俄歇電子能譜ppt課件-在線瀏覽
2025-01-25 03:17本頁面
【正文】 測器 、（ 樣品）分析室 、 濺射離子槍和信號處理與記錄系統(tǒng) 等 10 AES應用 5 AES具有五個有用的特征量：特征能量、強度、峰位移、譜線寬和線型。 采用俄歇電子能譜可得到的信號種類和知識 11 AES應用 表面元素定性鑒定 5 這是一種最常規(guī)的分析方法，也是俄歇電子能譜最早的應用之一。為了增加譜圖的信背比，通常采用微分譜來進行定性鑒定。一般來說，金屬和半導體樣品幾乎不會荷電，因此不用校準。 12 各元素的俄歇能量 K系列對于原子序數(shù) Z在 3(Li)和 13(Al)之間 L系列對于原子序數(shù) Z在 11(Na)和 35(Br)之間 M系列對于原子序數(shù) Z在 19(K)和 70(Yb)之間 N系列對于原子序數(shù) Z在 39(Y)和 94(Pu)之間 13 AES應用 表面元素的半定量分析 首先應當明確的是 AES不是一種很好的定量分析方法。由 AES提供的定量數(shù)據(jù)是以原子百分比含量表示的，而不是我們平常所使用的重量百分比。 俄歇電子能譜的化學位移分析在薄膜材料的研究上獲得了重要的應用，取得了很好的效果。此外，俄歇電子能譜不僅有化學位移的變化，還有線形的變化。 15 AES應用 元素沿深度方向的分
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