近代自動化光學(xué)檢測技術(shù)發(fā)展趨勢-免費(fèi)閱讀
【正文】 ? 學(xué)術(shù)界在 AOI人才的培育還不夠 , 應(yīng)鼓勵教授們加入此領(lǐng)域。 20xx 國科會自動化學(xué)門研究發(fā)展規(guī)劃書 Automation Division National Science Council 關(guān)鍵技術(shù)研究 (3) C5. 3D彩色影像表面量測技術(shù) ： PCB錫球高度、 Bonded wires、Thermal images。 (new) 高速影像運(yùn)算之晶片 ，將可協(xié)助 AOI系統(tǒng)發(fā)展效率之大幅提升。如 (Wafer Level\Wire Bond\BGA\Laser Mark) FPD瑕疵檢測 , 如 : 玻璃基板、薄膜電晶體面板、彩色率光片、配向膜（ PI）、 Photo spacer (PS) PCB 檢測 ,如 : 孔位、瑕疵、 Solder paste，其中缺陷檢查具龐大商機(jī) 20xx 國科會自動化學(xué)門研究發(fā)展規(guī)劃書 Automation Division National Science Council AOI設(shè)備需增強(qiáng)功能 (調(diào)查整理 ) IC ?對準(zhǔn)度量測儀精度提升 ● 晶圓厚度及粗超度量測 ● 晶圓 Back side AOI ?晶圓 Macro 缺陷檢視機(jī)靈敏度提昇 ● 晶圓 Outgoing inspection ? 植球檢查機(jī) ● Bump 檢測能力 , BGA 基板翹曲檢測 PCB/BGA ?內(nèi)外層線路檢查解析度到 5/ (未來要 1/4μm) ?綠漆上的瑕疵檢測 , 彩色 AVI, 3D 影像 ?靶孔校正 , XY 偏位 , 線路距離 , 內(nèi)外層檢驗 , 快速 !快速 ! ?快速錫高檢查機(jī) , 銲錫點(diǎn)品質(zhì) ,表面標(biāo)示 TFT/LCD ? Autofocus, Layout區(qū)域檢查 , 打光技巧 , 缺陷辨識率到 5μm ? 貼偏光板前之 PI scribing, ODF 檢測 ? 檢出力提高 (像素小灰階高 ) ● Tact time 要快 (掃描速度 , 多 CCD, 快門速度 ) ● 拍照品質(zhì)要好 ● Defect要能分類 ?Align Mark辨識率要高 ? Stage 定位精度要 μm, Pin defect辨識率要高 光通訊產(chǎn)品 ?光纖主 /被動元件封裝 /組裝所需機(jī)臺 ● 提高光耗損量測之準(zhǔn)確度 ?光纖長度、連結(jié)器 、 Ferrule 量測 (低價位機(jī) ) 、 WDM eccentricity量測 20xx 國科會自動化學(xué)門研究發(fā)展規(guī)劃書 Automation Division National Science Council TFT/LCD 未來 AOI檢測需求 1. 機(jī)臺尺寸不能隨面板增大 2. 功能複合化，可同時檢測 CD (critical dimension)及 OL (overlay) 偏移 3. 檢測速度要快 4. Pad inspection function (不只是 TFT, 連旁邊的電路都要檢測 ) 5. 機(jī)臺穩(wěn)定度要高 6. 鏡頭的穩(wěn)定度要高 7. VCR功能 (自動判讀玻璃的 Data code) 8. MURA 檢出 (在簡測中順便看 Mura不同灰階值 ) 9. 定點(diǎn)拍照 (可設(shè)定不同倍率 ) 10. 瑕疵分類演算法則 (現(xiàn)有均為肉眼分類 ) 20xx 國科會自動化學(xué)門研究發(fā)展規(guī)劃書 Automation Division National Science Council 人才培訓(xùn)建議 學(xué)校 : 培育基楚人才藝 開設(shè) AOI學(xué)程 , 課程如 : 光學(xué)理論、機(jī)器視覺、影像處理技術(shù)、光 機(jī) 電整合技術(shù)、光電量測、產(chǎn)業(yè)應(yīng)用專題等。 ? 機(jī)械視覺 :機(jī)器人控制、無人駕駛汽車。 ? 製造者：需要高進(jìn)入技術(shù)門檻，產(chǎn)品少量多樣，光 機(jī) 電 資訊技術(shù)整合，人才取得不易，附加價值高。 