多晶硅生產(chǎn)中節(jié)能降耗探討(留存版)
【正文】 相沉積反應(yīng)器，也就是通常所說的還原爐，它的控制水平直接關(guān)系到多晶硅的產(chǎn)量、成本和質(zhì)量。 3 結(jié)果及討論 不同比值對電耗的影響 通過將還原爐供料與硅棒功率進行關(guān)聯(lián)，得出了兩者不同比值時的還原電耗情況，如圖 1 所示。本文主要圍繞改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的還原工序，對還原爐供料和硅棒功率等 參數(shù)進行研究，為還原爐運行優(yōu)化提供參考依據(jù)。從上述趨勢線可以看出，在還原爐供料與功率比值從 提至 的過程中，還原電耗變化呈拋物線趨勢，即先快速下降，達到最低點后又逐步上升，這說明不同的進料比值對還原電耗的影響 較大，當比值較小時，還原爐的進料量小，硅棒生長速度較慢導(dǎo)致電耗偏高；而比值較
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