【正文】 因。如果這個(gè)問題不能夠很好的解決，將造成系統(tǒng)執(zhí)行的混亂，也會(huì)出現(xiàn)重復(fù)執(zhí)行的現(xiàn)象。在生產(chǎn)的過程中，因?yàn)榉止さ牟煌?，還可以將用戶權(quán)限分為幾種，比如說我們可以將他分為三個(gè)權(quán)限：操作員、工程師、管理員。旋轉(zhuǎn)走的是速度時(shí)間模式，通過PARK的伺服驅(qū)動(dòng)器電機(jī)去控制，可以把它做成8段速，可以留有足夠的盈余。五、顯影工藝的自動(dòng)控制，顯影工藝其實(shí)要到LBR刻錄完之后才進(jìn)行，這里排在前面是因?yàn)?，它的結(jié)構(gòu)與清洗和旋涂很相近，所以才把它跟這兩個(gè)放到一塊探討。為了使濺射物更均勻的附著，加載母盤的機(jī)械手以設(shè)定的速度在不停的勻速旋轉(zhuǎn)。母盤自動(dòng)化生產(chǎn)線是一個(gè)很大的工程，即使有一面考慮不周都有可能造成停產(chǎn)。我不僅學(xué)到了知識(shí)，而且學(xué)到了做人的準(zhǔn)則和嚴(yán)謹(jǐn)?shù)闹螌W(xué)作風(fēng)…。 := FALSE。 := FALSE。 Fault[5] := FALSE。 Fault[13] := FALSE。 Fault[21] := FALSE。 Fault[29] := FALSE。 Fault[37] := FALSE。 Fault[45] := FALSE。 DP_activation_busy[5] := FALSE。 DP_activation_busy[13] := FALSE。 DP_activation_busy[21] := FALSE。 DP_activation_busy[29] := FALSE。 DP_activation_busy[37] := FALSE。 DP_activation_busy[45] := FALSE。 Not_present[5] := FALSE。 Not_present[13] := FALSE。 Not_present[21] := FALSE。 Not_present[29] := FALSE。 Not_present[37] := FALSE。 Not_present[45] := FALSE。 Help_byte[5] := B Help_byte[13] := B Help_byte[21] := B Help_byte[29] := B Help_byte[37] := B Help_byte[45] := BVERSION : VAR_INPUT SetValue : REAL 。 L 0。 T TempSetDint。 L 1。 L TempSetDint。 ThirdTemp : INT 。 MN5 : INT 。 MN3 : INT 。 END_FUNCTIONFUNCTION Ascii Data : VOIDTITLE =VERSION : VAR_TEMP FirstTemp : INT 。 NETWORKTITLE =End A 。 JCN ENDE。 RND 。 L +000。NAME : 39。 Help_byte[43] := B Help_byte[35] := B Help_byte[27] := B Help_byte[19] := B Help_byte[11] := B Help_byte[3] := B Not_present[43] := FALSE。 Not_present[35] := FALSE。 Not_present[27] := FALSE。 Not_present[19] := FALSE。 Not_present[11] := FALSE。 Not_present[3] := FALSE。 DP_activation_busy[43] := FALSE。 DP_activation_busy[35] := FALSE。 DP_activation_busy[27] := FALSE。 DP_activation_busy[19] := FALSE。 DP_activation_busy[11] := FALSE。 DP_activation_busy[3] := FALSE。 Fault[43] := FALSE。 Fault[35] := FALSE。 