微慣性技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀與未來趨勢(存儲(chǔ)版)
【正文】 ， 取得了一定的成果 ， 但無商業(yè)化產(chǎn)品 ， 處于研究階段 。/s 中北大學(xué) 諧振式 電容檢測 176。 , January 22, 2023 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 下午 7時(shí) 16分 7秒 下午 7時(shí) 16分 19:16: 沒有失敗，只有暫時(shí)停止成功！。 2023年 1月 22日星期日 7時(shí) 16分 7秒 19:16:0722 January 2023 1空山新雨后，天氣晚來秋。 2023年 1月 22日星期日 下午 7時(shí) 16分 7秒 19:16: 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過于提升自我。勝人者有力，自勝者強(qiáng)。 2023年 1月 22日星期日 下午 7時(shí) 16分 7秒 19:16: 1楚塞三湘接，荊門九派通。 2023年 1月 下午 7時(shí) 16分 :16January 22, 2023 1行動(dòng)出成果，工作出財(cái)富。 智能手機(jī)中 汽車中 空中無線鼠標(biāo)中 數(shù)碼相機(jī)中 智能機(jī)器人中 應(yīng)用舉例 應(yīng)用前景展望 在 MEMS中還存在著大量具有挑戰(zhàn)性的力 、 磁 、電等問題需要研究 , 對這些問題的有效解決則將會(huì)加快推動(dòng)微機(jī)械陀螺儀技術(shù)的發(fā)展 應(yīng)用比重增大 仍然面臨挑戰(zhàn) 過去幾十年內(nèi) ， 在汽車工業(yè)需求的推動(dòng)下 , 微陀螺技術(shù)取得了長足進(jìn)展 ， 隨著對傳感器小型化 、 集成化的應(yīng)用需求 ， 其在應(yīng)用領(lǐng)域中的比重將會(huì)不斷增大 。/s / 復(fù)旦 雙質(zhì)量塊 電容驅(qū)動(dòng) 壓阻檢測 電橋輸出176。 / sec ]地球轉(zhuǎn)速 ： 4 . 2 10 3176。/s 缺點(diǎn)： 目前，各種微機(jī)械陀螺的角速度測量精度相對較低， 漂移較大。 微機(jī)械陀螺儀 (MEMS gyroscope)主要有 轉(zhuǎn)子式 、振動(dòng)式 微機(jī)械陀螺儀和 微機(jī)械加速度計(jì)陀螺儀 三種 。 微慣性器件類別 ?微機(jī)電加速度計(jì) ?微陀螺儀 微加速度計(jì)、微陀螺儀外觀 微機(jī)電加速度計(jì)發(fā)展 ? 1977年，美國斯坦福大學(xué)首先采用各向異性蝕刻與微光刻技術(shù)制成一種開環(huán)微型加速度計(jì)，并于 20世紀(jì) 8O年代初首次投放市場，隨后許多公司也紛紛仿效研制。 美國： 微電子機(jī)械系統(tǒng)（ MEMS） （ MicroElectroMechanicalSystem） 歐洲： 微系統(tǒng)技術(shù)（ MST） （ MicroSystemTechnology） 日本： 微機(jī)械（ Micromachine ） MEMS簡介 微機(jī)電系統(tǒng)的尺寸 在微小尺寸范圍內(nèi)，機(jī)械依其特征尺寸可以劃分為 110毫米的小型 (Mini)機(jī)械， 1微米一 1毫米的微型機(jī)械以及 1納米一 1微米的機(jī)械。 ? 2以 硅為 主要材料， 機(jī)械電器 性能 優(yōu)良。 ，隧道電流硅微加速度計(jì)具有靈敏度 高、信噪比大、動(dòng)態(tài)范圍廣等一系列優(yōu)點(diǎn)，是一種很有發(fā)展前途的新型傳感器。 振動(dòng)式微機(jī)械陀螺主要由 支撐框架 、 諧振質(zhì)量塊 ， 以及 激勵(lì) 和 測量單元 幾個(gè)部分構(gòu)成 。 3. 可靠性好 ， 工作壽命超過 10萬小時(shí) ， 能承受數(shù)千甚至上萬 g的 沖擊 。 德國 Bosch公
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