微慣性技術發(fā)展現(xiàn)狀與未來趨勢講義(完整版)
【正文】 ? :用 硅微加工工藝在一片硅片上可同時制造成百上千個微型機電裝置或完整的 MEMS。 國內微機電加速度計技術的研究始于 20世紀 90年代初，清華大學、中國電科集團第 13研究所、 49研究所、中國航天科技集團時代電子公司、上海微系統(tǒng)與信息技術研究所、北京大學、東南大學、中北大學、哈爾濱工業(yè)大學一重慶大學、上海交通大學、北京理工大學、南京理工大學等多個單位先后從事這方面的研究工作，研制出的產(chǎn)品已能滿足中低精度的需求。 微機械陀螺特點 MEMS陀螺儀是利用 coriolis 定理 ， 將旋轉物體的角速度轉換成和角速度成正比的直流電壓信號 ， 其核心部件通過摻雜技術 、 光刻技術 、 腐蝕技術 、 LIGA技術 、 封裝技術等批量生產(chǎn)的 ， 它主要特點是 優(yōu)點： 1. 體積小 、 重量輕 、 功耗低 。 4. 測量范圍大 ， 一些 MEMS 陀螺儀測量范圍可高達數(shù)千 176。/s 大氣 100μV/186。/h左右 ， 還將進一步提高到 103 176。 :16:1319:16Jan2322Jan23 1故人江海別，幾度隔山川。 19:16:1319:16:1319:161/22/2023 7:16:13 PM 1成功就是日復一日那一點點小小努力的積累。 , January 22, 2023 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。 2023年 1月 22日星期日 7時 16分 13秒 19:16:1322 January 2023 1一個人即使已登上頂峰，也仍要自強不息。 :16:1319:16Jan2322Jan23 1越是無能的人，越喜歡挑剔別人的錯兒。 19:16:1319:16:1319:16Sunday, January 22, 2023 1不知香積寺，數(shù)里入云峰。 :16:1319:16:13January 22, 2023 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國見青山。 隨著先進的微電子技術的發(fā)展 ， 預計微機械陀螺的價格將會在一美元到幾百美元之間 。/s 國外微機械陀螺的特點與性能指標 15 1 / /h Hz?? 北京大學、清華大學、復旦大學，中科院上海微系統(tǒng)所 單位 結構特點 檢測機理 靈敏度 噪聲 /漂移 北大 諧振式 電容檢測 22mv/176。 微機械陀螺分類 微機械陀螺分類 按振動結構 按材料 按加工方式 旋轉振動結構 線性振動結構 振動盤結構陀螺 旋轉盤結構陀螺 正交線振動結構 非正交線振動結構 振動平板結構 振動梁結構 振動音叉結構 加速度計振動結構 振動平板結構 振動梁結構 振動音叉結構 單晶硅 多晶硅 石英 其它 硅材料 非硅材料 體微機械加工 表面微機械加工 LIGA(光刻、電鑄和注塑 ) 表面工藝制作的微結構 體硅工藝制作的微結構 微機械陀螺分類 微機械陀螺分類 按驅動方式 按檢測方式 壓電式 靜電式 電磁式 壓電檢測 電容檢測 壓阻式檢
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