Fault[27] := FALSE。 Fault[19] := FALSE。 Fault[11] := FALSE。 Fault[3] := FALSE。 := FALSE。 := FALSE。還有一些實(shí)驗(yàn)的數(shù)據(jù)和圖示也不能拷貝出來與大家一起探討和做更深一步的研究。圖42 濺鍍機(jī)打開圖43 濺鍍機(jī)關(guān)閉5 全文總結(jié) 結(jié)論本文首先對(duì)對(duì)母盤的基本參數(shù)進(jìn)行了簡(jiǎn)要的說明，按照順序依次介紹了母盤自動(dòng)化生產(chǎn)線的建廠環(huán)境、電力配置、周邊設(shè)備的選型和部署。六、濺鍍機(jī)的自動(dòng)控制，這是母盤生產(chǎn)線上最重要一個(gè)工藝之一，也是一個(gè)牽扯知識(shí)面比較廣的領(lǐng)域。驅(qū)動(dòng)器走的是速度時(shí)間模式。毛刷的旋轉(zhuǎn)和來回?cái)[動(dòng)有利于清潔的均勻性。在這個(gè)系統(tǒng)中，每道工序都有它自己的參數(shù)，這些參數(shù)根據(jù)環(huán)境、母盤的狀態(tài)需要更改，所以這就需要在做的時(shí)候留出足夠多的參數(shù)。這時(shí)生產(chǎn)系統(tǒng)生產(chǎn)堵塞的問題解決了，又會(huì)產(chǎn)生一個(gè)新的問題。而氬離子撞擊靶材的另一部份動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱，因此靶材必須用冷卻水冷卻。五、濺鍍鍍膜，主要利用輝光放電（glow discharge）將氬氣（Ar）離子撞擊靶材（target）表面；靶材的原子被彈出而堆積在基板表面形成薄膜。在一般情況下，使用458nm波長的激光進(jìn)行刻錄可是槽壁傾斜角在55度左右，使用351nm波長的激光進(jìn)行刻錄可使槽壁傾斜角為60度65度，同時(shí)激光刻錄功率的強(qiáng)弱和顯影是否充分也在一定程度上影響槽壁傾斜角。膠層的厚度及其均勻性，并用原子力顯微鏡合適母盤上預(yù)刻槽的深度。最后涂保護(hù)膠和沖中心孔。首先將清洗后并經(jīng)過挑選的可用玻璃基盤放入設(shè)備，再次用純水清洗、甩干，旋涂規(guī)定厚度的光刻膠，烘干、冷卻后進(jìn)入激光刻錄，接著顯影、UV照射、濺鍍；然后檢查基盤上是否有缺陷，如果正常經(jīng)清洗可進(jìn)入電鑄工序，電鑄后若無缺陷，清洗、UV照射去除殘余光刻膠，旋涂保護(hù)膠、烘干；最后拋光、切邊沖孔、檢測(cè)。一般母盤設(shè)備的用氣，在儲(chǔ)氣罐后設(shè)置冷干機(jī)、過濾器組，同時(shí)在每個(gè)用氣設(shè)備入口也必須裝有過濾器和壓力表。壓縮空氣系統(tǒng)一般采用集中供氣，優(yōu)點(diǎn)是：總投資少，設(shè)備占用空間小，便于維護(hù)保養(yǎng)，耗能少。系統(tǒng)設(shè)計(jì)要考慮檢修方便并配置備用空壓機(jī)。純水系統(tǒng)，主要供給母盤清洗使用，或兼為冷卻水系統(tǒng)提供純水。二、水系統(tǒng)分兩方面：冷卻水和純水，冷卻水主要給濺鍍機(jī)、模具、母盤電鑄設(shè)備、AE電源等發(fā)熱的設(shè)備。 母盤生產(chǎn)線水、電、氣方案一、電力，一般母盤生產(chǎn)設(shè)備要求穩(wěn)壓，三相四線380400V。如母盤保護(hù)膠旋涂就應(yīng)該這樣處理。三、根據(jù)工藝布局圖及其他設(shè)計(jì)要求進(jìn)行廠房設(shè)計(jì)，建筑廠房設(shè)計(jì)是一專門學(xué)科，應(yīng)由資質(zhì)的建筑專業(yè)設(shè)計(jì)人員按照國家建筑的有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行。內(nèi)外設(shè)備的聯(lián)系應(yīng)盡可能短距離，這樣可減少工程用料，減少線路損耗，同時(shí)也為今后維修時(shí)查找線路故障提供方便。具體的工藝布局要認(rèn)真聽取各方面的意見，反復(fù)論證，直到最后確定方案。