【正文】 三、超精密加工的技術(shù)應(yīng)用與發(fā)展趨勢 超精密加工是指亞微米級 (尺寸誤差為 ～ ?m，表面粗糙度為 ～?m)和納米級 (精度誤差為 ?m，表面粗糙度小于 ?m) 精度的加工。隨著計算機(jī)、自動化與通訊網(wǎng)絡(luò)技術(shù)紅制造系統(tǒng)中的應(yīng)用，信息的作用越來越重要。專家系統(tǒng)智能技術(shù)的應(yīng)用使機(jī)床操作更容易，對操作人員的技術(shù)水平要求更低。 電火花加工復(fù)雜型腔時，可根據(jù)被加工部位的搖動圖形、搖動量的形狀及精度的要求 ,選用電極不斷搖動的方法 ,獲得側(cè)面與底面更均勻的表面粗糙度，更容易控制加工尺寸 ,實(shí)現(xiàn)小間隙放電條件下的穩(wěn)定加工。小于φ 50μ m 的孔則多采用電加工來完成。常用的精密模壓成形技術(shù)，如閉塞式鍛造、采用分流原理的精密成形及等溫成形等國外已用于軍工生產(chǎn)。m。傳統(tǒng)的精密加工方法有砂帶磨削、精密切削、珩磨、精密研磨與拋光等。實(shí)現(xiàn)這些加工所采取的工藝方法和技術(shù)措施，則稱為超精加工技術(shù)。 是利用機(jī)械、化學(xué)、電化學(xué)的方法對工件表面進(jìn)行的一種微細(xì)加工，主要用來降低工件表面粗糙度，常用的方法有：手工或機(jī)械拋光、超聲波拋光、化學(xué)拋光、電化學(xué)拋光及電化學(xué)機(jī)械復(fù)合加工等。 二、精密加工的發(fā)展現(xiàn)狀與應(yīng)用 精密鑄造成形、精密模壓成形、塑性加工、薄板精密成形技術(shù)在工業(yè)發(fā)達(dá)國家受到高度重視，并投入大量資金優(yōu)先發(fā)展。在 加工鋁合金等有色材料時，可采用金剛石涂層硬質(zhì)合金鉆頭、 DLC 涂層硬質(zhì)合金鉆頭或帶金剛石燒結(jié)體刀齒的鉆頭。 7 數(shù)控電火花加工為保證極高的重復(fù)定位精度且不降低加工效率，采用快 速裝夾的標(biāo)準(zhǔn)化夾具。 智能化是而向 21 世紀(jì)制造技術(shù)的發(fā)展趨勢之一。機(jī)床的自動化運(yùn)轉(zhuǎn)降低了操作人員的勞動強(qiáng)度、提高生產(chǎn)效率。設(shè)備柔性是指機(jī)床能在短期內(nèi)適應(yīng)新零件的加工能力。如用掃描隧道電子顯微鏡 (STM)加工，線寬可達(dá) 2～ 5nm。系統(tǒng)方案的柔性是指加工不同零件的自由度。自動操作過程不需人工干預(yù)，可以提高加工精度、效率。 23μ m、底面拐角 R 值可小于 ，最佳加工表面粗糙度可低于 m。真空熱處理爐已廣泛采用了計算機(jī)控制 ,目前已發(fā)展到真空化學(xué)熱處理和真空氣淬熱處理，包括高壓真空氣淬、高流率真空氣淬和高壓高流率真空氣淬技術(shù)等。在孔加工作業(yè)中，目前仍大量使用高速鋼麻花鉆，但各企業(yè)之間在孔加工精度和加工效率方面已逐漸拉開了差距。實(shí)際上， 這些加工方法不僅能提高表面質(zhì)量，而且可以提高加工精度。精密研磨與拋光對于金屬和非金屬工件都可以達(dá)到其他加工方法所不能達(dá)到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度 Ra≤ ?。在提高機(jī)電產(chǎn)品的性能、質(zhì)量和發(fā)展高新技術(shù)中起著至關(guān)重要的作用，并且已成為在國際競爭中取得成功的關(guān)鍵技術(shù)。 ，也稱金剛石刀具切削 (SPDT)，用高精密的機(jī)床和單晶金剛石刀具進(jìn)行切削加工 ，主要用于銅、鋁等不宜磨削加工的軟金屬的精密加工，如計算機(jī)用的磁鼓、磁盤及大功率激光用的金屬反光鏡等，比一般切削加工精度要高 1~2 個等級。 超精密加工就是在超精密機(jī)床設(shè)備上，利用零件與刀具之間產(chǎn)生的具有嚴(yán)格 4 約束的相對運(yùn)動 ，對材料進(jìn)行微量切削，以獲得極高形狀精度和表面光潔度的加工過程。 — ，我國為177