【正文】 ，就必須知道這兩個參數(shù) (t,? )的變化范圍。 另外，從制造、運轉角度 考慮，還要求轉子型線便于加工制造，具有良好的嚙合特性，較小的氣體動力損失，以及在高溫和受力的情況下，具有小的熱變形和彎曲變形等。值得指出的是吸氣封閉容積存在于非對稱型線中，而本文所論述的雙邊對稱圓弧型線沒有吸氣封閉容積。 多頭雙邊對稱圓弧型線 螺桿式雙頭干式真空泵中最重要的部件就是陰、陽螺桿轉子。 單頭等螺距矩形螺紋轉子型線是最早出現(xiàn)的型線，由于有可能發(fā)生根切，即二級轉子級間出現(xiàn)干涉現(xiàn)象，所以基本上已經不再使用。鑒于要滿足以上種種要求，螺桿真空泵的轉子型線通常由多段曲線首尾相接而組成，這些曲線稱為組成齒曲線。 (2) 轉子型線應形成長 度較短的連續(xù)接觸線。目前國內外關于雙螺桿雙頭干式真空泵轉子型線設計方面的報道很少，主要內容集中于對螺桿真空泵性能的預測與配套裝置、材料、加工方法和設備、螺桿泵的配件、密封條件等等內容的改進。美國 Varian（瓦里奧 )公司生產的 DVP系列產品，其真空度可以達到 210 Pa，這是目前報道的單級雙頭干式真空泵中真空度最高的產品之一。本文所研究的雙螺桿泵屬于容積式泵，它與離心泵、往復泵、齒輪泵、滑片泵等相比較，在某些方面具有明顯的優(yōu)越性。螺桿式雙頭干式真空泵沒有不平衡的慣性力，機器可平穩(wěn)地高速運行。所以可以這樣說，在當時能直接排入大氣和高真空機紹相連接的泵類各有其缺憾，因此導致了 雙頭干式泵不適宜大工業(yè)的應用。 5 結論與展望 ......................................................................... 錯誤 !未定義書簽。 多頭雙邊對稱圓弧型線方程 .............................................................. 11 3 螺桿雙頭干式真空 泵工作原理 .................................... 錯誤 !未定義書簽。 curve, and leaks. Keywords： dry(oilfree)vacuum。 軸的強度計算 .................................................................. 錯誤 !未定義書簽。對于這些少數(shù)有著特殊需要的工業(yè)來說，就只能采用無油污的無油泵或水環(huán)式泵類 (濕式泵 )，但這類泵的真空度不高，耗水耗能嚴重，而且相應的工作時帶有大量的水汽，因此對于有雙頭干式要求的，又不得不采用繁瑣的物理、化學吸附，冷凝低溫手段，從而使成本變得極其昂貴。螺桿式雙頭干式真空泵零部件少，沒有易損件，因此它運轉可靠，壽命長。應用范圍極為廣泛。 螺桿泵按螺桿數(shù)目通常分為單、雙、三三和五螺桿泵，各有優(yōu)缺點，在應用時必須根據(jù)所需要求進行合理的選擇才能充分利用其各白特點，更好的實現(xiàn) I}能、節(jié)材、增效益或滿足某種特殊應用要求。另外還有其他一些文獻對螺桿真空泵的性能等方面進行了較多的研究。 2 螺桿雙頭干式真空泵轉子型線的研究 6 2 螺桿雙頭干式真空泵轉子型線的研究 常見轉子型線比較 目前雙頭干式螺桿真空泵的主要生產廠家多采用單頭等螺距型線，其他還有多頭雙邊對稱圓弧型線、單頭變螺距梯形螺紋型線、單頭等螺距梯形螺紋型線和等螺距凹齒型線。值得指出的是，以上有些因索是相互制約的。 國外的型線研究主要著重于不對稱型線，國內也有學者進行這方面的研究并取得了一定的成果。單頭凹齒面型線的加工要比梯形齒型線稍復雜，但完全能 在通用的數(shù)控車床上完成，大批量生產時可以選用鑄造。