多晶硅生產(chǎn)中節(jié)能降耗探討(更新版)
【正文】 研究對象，選取不同供料與功率比值的爐次進行對比，并對運行結(jié)果進行分析和總結(jié)。 第 1 頁 共 3 頁 多晶硅生產(chǎn)中節(jié)能降耗探討 摘要。還原工序生產(chǎn)過程如下：一定摩爾比的氫氣和三氯氫硅混合氣在一定壓力下通入到還原爐內(nèi)，在直徑 8~15mm、長 ~ 的導電硅芯上進行氣相沉積反應生成多晶硅，硅棒表面溫度控制在 1050~1100℃ ，經(jīng)過一定時間后 第 2 頁 共 3 頁 長成規(guī)定直徑的硅棒，反應同時生成四氯化硅、二氯二氫硅及氯化氫等副產(chǎn)物。 參考文獻： [1]苗軍艦等 .西門子法生產(chǎn)多晶硅的熱力學 [j].無機化學學報， 2024，（ 5）： 796.
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