《俄歇電子能譜》ppt課件-預覽頁
【正文】 電效應論文實驗時首先發(fā)現(xiàn)這一現(xiàn)象。 1967年，哈里斯提出了在相敏檢波中采用扇形靜電分析儀。如基礎物理、原子分子碰撞過程的研究或基礎和應用表面科學。 7 AES原理 5 俄歇電子能量： 首先考慮孤立原子，設原子序數(shù)為 Z， 俄歇躍遷為 WXY。 采用俄歇電子能譜可得到的信號種類和知識 11 AES應用 表面元素定性鑒定 5 這是一種最常規(guī)的分析方法，也是俄歇電子能譜最早的應用之一。一般來說，金屬和半導體樣品幾乎不會荷電，因此不用校準。由 AES提供的定量數(shù)據(jù)是以原子百分比含量表示的，而不是我們平常所使用的重量百分比。此外，俄歇電子能譜不僅有化學位移的變化，還有線形的變化。該方法是一種破壞性分析方法，會引起表面晶格的損傷，擇優(yōu)濺射和表面原子混合等現(xiàn)象。 俄歇電子能譜的線掃描分析常應用于表面擴散研究，界面分析研究等方面 AgAu合金超薄膜在 Si(111)面單晶硅上的電遷移后的樣品表面的 Ag和 Au元素的線掃描。 17 ? 優(yōu)點 ①作為固體表面分析法，其信息深度取決于俄歇電子逸出深度 (電子平均自由程 )。 ③對于輕元素 C、 O、 N、 S、 P等有較高的分析靈
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