多晶硅生產(chǎn)中節(jié)能降耗探討(完整版)
【正文】 的還原電耗情況，如圖 1 所示。研究了不同供料與功率比值對(duì)多晶硅還原電耗和一次轉(zhuǎn)化率的影響，對(duì)指導(dǎo)實(shí)際生產(chǎn)具有重要意義。 1 多晶硅還原工序簡(jiǎn)介 多晶硅還原工序是生產(chǎn)多晶硅成品的環(huán)節(jié)，其核心設(shè)備是氣相沉積反應(yīng)器，也就是通常所說的還原爐，它的控制水平直接關(guān)系到多晶硅的產(chǎn)量、成本和質(zhì)量。 4 結(jié)語 在實(shí)際的多晶硅還原生產(chǎn)過程中，根據(jù)自身還原爐的特點(diǎn)，研究并選取合適的供料與功率比值，對(duì)優(yōu)化還原爐生產(chǎn)，降低還原電耗，提 高一次轉(zhuǎn)化率具有重要的指導(dǎo)意義。 2 研究方法 本文結(jié)合生產(chǎn)實(shí)際，在其他因素不變的情況下，將混合氣流量與硅棒功率的比值作為
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