傳感器的加工工藝(ppt30頁)(更新版)
【正文】 離子注入技術(shù) 離子注入系統(tǒng)示意圖 LIGA技術(shù) ? LIGA是德文Lithographie，Galvanoformung和Abformung三個詞，即光刻、電鑄和注塑的縮寫。 ? 濺射方式有射頻濺射、直流濺射和反應(yīng)濺射等多種，其中射頻濺射應(yīng)用廣泛。 ? 在傳感器中，利用真空蒸鍍、濺射成膜、物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積（ CVD）、 等離子化學(xué)氣相沉積等工藝，形成各種薄膜，如多晶硅膜、氮化硅膜、二氧化硅膜、金屬（合金）膜 。然后，這些反應(yīng)物將于薄膜表面的分子產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，并生成各種生成物。 傳感器的加工工藝 姓名： 傳感器的加工工藝 ? 傳感器的發(fā)展和傳感器的加工工藝有著密切的聯(lián)系，在近現(xiàn)代的科技發(fā)展中，加工工藝的進(jìn)步也促進(jìn)了傳感器制造業(yè)的進(jìn)步。 ? 首先，溶液里的反應(yīng)物將利用擴(kuò)散效應(yīng)來通過一層厚度相當(dāng)薄的邊界層，以達(dá)到被蝕刻薄膜的表面。 表面犧牲層技術(shù) 表面犧牲 層技術(shù) 薄膜工藝 ? 薄膜：一般將厚度在 稱為薄膜。這些被濺射出來的原子帶有一定的動能，并且會沿著一定的方向射向襯底，實現(xiàn)薄膜的沉積。 深紫外光刻 深紫外光刻 工藝 電子束光刻 電子束 投影光刻系統(tǒng) X射線光刻 三 種點Ｘ射線源 壓印光刻 壓印 工藝原理 離子注入技術(shù) ? 離子注入就是把摻雜劑的原子引入固體中的一種材料改性方法。 頭發(fā)與 MEMS 蜘蛛腿與 MEMS 典型材料的加工工藝 火柴與微汽車
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