【正文】 三、超精密加工的技術應用與發(fā)展趨勢 超精密加工是指亞微米級 (尺寸誤差為 ～ ?m，表面粗糙度為 ～?m)和納米級 (精度誤差為 ?m，表面粗糙度小于 ?m) 精度的加工。隨著計算機、自動化與通訊網絡技術紅制造系統(tǒng)中的應用，信息的作用越來越重要。專家系統(tǒng)智能技術的應用使機床操作更容易，對操作人員的技術水平要求更低。 電火花加工復雜型腔時，可根據被加工部位的搖動圖形、搖動量的形狀及精度的要求 ,選用電極不斷搖動的方法 ,獲得側面與底面更均勻的表面粗糙度，更容易控制加工尺寸 ,實現(xiàn)小間隙放電條件下的穩(wěn)定加工。小于φ 50μ m 的孔則多采用電加工來完成。常用的精密模壓成形技術，如閉塞式鍛造、采用分流原理的精密成形及等溫成形等國外已用于軍工生產。m。傳統(tǒng)的精密加工方法有砂帶磨削、精密切削、珩磨、精密研磨與拋光等。實現(xiàn)這些加工所采取的工藝方法和技術措施，則稱為超精加工技術。 是利用機械、化學、電化學的方法對工件表面進行的一種微細加工，主要用來降低工件表面粗糙度，常用的方法有：手工或機械拋光、超聲波拋光、化學拋光、電化學拋光及電化學機械復合加工等。 二、精密加工的發(fā)展現(xiàn)狀與應用 精密鑄造成形、精密模壓成形、塑性加工、薄板精密成形技術在工業(yè)發(fā)達國家受到高度重視，并投入大量資金優(yōu)先發(fā)展。在 加工鋁合金等有色材料時，可采用金剛石涂層硬質合金鉆頭、 DLC 涂層硬質合金鉆頭或帶金剛石燒結體刀齒的鉆頭。 7 數(shù)控電火花加工為保證極高的重復定位精度且不降低加工效率，采用快 速裝夾的標準化夾具。 智能化是而向 21 世紀制造技術的發(fā)展趨勢之一。機床的自動化運轉降低了操作人員的勞動強度、提高生產效率。設備柔性是指機床能在短期內適應新零件的加工能力。如用掃描隧道電子顯微鏡 (STM)加工，線寬可達 2～ 5nm。系統(tǒng)方案的柔性是指加工不同零件的自由度。自動操作過程不需人工干預，可以提高加工精度、效率。 23μ m、底面拐角 R 值可小于 ，最佳加工表面粗糙度可低于 m。真空熱處理爐已廣泛采用了計算機控制 ,目前已發(fā)展到真空化學熱處理和真空氣淬熱處理，包括高壓真空氣淬、高流率真空氣淬和高壓高流率真空氣淬技術等。在孔加工作業(yè)中，目前仍大量使用高速鋼麻花鉆，但各企業(yè)之間在孔加工精度和加工效率方面已逐漸拉開了差距。實際上， 這些加工方法不僅能提高表面質量，而且可以提高加工精度。精密研磨與拋光對于金屬和非金屬工件都可以達到其他加工方法所不能達到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度 Ra≤ ?。在提高機電產品的性能、質量和發(fā)展高新技術中起著至關重要的作用，并且已成為在國際競爭中取得成功的關鍵技術。 ，也稱金剛石刀具切削 (SPDT)，用高精密的機床和單晶金剛石刀具進行切削加工 ，主要用于銅、鋁等不宜磨削加工的軟金屬的精密加工，如計算機用的磁鼓、磁盤及大功率激光用的金屬反光鏡等，比一般切削加工精度要高 1~2 個等級。 超精密加工就是在超精密機床設備上，利用零件與刀具之間產生的具有嚴格 4 約束的相對運動 ，對材料進行微量切削，以獲得極高形狀精度和表面光潔度的加工過程。 — ，我國為177