度過低，通常稱為 ”生燒 ”。 (c)為玻璃軟化溫度附近，特別是顆粒度較小的玻璃軟化、流動(dòng)，玻璃顆粒靠近、密實(shí)化。故最高燒結(jié)溫度應(yīng)保持在 750攝氏度左右。 b. 氧化階段。 c. 玻璃粘結(jié)劑熔化或金屬化合物與基板反應(yīng)，使膜層與基板實(shí)現(xiàn)牢固結(jié)合 。否則在燒結(jié)過程中，微粒會(huì)燒掉，在膜上留下孔洞。如利用高倍金相顯微鏡，先聚焦到基板上一區(qū)域作為基準(zhǔn)，然后把顯微鏡重新聚焦到膜表面，物鏡移動(dòng)的距離就是厚度；或者通過光干涉顯微鏡，將一束光照射到印刷層上，通過干涉條紋描繪出印刷層的外形，與基板上的標(biāo)記線比較得出膜層厚度。 刮板下壓量超過離版距離的部分稱為 過壓量 ，它對(duì)印刷質(zhì)量有很大的影響，在能獲得均勻清晰印刷圖形的前提下，一般取過壓量越小越好。固定好的基片要防止漏印網(wǎng)版多次印刷時(shí)發(fā)生偏離或松動(dòng)，同時(shí)防止基片邊緣對(duì)漏印網(wǎng)版造成損傷。 c. “快速恢復(fù)距離”的大小取決于絲網(wǎng)的尺寸。 b. 刮板的作用是將漿料從網(wǎng)版的開口部位向基板擠壓出，擠壓力的大小隨刮板安裝角度而變化。 b. 在印刷過程中，漿料涂在絲網(wǎng)上，刮板與絲網(wǎng)成線接觸，掃過整個(gè)絲網(wǎng)。 3)顯影 網(wǎng)框在曝光后放入溫水或藥物水中浸泡 10分鐘左右，圖文就顯現(xiàn)出來。間接制版法圖形邊緣平直，價(jià)格也低，但膠膜與網(wǎng)絲的 附著力低，耐印性差，膠膜顯像后在絲網(wǎng)上貼附時(shí)的尺寸精度也低。此外，多個(gè)圖形不能得到完全相同的位置關(guān)系，從而造成相同圖形的寬度、厚度出現(xiàn)偏差。 清洗后的網(wǎng)框在繃網(wǎng)前，先在與絲網(wǎng)接觸的面預(yù)涂一遍粘合膠并晾干。 4) 網(wǎng)框要有一定的牢固性。 e. 絲網(wǎng)開口大小 這個(gè)參數(shù)強(qiáng)烈地影響在印刷過程中漿料的印刷量，并限制了用于制作漿料的材料最大粒子尺寸。 c. 大多數(shù)厚膜印刷的網(wǎng)板都是編織成“平針”圖案，每一根絲每次只是簡(jiǎn)單地上下交叉繞過一根絲。光敏乳膠膜上沒有黑色掩模保護(hù)的乳膠被紫外光硬化，受到保護(hù)的部分很容易被水洗去，從而形成窗口。 二、絲網(wǎng)印刷法 在電子封裝工程中，作為微細(xì)圖形的印刷法，盡管有時(shí)也采用照相凹版印刷及膠版印刷，但實(shí)際應(yīng)用最多的還是屬于孔版印刷的絲網(wǎng)印刷法，其在厚膜印刷、印制線路板的蝕刻印刷、電鍍阻擋掩模及焊料阻擋掩膜的形成、焊膏的印刷等方面是不可缺少的。下圖是圓筒輥凸版印刷示意圖。 晶態(tài)玻璃中有幾個(gè)基礎(chǔ)玻璃系，經(jīng)常使用的有以 MgO ,CaO 為代表的鋁硅酸玻璃；還有以 PbOZnO ， 為代表的鉛硼酸玻 璃。為適應(yīng)上述種種要求，開發(fā)了非晶玻璃 (FG)和晶態(tài)玻璃 (CG)二類玻璃系列的 LK介電材料。 Pd?? Pd?? Pd???Pd?? Pd??? 粒徑對(duì)電氣特性的影響 (以 為例 ) a. 當(dāng)電阻體的組成比一定時(shí)，所用玻璃顆粒的粒徑對(duì)阻值的影響如左圖所示。導(dǎo)電相起著電流通路的作用；粘結(jié)相則把導(dǎo)電相粘結(jié)于基片之上。 23AlO 24Cu AlOd) Au 在金漿料中按膜與基片的結(jié)合方式分為玻璃粘結(jié)劑型、無玻璃粘結(jié)劑型、混合結(jié)合型三種。 ? 為提高 AgPd導(dǎo)體的焊接浸潤性，以及導(dǎo)體與基板間的結(jié)合強(qiáng)度，需要添加 。 下面介紹幾種能較好滿足上述要求的常用厚膜導(dǎo)體材料： a) Ag ? Ag漿料的最大優(yōu)點(diǎn)是電導(dǎo)率高。 3) 耐焊料浸蝕性。 ? 溶劑中還要加入增塑劑、表面活化劑和能改變漿料觸變特性的觸變劑以改善漿料性能和印刷特性。 第三類材料同時(shí)利用氧化物和玻璃，典型的氧化物材料是 ZnO或 CaO, 同時(shí)加入玻璃來增加粘結(jié)強(qiáng)度和降低反應(yīng)溫度。 在化學(xué)反應(yīng)中，熔融的玻璃在一定程度上和基板上的玻璃相發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。 