以實(shí)驗(yàn)計(jì)劃法提高擠壓式填孔的良率-預(yù)覽頁(yè)
【正文】 選定充填時(shí)間、充填壓力、 Mask 孔洞大小、墊紙材質(zhì)為第一階段的實(shí)驗(yàn)因子。而因子水平要開的越大越好，如此才會(huì)包含所有的制程操縱區(qū)間。用膜厚儀量測(cè)填入之金屬膏高度，量測(cè)方法是每片生胚分成四區(qū)，每區(qū)量一點(diǎn)，每個(gè)子實(shí)驗(yàn)做二片，取第二片的四點(diǎn)平均值，正值表凸起，負(fù)值表凹陷。經(jīng) ANOVA分析找到非常顯著因子與顯著因子共計(jì)四個(gè)，分別是填充時(shí)間、填充壓力、 Mask孔洞大小及墊紙材質(zhì)，且總貢獻(xiàn)度均超過(guò) 70%，表示第一階段實(shí)驗(yàn)成功。 表三、第一階段實(shí)驗(yàn)多特性的 Cross Table 因子 A b c d ab 填入高度 A2 B2 c1 d2 A2B1 顯著性 ＊ ＊ ＊ ＊ ＊＊ 貢獻(xiàn)度 27 17 6 8 40 填入率 A2 B2 A2B2 顯著性 ＊＊ ＊＊ ＊＊ 貢獻(xiàn)度 34 33 33 高度均勻性 A2 B2 顯著性 ＊＊ ＊ 貢獻(xiàn)度 75 13 結(jié)論 A2 B1 C1 D2 A2B1 **表非常顯著因子 *表顯著因子 由表一及表三可知，填充時(shí)間為 45秒、填充壓力為 5psi時(shí)較易填入；較小的 Mask孔洞大?。?6mil）有助于填孔質(zhì)量；墊紙材質(zhì)的有利端傾向于第二水平即銅版紙。最后決定選擇采用 L934之點(diǎn)線圖（圖四）及直交表，來(lái)設(shè)計(jì)第二階段之實(shí)驗(yàn)指示書，依實(shí)驗(yàn)指示書進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。對(duì)于水平開太廣的因子，可運(yùn)用最小顯著差（ LSD）之計(jì)算，將填充時(shí)間水平開在 A1與 A3（ 3545秒 ）之間，將填充壓力水平開在 B2與 B3（ 1525 psi）區(qū)間。
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