薄膜干涉—等厚條紋-預(yù)覽頁
【正文】 膜 劈尖干涉條紋的特征 （ 2） 相鄰明紋 （ 或暗紋 ） 所對應(yīng)的薄膜厚度之差 ?e = ek+1ek = (2k+1)?/4n (2k1)?/4n = ?/2n 相鄰明紋（或暗紋）所對應(yīng)的薄膜厚度之差相同。 劈尖干涉條紋 劈 尖 膜 例 1 在半導(dǎo)體元件生產(chǎn)中，為了測定硅片上 SiO2薄膜的厚度，將該膜的一端腐蝕成劈尖狀，已知 SiO2 的折射率 n =，用波長 ? =5893埃的鈉光照射后，觀察到劈尖上出現(xiàn) 9條暗紋，且第 9條在劈尖斜坡上端點M處， Si的折射率為 。測出干涉條紋的間距，就可以算出金屬絲的直徑。 牛頓環(huán) 4. 劈尖干涉的應(yīng)用 依據(jù)： ? 測表面不平度 ? 測波長：已知 θ、 n， 測 L可得 λ ? 測折射率：已知 θ、 λ， 測 L可得 n ? 測細小直徑 、 厚度 、 微小變化 Δh 待測塊規(guī) λ 標準塊規(guī) 平晶 等厚條紋 待測工件 平晶 劈尖應(yīng)用 應(yīng)用： ??nL 2?公式 依據(jù)： 公式 ?mRrr kmk ??? 22? 測透鏡球面的半徑 R ： 已知 ?, 測 m、 rk+m、 rk， 可得 R 。由圖中相似直角三角形可 : 所以 : 21 )( ?heehba kk ????? ?a b ?h b a ?h ek1 ek 等厚干涉條紋 解： 如果工件表面是精確的平面，等厚干涉條紋應(yīng)該是等距離的平行直條紋，現(xiàn)在觀察到的干涉條紋彎向空氣膜的左端。由圖中相似直角三角形可 : 2?bah ??所以 : 21 )( ?heehba kk ????? ?a b ?h b a ?h ek1 ek 等厚干涉條紋
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