合理進(jìn)行生產(chǎn)企業(yè)總體規(guī)劃、設(shè)計(jì)、反復(fù)論證工藝方案，工藝布局，使廠房的建設(shè)既符合當(dāng)前生產(chǎn)的需要，又為企業(yè)將來的發(fā)展預(yù)留發(fā)展空間，這是母盤生產(chǎn)設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行的需要，也是母盤產(chǎn)業(yè)走向規(guī)范化生產(chǎn)的需要。外圍設(shè)備的合理設(shè)計(jì)、配置和規(guī)劃是日后高產(chǎn)量、高質(zhì)量母盤生產(chǎn)的必要條件。由于電力配置不合理或瞬間斷電，造成設(shè)備損壞。擁有原子力顯微鏡和橢圓偏振測(cè)試儀等多種先進(jìn)檢測(cè)設(shè)備，具有比較完整的測(cè)試能力，檢查母盤預(yù)刻槽的形狀，有利于母盤的開發(fā)及其質(zhì)量控制。光盤使用有機(jī)染料作為存儲(chǔ)介質(zhì)，記錄點(diǎn)是靠預(yù)刻槽中的染料吸收寫入激光的能量，使染料分解并引起漂白和鼓泡，由此信息標(biāo)記被記錄在預(yù)刻槽的染料層中。市場(chǎng)對(duì)光盤母盤的需求也就有所增加，再加之母盤制造工藝的成熟，價(jià)格低廉，母盤生產(chǎn)的產(chǎn)業(yè)鏈也在不斷擴(kuò)大。物鏡的數(shù)值孔徑愈大，其相差亦愈大。對(duì)給定波長的光，物鏡的數(shù)值孔徑愈大，則其分辨本領(lǐng)越高，在這里也就是聚焦光斑越小。因此在光路調(diào)試中，需要仔細(xì)調(diào)節(jié)激光束入射角，使它德語布拉格角，以產(chǎn)生最強(qiáng)的一級(jí)衍射光。在母盤刻錄光路中，我們使用半波片配合其他偏振元件（如偏振分光棱鏡）作為光強(qiáng)衰減器。反射棱鏡在光路中的作用是改變光的傳播方向。也有非球面的透鏡。半導(dǎo)體激光器的體積最小，能直接調(diào)制（不需要聲光調(diào)制器），可以用波爾帖效應(yīng)（當(dāng)電流從一種金屬流入另一種金屬時(shí)，在節(jié)點(diǎn)處所發(fā)生的釋放熱或吸收熱的現(xiàn)象）和溫度伺服冷卻，溫度精度高。母盤刻錄用激光器要求盡可能低的噪聲電平。并且光束的發(fā)散角最小，有利于聚焦成最小光斑。氬離子激光器的輸出功率越為10mw，SHG激光器的輸出功率約為7mw左右。激光器主要有：氣體激光器（包括離子激光器和準(zhǔn)分子激光器）、固體激光器、染料激光器和半導(dǎo)體激光器等。產(chǎn)生激光的條件是：在非平衡系統(tǒng)中找到躍遷能級(jí)，在那里能級(jí)離子壽命比較長離子數(shù)N2要大于下能級(jí)離子N1。 溝槽形狀的設(shè)計(jì)以及專用信息和附加信息的確定使用不同配方的有機(jī)染料及不同參數(shù)的旋涂工藝制造盤片，要求預(yù)刻槽具有不同的溝槽形狀。選擇ATIP開始時(shí)間和ATIP結(jié)束時(shí)間使ATIP時(shí)間碼覆蓋整個(gè)信息區(qū)。因此，可通過檢查MS和F1（這些數(shù)據(jù)可參照橙皮書）來區(qū)分“分”、“秒”、“幀”部分的信息類型。省去了電鑄、清洗、背面拋光等復(fù)雜工序和設(shè)備，簡(jiǎn)化了工藝和操作，也使設(shè)備的前期投資大大降低。在金屬化方面鎳層濺鍍技術(shù)與化學(xué)沉積技術(shù)并存，不同的工藝方法具有各自的特點(diǎn)。所以制造和生產(chǎn)母盤的自動(dòng)化設(shè)備成為我的研究課題。光盤的最重要特點(diǎn)是可靠性高。光盤的優(yōu)勢(shì)還在于他的存取速度快、保存管理方便等特點(diǎn)。t thousands weakened the signal on the plate. Japan with modern science has kodak way to accelerate the ageing of the CD, the service life of the disc read only type of about 209 years. CD39。制造工藝包括玻璃基片清洗、涂光刻材料、烘干、冷卻、激光刻錄、顯影、形成金屬鎳導(dǎo)電層、電鑄、壓模與玻璃分離、壓模表面化學(xué)處理和清洗、涂保護(hù)膠、烘干、拋光沖孔。