【正文】 0 場(chǎng)發(fā)射尖端 FE Tip Tungsten Filament 750μ m Electron Source Type of Emission Operating Vacum (Pa) Brightness (A/cm2?str) Source Size (μ m) Energy Spread (eV) Life Time (h) Tungsten Filament Thermonic Field Emission Cold FE 105 ～ 108 5x105 108 30 50 2022 其作用主要是把電子槍的束斑逐漸縮小 ， 使原來直徑約為 50um 束斑縮小成一個(gè)只有數(shù) nm的細(xì)小束斑 。 ?背散射電子的產(chǎn)額與樣品的原子序數(shù)和傾斜角的關(guān)系 產(chǎn)額 傾斜角 ?入射電子打到樣品上 ， 受原子散射 ， 偏離原來入射方向 。 如可與 X 射線譜儀配接 ， 可在觀察形貌的同時(shí) 進(jìn)行微區(qū)成分分析 。 因而對(duì)于復(fù)雜而粗糙的樣品表面 ， 仍然可得清晰聚焦的圖像 。 非彈性背散射電子的能量范圍很寬 ， 從數(shù)十電子伏到數(shù)千電子伏 。其作用是用來獲得掃描電子束，作為產(chǎn)生物理信號(hào)的激發(fā)源。 ?其作用是檢測(cè)樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號(hào)，然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號(hào)。這也是掃描電鏡的一大優(yōu)點(diǎn)。此方式用于電子通道花樣分析。 置于末級(jí)透鏡上部的掃描線圈能使電子束在試樣表面上做光柵狀掃描 。 0 20 40 60 80 2 4 6 8 10 接收的二次電子 ? 二次電子收得數(shù)與入射束 試樣面法線間夾角分布曲線 ?二次電子的產(chǎn)額和原子序數(shù)之間沒明顯依賴關(guān)系，所以不能用它來進(jìn)行成分分析。第五章 掃描電子顯微術(shù) (SEM) SEM的特點(diǎn)