微慣性技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀與未來趨勢(shì)講義(更新版)
【正文】 測(cè) 光學(xué)檢測(cè) 隧道效應(yīng)檢測(cè) 按工作模式 速率陀螺 速率積分陀螺 閉環(huán)模式 開環(huán)模式 整角模式 壓電驅(qū)動(dòng) 靜電驅(qū)動(dòng)電容檢測(cè) 電磁驅(qū)動(dòng)壓阻檢測(cè) 隧道效應(yīng)檢測(cè) 微機(jī)械陀螺發(fā)展概述 微 機(jī) 械 陀螺以體積小 、成本低 、 抗過載能力強(qiáng)等優(yōu)勢(shì) ， 可應(yīng)用于導(dǎo)航 、 制導(dǎo) 、汽車 、 電子玩具等領(lǐng)域 ， 成為世界各國(guó)研究的熱點(diǎn) 。 3. 可靠性好 ， 工作壽命超過 10萬小時(shí) ， 能承受數(shù)千甚至上萬 g的 沖擊 。 MEMS在汽車中的應(yīng)用 提高電梯車輛舒適性 提供安全與舒適的轉(zhuǎn)向架監(jiān)控 和診斷系統(tǒng)，改進(jìn)乘客舒適度的高速列車傾斜控制系統(tǒng)，磁懸浮列車的位置監(jiān)控，提供安全與維護(hù)的精準(zhǔn)列車定位和鐵路軌道監(jiān)控系統(tǒng)。 ? :可以把不同功能、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執(zhí)行器集成于一體，或形成微傳感器數(shù)組、微執(zhí)行器數(shù)組，甚至把多種功能的器件集成在一起， 形成復(fù)雜的微系統(tǒng)。微慣性技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀與未來趨勢(shì) 劉志軍 2120230999 檢測(cè)技術(shù)與自動(dòng)化裝置 搭訕電話： 15010311282 傳感器 信號(hào)處理 執(zhí)行器 MEMS是建立在微米 /納米技術(shù)基礎(chǔ)上的 21世紀(jì)前沿技術(shù)，對(duì)微米 /納米材料進(jìn)行設(shè)計(jì)、加工、制造和控制。批量生產(chǎn)可大大降低生產(chǎn)成本。 懸臂梁式加速度微傳感器結(jié)構(gòu)圖 硅梁結(jié)構(gòu)圖 硅梁結(jié)構(gòu)圖 三軸式電容式加速度微傳感器 微機(jī)電加速度計(jì)應(yīng)用 ? ? ? ? ? 傳感器分辨率靈敏度要求較高，保證適時(shí)發(fā)出氣囊充氣的指令。 2. 成本低 ， 加工工藝可保證大規(guī)模生產(chǎn) 。/s 缺點(diǎn)： 目前，各種微機(jī)械陀螺的角速度測(cè)量精度相對(duì)較低， 漂移較大。/s / 芬蘭 赫爾辛基工業(yè)大學(xué) 框架式 角振動(dòng) 電容檢測(cè) 信噪比 德國(guó) Bosch公司 雙質(zhì)量塊 電磁驅(qū)動(dòng) 電容檢測(cè) 18mV/?/s 量程為 100186。/h。 19:16:1319:16:1319:16Sunday, January 22, 2023 1乍見翻疑夢(mèng)，相悲各問年。 :16:1319:16Jan2322Jan23 1世間成事，不求其絕對(duì)圓滿，留一份不足，可得無限完美。 19:16:1319:16:1319:161/22/2023 7:16:13 PM 1越是沒有本領(lǐng)的就越加自命不凡。 下午 7時(shí) 16分 13秒 下午 7時(shí) 16分 19:16: MOMODA POWERPOINT Lorem ipsum dolor sit, eleifend nulla ac, fringilla purus. Nulla iaculis tempor felis amet, consectetur adipiscing elit. Fusce id urna blanditut cursus. 感謝您的下載觀看 專家告訴
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1