每個(gè)ATIP幀由42位組成，它的分布按循序從高到低是：同步占4位，分占8位，秒占8位，幀占8位，循環(huán)冗余碼占14位。道間距和速度；ATIP開始時(shí)間和ATIP的起始半徑的位置；ATIP結(jié)束時(shí)間和ATIP的結(jié)束半徑的位置；導(dǎo)入?yún)^(qū)開始時(shí)間（SLI）。導(dǎo)入?yún)^(qū)開始時(shí)間是在公司獲得光盤生產(chǎn)授權(quán)時(shí)所分配的，它代表了該公司的標(biāo)識(shí)。母盤所確定的專用信息他遵從光盤的版本。當(dāng)某一頻率信號(hào)在腔內(nèi)諧振，在工作物質(zhì)內(nèi)多次往返時(shí)有足夠機(jī)會(huì)去感應(yīng)處于離子數(shù)反轉(zhuǎn)的工作物質(zhì)，才能產(chǎn)生激光。當(dāng)然藍(lán)紫光是可見光，光路調(diào)整時(shí)比較容易。氬離子激光器和SHG固體激光器一般要求開機(jī)一小時(shí)，等輸出功率穩(wěn)定后才能工作。母盤刻錄激光的偏振態(tài)應(yīng)該是線偏振光，氬離子激光器放電管的窗口與管軸成布儒斯特角（入射角為布儒斯特角時(shí)，反射光中沒有震動(dòng)面平行于入射面的光，即此種偏射狀態(tài)的光能100%地射入另一介質(zhì)，利用光的這種投射性可制備無損耗的激光器窗口。特別是氣體激光器有基本固定的壽命，氬離子激光器和SHG激光器的平均壽命一般在30006000小時(shí)。二、光學(xué)原件，透鏡：由中心在同一直線上的兩個(gè)或兩個(gè)以上的球面組成的系統(tǒng)成為共軸球面系統(tǒng)。位于焦點(diǎn)的點(diǎn)光源通過薄透鏡折射會(huì)形成象點(diǎn)在無窮遠(yuǎn)的平行光束。在他們的結(jié)合面上鍍有偏振反射模，該偏振反射模對(duì)振動(dòng)面垂直于入射面的光反射，而對(duì)振動(dòng)面平行于入射面的光透射。換能器即超聲波發(fā)生器，它是利用壓電晶體使電壓信號(hào)變?yōu)槌暡?，并向聲光介質(zhì)中發(fā)射的一種能量變換器。為了提高聲光調(diào)制器的頻率響應(yīng)，光路中插入一聚透鏡，使激光束聚焦到聲光介質(zhì)中。這里還需要提到光學(xué)系統(tǒng)的相差。因此，在調(diào)試光路時(shí)要注意保護(hù)物鏡不受損壞。母盤的制作就是按照一定的規(guī)則，將絕對(duì)時(shí)間信息和盤片應(yīng)用信息以模擬調(diào)頻和數(shù)字雙相位調(diào)制的方式復(fù)制到基盤的擺動(dòng)預(yù)刻槽內(nèi)。國際橙皮書標(biāo)準(zhǔn)和國內(nèi)常規(guī)檢測(cè)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)光盤未錄光盤和已錄光盤規(guī)定了測(cè)試指標(biāo)，如未刻錄光盤的徑向?qū)Ρ榷龋≧Cb）、擺動(dòng)載噪比（WCNR）、ATIP誤碼率（ATER）、ATIP突發(fā)誤碼長度（ABERL）、歸一化擺動(dòng)幅度（NWAb）等和已錄光盤的徑向?qū)Ρ榷龋≧Ca）、高頻幅度（I3/Itop）、對(duì)稱性（SYM）、塊誤碼率（BLER）、雙字符可糾正誤碼（E22）、徑向噪聲（RN）和抖晃（Jitter 3T11T）等。我國很多母盤企業(yè)由于技術(shù)力量薄弱，或者由于客觀條件的限制，或者對(duì)投產(chǎn)前對(duì)前期準(zhǔn)備工作不夠重視，或者急于追求短期的利益，造成布局失當(dāng)，設(shè)備配置欠妥，結(jié)果給長期的穩(wěn)定、高效生產(chǎn)埋下了隱患。如壓縮空氣壓力不夠，冷卻水溫度過高等。廠房設(shè)計(jì)、施工單位及超凈裝修公司也沒有能力為母盤生產(chǎn)全面統(tǒng)籌安排。初步確定生產(chǎn)量以后，可初選滿足要求的設(shè)備，選出兩三家做不同方案的比較。選擇生產(chǎn)主設(shè)備，一般選擇三家左右設(shè)備的供應(yīng)商，要求提供單臺(tái)設(shè)備的價(jià)格和技術(shù)數(shù)據(jù)，包括：型號(hào)、產(chǎn)能、成品率、開機(jī)率、功耗、占地面積、生產(chǎn)周期、及對(duì)水、電、