由于吸氣封閉容積的存在，使齒間容積在擴大的初期，其內的氣體壓力低于吸氣口處的氣體壓力。對稱型線并不存在這一問題。更為重要的是，保護了擺線 IJ和 KL的形成點 C和 D，有助于減少通過接觸線的泄漏。 T是形成曲 線 c繞 z軸旋轉一周 (2? )后軸向前進的距離，稱為軸節(jié)距或導程。應該指出，所謂對稱圓弧型線并非全由圓弧組成。因此，理論上 的接觸線就轉化成實際中的間隙帶。對螺桿泵性能有重大影響的轉子型線要素有接觸線，泄漏三角形，封閉容積和齒間面積等 . a. 接觸線 螺桿泵的陰陽轉子嚙合時，兩轉子齒面相互接觸而形成的空間曲線稱為接觸線 (圖 2. lb中 9)。一般陽轉子為四頭螺桿，陰螺桿為六頭螺桿。節(jié)圓的內、外均有型線，稱雙邊型線。 (4) 轉子型線應使封閉容積較小。當然還有一個影響真空泵抽氣速率的因素，那就是轉速。英國 Rietschle有限公司根據(jù)螺桿式壓縮機原理設計出一種雙螺桿雙頭干式真空泵，采用了許多新技術，并已形成批量生產 ,該公司已成為世界低壓與真空技術中的領軍人物之一。 螺桿泵屬容積式轉子泵。 螺桿式雙頭干式真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領域。對半導體行業(yè)中應用的真空系統(tǒng)的要求大體分為三個等級。因為，各種形式的有油真空泵在工作過程中不可避免 的隨同排出的氣體一起排出了大量的油污，這些油污能夠嚴重的污染環(huán)境。 理論排氣量 ............................................................ 錯誤 !未定義書簽。 題目： LWZ150 雙頭螺桿型干式無油真空泵的設計 2020 年 05 月 I LWG150 雙頭螺桿型干式無油真空泵的設計 摘 要 干式雙螺桿真空泵是一種容積式無油真空泵，具有結構緊湊，抽速大，真空度高，可直排大氣，使用壽命長，自吸能力強，無易損件，運轉可靠，維修維護方便，動平衡性好，振動小，無壓力脈動與噪音，可高速平穩(wěn)的一作，適應性強，還可用于多相混輸，無喘振現(xiàn)象，易于實現(xiàn)連續(xù)排氣等諸多優(yōu)點，因此廠泛的應用于冶金、電子、化學、食品、醫(yī)藥、環(huán)保等工業(yè)生產部門。 排氣量 .............................................................................. 錯誤 !未定義書簽。從真空工業(yè)的視角來看，如果說 20世紀是有油真空泵的世紀，那么 21世紀將是雙頭干式真空泵的世紀。 畢業(yè)設計（論文） 2 一類是以半導體行業(yè)為代表，要求真 空泵向被抽空間內的返流為零，以保護工件免受污染。 另外，對螺桿型雙頭干式真空泵泵體的加工精度也有較高的要求，而國內的加工水平目前還難以達到這個水平。目前在許多領域螺桿泵己經逐步取代齒輪泵、離心泵等，產生 了很高的價值，正是由于螺桿泵具有以上特點，人們才將其應用范圍進一步擴大到了真空產業(yè)。 國外關于螺桿真空泵性能的研究有許多內容。因為真空泵的抽氣速率與真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。為了盡可能的減少氣體通過泄漏三角形的泄漏，型線設計應該使轉子的泄漏三角形盡可能的變小。只有在轉子節(jié)圓內部或外部一邊具有型線， 稱單邊型線。多頭雙邊對稱圓弧型線是最近幾年出現(xiàn)的一種新型型線，它是在雙螺桿壓縮機型線的基礎上發(fā)展而來的。而在雙頭干式螺桿泵中陰陽轉子并不接觸，兩者之間的動力傳遞通過同步齒輪完成 . 畢業(yè)設計（論文） 9 圖