【正文】 或者在滿量程為 1（ S） LPM 以上的控制器的前端管路，安裝一個(gè) 50 微米的過濾器。大閥門控制器對于位置有些敏感，因?yàn)橛捎陂y門是由相當(dāng)厚重的柱體裝置而成的。 注意：超過 150 PSIA 在線壓力時(shí)，會(huì)導(dǎo)致固態(tài)差壓傳感器永久性的損壞?？刂破鲝囊粋€(gè)應(yīng)用領(lǐng)域到另一個(gè)時(shí)，應(yīng)該仔細(xì)測試它在新應(yīng)用中的適應(yīng)性。 6 電源和信號(hào)連接 如圖 1 所示， ALICAT 控制器通過電源插座，或者的 8 針 MiniDIN 連接器來供應(yīng)電源。通過 MiniDIN 連接器供應(yīng)電源，如下面所示： 小型閥門：如果你的控制器使用小閥門（大約是你的拇指大?。瑒t需要一個(gè) 1218Vdc（標(biāo)準(zhǔn) 的 68歐姆閥門線圈）或 1928Vdc（選項(xiàng)為 136 歐姆閥門線圈） 帶有 mm 正極凹槽插頭，同時(shí)須配有 300mA 電流的電源供應(yīng)。不同輸出信號(hào)的實(shí)用性， 決定于流量控制器的選項(xiàng)預(yù)定。 如圖所示： 圖 可選信號(hào) 010Vdc：如果訂購時(shí)選用此模式，則把 010 Vdc 輸入信號(hào)接到 4針上，公共地線端接到 8 針上。連接電纜可以使用廠家制造的，或采用本地制造商制造。允許用 戶通過一個(gè) 50K 歐姆電位計(jì)控制輸出，然后返回模擬設(shè)定點(diǎn)針口，這樣就構(gòu)成一個(gè) 05Vdc 的設(shè)定電源。電纜終端和圖 3成鏡象顯示（見 20 頁的 RS232輸出和輸入的詳細(xì)說明） 標(biāo)準(zhǔn)（ 05Vdc）電壓輸出信號(hào) 所有的 ALICAT 流量控制器的 6 針上都具有 05Vdc 的（選項(xiàng) 010Vdc）輸出信號(hào)。 選項(xiàng) 010Vdc 電壓輸出信號(hào) 如果你的流量計(jì)訂購的是 010Vdc 輸出信號(hào)，它將會(huì)連接在 6 針上。此信號(hào)的地線公共端在8 針上。輸出電流在整個(gè)過程中都是線性的。 選項(xiàng)第 2 路模 擬輸出信號(hào) 您可以在訂購的同時(shí)在 2 針上指定第 2 路輸出選項(xiàng)。 注意 ：這是電流源設(shè)備。 10 ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器操作說明 ALICAT 質(zhì)量流量控制器可以提供多種有用的測量參數(shù)，是一種簡單、耐用的設(shè)備。 主模式（ Main Mode） 接通電源后，初始界面顯示的是質(zhì)量流 量計(jì)的主模式。 設(shè)定點(diǎn)（ Set Pt） 設(shè)定點(diǎn)顯示在顯示屏的右上角。此傳感器可以用于低真空，并且在低于或高于一個(gè)大氣壓下都可以精確讀數(shù)。絕壓的讀數(shù)減去當(dāng)?shù)氐拇髿鈮杭礊楸韷?，其公式為? PSIG=PSIA（當(dāng)?shù)氐拇髿鈮簭?qiáng)（默認(rèn)情況下為 PSI）） 流量控制器通常采用氣體絕壓來計(jì)算質(zhì)量流量。此參數(shù)在顯示屏的正中上方， 且在標(biāo)示為“ ℃”的下面。通過按動(dòng)標(biāo)簽“ Volume”（左下方）的按鍵，可將體積流量顯示在主顯示上。 質(zhì)量流量（ Mass Flow）： 質(zhì)量流量指的是標(biāo)準(zhǔn)的溫度和壓力狀態(tài)（ PSIA和 25℃ ）下的體積流量。這就需要一個(gè)固定參考點(diǎn)，來與其他流量對比。 選擇菜單模式（ Select Menu Mode） 一旦按動(dòng)按鍵“ MODE”，則會(huì)顯示“ Select Menu”（選擇菜單），按下最接近您的選項(xiàng)的按鍵，進(jìn)入相應(yīng)的屏幕顯示。流量控制器允許用戶選擇用何種方式把設(shè)定點(diǎn)的值傳達(dá)給控制器，本地控制方式如何調(diào)節(jié)設(shè)定點(diǎn)，和 PID 控制回路的比例、微分項(xiàng)控制回路調(diào)節(jié)。除了所選擇的輸入方式之外，控制器將會(huì)忽視任何控制方式的設(shè)定點(diǎn)，并且在斷掉電源之后，它還會(huì)記憶選擇的輸入方式。 注意如果 4 針上沒有信號(hào)連接，并且控制器設(shè)定是模擬控制，則設(shè)定點(diǎn)將會(huì)產(chǎn)生漂移。 警告！絕對不要 在沒有壓力產(chǎn)生流量的情況下，設(shè)置控制器為任何非零的數(shù)值的設(shè)定點(diǎn)。如果本地改變設(shè)定點(diǎn)，需要將本地輸入設(shè)置為優(yōu)先級(jí)。