厚膜漿料即為具有剪切變稀性質(zhì)的非牛頓流體 常規(guī)的厚膜漿料有四個(gè)主要成分： a. 形成膜功能的有效成分 b. 提供基板與保持活性粒子懸浮狀態(tài)的結(jié)合料之間粘結(jié)的粘結(jié)相 c. 提供合適的流體特性以適用于絲網(wǎng)印刷的有機(jī)粘合劑 d. 調(diào)節(jié)載體相粘性的溶劑或稀釋劑 a. 有效成分 ? 漿料中的有效成分決定了燒結(jié)厚膜的電學(xué)特性。 例如，當(dāng)我們?cè)谟推峒揖呋蚍鬯γ鏁r(shí)，希望涂層越均勻越平整越好。其中涉及厚膜材料的選擇；厚膜漿料的特性與選擇；絲網(wǎng)印刷過程中絲網(wǎng)、掩模、印刷等工藝；印刷中各外界因素對(duì)成膜特性的影響等。 所有的厚膜漿料都有兩個(gè)共同的一般特征： ，適合絲網(wǎng)印刷。涂料的這種特殊性質(zhì)，用術(shù)語就稱為“觸變性”。 b. 粘結(jié)成分 有兩種主要的成分用于厚膜與基板的粘結(jié)：玻璃和金屬氧化物，兩者可以單獨(dú)使用，也可以混合使用。純金屬如銅或鎘和漿料混合并且與基片表面氧原子發(fā)生反應(yīng)生成氧化物。 ? 用作有機(jī)粘合劑典型的材料是乙基纖維素和各種丙烯酸酯類。 6) 不發(fā)生焊接浸蝕； 7) 耐熱循環(huán)； 8) 資源豐富，價(jià)格便宜。在導(dǎo)體膜上焊接引線，沿垂直于膜面方向拉伸，測(cè)量拉斷時(shí)的強(qiáng)度，確定破斷位置，分析斷面形貌結(jié)構(gòu)等。為了抑制，一般要在漿料中添加 pd或 pt. 3Ag Sn3Ag Snb) AgPd ? 在 Ag中添加 Pd,當(dāng) Pd/(Pd+Ag)，即可較好的抑制 Ag的遷移。 ? Cu在大氣中燒結(jié)會(huì)氧化，需要在氮?dú)鈿夥罩袩Y(jié)。 2 ,Ti O C uO C dO 2 4 2 4,C uA l O C dA l O23BiO二、厚膜電阻材料 厚膜電阻器是由電阻漿料經(jīng)印刷、烘干、燒結(jié)、微調(diào)等工序制成。 流過厚膜電阻中的電流，由各種串聯(lián)和并聯(lián)的導(dǎo)電鏈中流過的分路電流組成。前者介電常數(shù) K值在數(shù)百以上，主要用于厚膜電容器的介電層，后者的 K值在１０以下，多用于表面鈍化、交叉絕緣層、多層布線絕緣層以及低容量的電容器等。若采用厚膜印刷法實(shí)現(xiàn)多層化，則必然伴隨著多次反復(fù)燒成，玻璃成分與填充物之間都會(huì)發(fā)生反應(yīng)，從而使介電體與基板之間的熱膨脹系數(shù)匹配變差，隨著積層數(shù)增加，可靠性下降； 2. 介電體的微細(xì)結(jié)構(gòu)中易產(chǎn)生空洞 (void). b. 晶態(tài)玻璃系列的介電材料 晶態(tài)玻璃是在玻璃中加入 Ti, Zr, Fe, V 等元素的氧化物、氟化物等作為形核劑而制取的。 印刷的種類根據(jù)版的形狀有凸版、平版、凹版、孔版等幾大類。照相凹版印刷就屬于此，要將過剩的油墨用刮板刮除。 ? 基本原理： 現(xiàn)代絲網(wǎng)印刷技術(shù)，是利用感光材料通過照相制版的方法制作絲網(wǎng)印版 (使絲網(wǎng)印版上電路部分絲網(wǎng)為通孔，而非電路部分的絲網(wǎng)孔被堵住 )。不銹鋼絲網(wǎng)強(qiáng)度高、伸縮小、尺寸精度高，與其他絲網(wǎng)比可選用更細(xì)的絲徑，絲網(wǎng)開口大，適合于更纖細(xì)的圖案，漿料透過性最好，耐藥品性強(qiáng)。 1 ( )( ) ( )inin in? ?目數(shù) 絲徑 開口長度網(wǎng)目的測(cè)量： 網(wǎng)目尺又稱經(jīng)緯密度儀，主要用于測(cè)量各種絲網(wǎng)的目數(shù)。這就要求網(wǎng)框耐壓，不變形。 ? 繃網(wǎng) 繃網(wǎng)是制作絲網(wǎng)印版的第一道工序?？嚲W(wǎng)夾頭的移動(dòng)是通過氣壓表來控制的。 直接制版法是在絲網(wǎng)表面直接涂布感光乳膠，干燥后形成感光膜，在 此感光膜上密貼原版光刻掩膜，經(jīng)紫外線曝光、顯影，直接形成印刷 版。 2)曝光 絲網(wǎng)曝光是把掩膜和光敏乳膠面接觸，然后在紫外線下進(jìn)行曝光，光源更易使用平行光。因此，絲網(wǎng)和基板間的初始距離被稱為“快速恢復(fù)距