俄歇電子能譜ppt課件(完整版)
【正文】 材料的研究上獲得了重要的應用，取得了很好的效果。為了增加譜圖的信背比，通常采用微分譜來進行定性鑒定。 4 AES原理 5 俄歇電子能譜法是用具有一定能量的電子束 (或 X射線 )激發(fā)樣品俄歇效應，通過檢測俄歇電子的能量和強度，從而獲得有關材料表面化學成分和結構的信息的方法 。 1952年舒沃茨教授推出了用于超真空技術的離子泵，為俄歇電子能譜學的創(chuàng)立開辟了道路。 1953年蘭德博士在他的實驗室里觀察到了二次電子能譜的峰值，并將這些峰確定為俄歇躍遷。 5 原子外層電子結構 5 6 AES原理 5 俄歇電子： 處于基態(tài)的原子若用光子或電子沖擊激發(fā)使內層電子電離后就在原子的芯能級上產生一個空穴，從能量上看是不穩(wěn)定的，并發(fā)生弛豫， K空穴被高能態(tài) L1的一個電子填充，剩余的能量 (Ek— El)用于釋放一個電子即俄歇電子。在分析俄歇能譜圖時，必須考慮荷電位移問題。但是，由于我們很難找到俄歇化學位移的標準數(shù)據(jù)，要判斷其價態(tài)，必須用自制的標樣進行對比，這是利用俄歇電子能譜研究化學價態(tài)的不利之處。這種功能是俄歇電子能譜在微電子器件研究中最常用的方法，也是納米材料研究的主要手段。 ②可分析除 H、 He以外的
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