機(jī)械視覺運(yùn)用在生產(chǎn)製造中的檢查 稱為自動光學(xué)檢查 (Automated Optical Inspection) 20xx 國科會自動化學(xué)門研究發(fā)展規(guī)劃書 Automation Division National Science Council 領(lǐng)域重要性及未來發(fā)展 近年來由於新興產(chǎn)業(yè)之興起，如 IC、 PCB、 LCD、 BGA、光通訊等等，必頇做到百分之百的全檢，少數(shù)廠商已開始致力於精密量測系統(tǒng)之發(fā)展。 ? 生物醫(yī)學(xué) :X射線成像、同位素成像、超音波成像。 (b)為人體電腦斷層掃瞄之影像圖檔。m, 重覆性177。 c2. 光通訊元件光學(xué)量測 ：光纖切割及研磨精度、光纖套統(tǒng)、光波導(dǎo)、光連接器、光開關(guān)元件等。應(yīng)用於 PCB、 IC、 MEMS、 BGA等內(nèi)層瑕疵檢測，解析度需達(dá) 2181。 。m.。 b2. 數(shù)位彩色影像處理 ：色度校正、彩色座標(biāo)系統(tǒng)、圖形識別、 2D瑕疵分類應(yīng)用 (PCB綠漆板、 Monitor、 LCD、 Shadow mask、布匹等等 )。Module ?我國廠商紛紛欲跨入 ?我國 AOI廠商現(xiàn)況 ?技術(shù) 逐漸趕上 ?下游廠商接受意願較大 ?資本額小 ?研發(fā)所佔比重低 ?下游廠商要求現(xiàn)場人力配合，故人力受限 ?缺乏人才 資料來源：工研院 IEK 24 20xx 國科會自動化學(xué)門研究發(fā)展規(guī)劃書 Automation Division National Science Council AOI的核心技術(shù) AOI基本程式庫開發(fā) ，國內(nèi)大部分的 AOI設(shè)備開發(fā)廠商均是採購各硬軟體做系統(tǒng)整合的方式，少部份近年來已逐漸可自行發(fā)展AOI軟體，但仍有廣大的發(fā)展空間。 (b)為利用影像技術(shù)於生物細(xì)胞檢驗上之應(yīng)用。 20xx 國科會自動化學(xué)門研究發(fā)展規(guī)劃書 Automation Division National Science Council AOI定義 (廣義 ) 廣義的 AOI設(shè)備為結(jié)合光學(xué)感測系統(tǒng)、訊號處理系統(tǒng)及分析軟體，應(yīng)用層面可有： ? 宇宙探測 :太空計畫。20xx 國科會自動化學(xué)門研究發(fā)展規(guī)劃書 Automation Division National Science Council 自動化光學(xué)檢測 發(fā)展趨勢 (Automated Optical Inspection, AOI) 范光照 教授 臺灣大學(xué)機(jī)械系 (20xx) 20xx 國科會自動化學(xué)門研究發(fā)展規(guī)劃書 Automation Division National Science Council 何謂機(jī)械視覺？ 『 機(jī)械視覺 』 為 『 計算機(jī)視覺 』 (Computer Vision) 在 工業(yè) 及 生產(chǎn)製造 的運(yùn)用。 ? 學(xué)術(shù)單位：具有影像處理研發(fā)能力。 20xx 國科會自動化學(xué)門研究發(fā)展規(guī)劃書 Automation Division National Science Council AOI應(yīng)用範(fàn)例 宇宙探測 (a)為經(jīng)太空望遠(yuǎn)鏡拍攝傳回地面之玫瑰星雲(yún)影像圖 (b)為太陽日珥影像圖 (a) (b) 20xx 國科會自動化學(xué)門研究發(fā)展規(guī)劃書 Automation Division National Science Council AOI應(yīng)用範(fàn)例 生物醫(yī)學(xué) (a) (b) (a)為影像技術(shù)於生醫(yī)科技上在人體眼球檢驗的應(yīng)用。D) 每年 200人次 20xx 國科會自動化學(xué)門研究發(fā)展規(guī)劃書 Automation Division National Science Council 政府規(guī)劃推動策略 1. 辦理 AOI交流會或論壇，媒合使用單位及製造單位的交流機(jī)會 2. 編列科技專案研究發(fā)展經(jīng)費(fèi)及人才培育經(jīng)費(fèi) 3. 協(xié)助已成立的 AOI聯(lián)盟推動國內(nèi) AOI產(chǎn)業(yè)的興起 20xx 國科會自動化學(xué)門研究發(fā)展規(guī)劃書 Automation Division National Sci
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