當(dāng)在系統(tǒng)電子部件的前端加一個(gè)控制閥的時(shí)候，質(zhì)量流量控制器則用來控制出口壓力（僅僅是絕壓），或者是體積流量來代替質(zhì)量流量。如果你對此問題感到棘手，可及時(shí)聯(lián)系廠家。重復(fù)間斷的按鍵可進(jìn)行緩慢的微調(diào)，長按鍵則進(jìn)行快速調(diào)節(jié)。在改變此參數(shù)之 前，請必須寫下初始值并保存，以便以后可以恢復(fù)到廠家的默認(rèn)設(shè)置。一個(gè)零設(shè)定點(diǎn)會(huì)導(dǎo)致閥門關(guān)閉，和一個(gè) “無流量”條件。可查看上面輸入模式選 擇的介紹。當(dāng)這里沒有流量，閥門會(huì)因此變的非常熱而損壞！ 14 氣體選擇模式 氣體選擇模式可通過按動(dòng)選擇菜單上，標(biāo)簽標(biāo)示為“ Gas Select”的上面的按鍵進(jìn)入，具體如圖 9 所示。（ 注意： 氣體選擇模式不可用在用戶定制氣體或混合氣體。通信選擇模式允許查看或者改變設(shè)備的地址。 波特率 波特率（比特每秒）決定了儀 器和計(jì)算機(jī)之間數(shù)據(jù)傳輸?shù)乃俾省? 數(shù)據(jù)速率 改變數(shù)據(jù)速率，會(huì)影響儀器在流模式下儲(chǔ)存數(shù)據(jù)的速率。在通信選擇模式下改變數(shù)據(jù)速率，只要下按顯示屏左上角的“ Select”鍵，直到指針指向“ Date Rate”，然后，使用屏幕下方的“ UP”和“ DOWN”鍵，來選擇“ Fast”或“ Slow”。“ Mfg 2”顯示流量計(jì)的重要信息，包括型號(hào)，序列號(hào)和生產(chǎn)日期。接通電源后，設(shè)備默認(rèn)出現(xiàn)主模式。流量單位的下面，直接顯示的是選擇的氣體。 設(shè)定點(diǎn)（ Set Pt） 設(shè)定點(diǎn)在顯示屏的右上角。當(dāng)任何一項(xiàng)顯示閃爍的時(shí)候，則顯示的參數(shù)和流量測量都是不精確的。） 控制設(shè)定點(diǎn)模式（ Control Setup Mode） 按下顯示屏上顯示“ Control Setup”下面的按鍵，進(jìn)入控制設(shè)定點(diǎn)模式（如圖 7 所示），在這個(gè)模式下， Alicat Scientific 流量控制器允許用戶通過不同的方式向設(shè)備發(fā)送設(shè)定點(diǎn)信號(hào)，一種是在 local 模式下利用控制器上的顯示屏和 按鈕來給出設(shè)定值，一種是在 Analog 模式下通過模擬信號(hào)（ 05VDC、 010VDC、 420mA）遠(yuǎn)程設(shè)定，還有一種是在 series 模式下用計(jì)算機(jī)通過 RS232 接口來設(shè)定。除了所選擇的輸 入方式之外，控制器將會(huì)忽視任何輸入方式的設(shè)定點(diǎn)，并且在斷掉電源之后，它會(huì)記憶選擇的輸入方式。 注意如果沒有信號(hào)連接到 4 針上，并且控制器設(shè)定是模擬控制，則設(shè)定點(diǎn)將會(huì)產(chǎn)生漂移。 警告！絕對不要在沒有壓力產(chǎn)生流量的情況下，設(shè)置控制器的設(shè)定點(diǎn)在任何非零的數(shù)值上。如果本地改變設(shè)定點(diǎn)，需要將本地輸入設(shè)置為優(yōu)先級(jí)。為了改變設(shè)定點(diǎn)或 PID回路中的 P 和 D 參數(shù)，請按下左上角動(dòng)態(tài)顯示標(biāo)示為“ Select”上面的按鍵，直到箭頭指向你要改變的參數(shù)上。在改變此參數(shù)之前，請必須寫下初始值并保存，以便以后可以恢復(fù)到廠家的默認(rèn)設(shè)置。一般控制器設(shè)置在自動(dòng)歸零（ AUTOon）的模式上，除非由于你（ AUTOoff）的特殊應(yīng)用， 要求它必須關(guān)閉。 Set 指的是設(shè)定點(diǎn)。警告！絕對不要在沒有壓力產(chǎn)生流量的情況下，設(shè)置控制器的設(shè)定點(diǎn)在任何非零的數(shù)值上。按標(biāo)示為“ UP”和“ DOWN”下面的按鍵，或“ PgUP”和“ PgDWN”上面對應(yīng)的按鍵，直到箭頭指向您想要選擇的氣體。請看 14 頁的通信選擇模式操作指示。 RS232 輸入和輸出 超級(jí)終端的使用和設(shè)置 ： 1. 打開 Windows 下的“附件”，選擇“通訊”，選擇“超級(jí)終端” 2. 打開“超級(jí)終端”，取消“連接描述”窗口，在“新建連接 超級(jí)終端”下選擇“文件”，再選擇“ 屬性” 3. 在“連接時(shí)使用”條欄選擇連接的端口，例如 COM1 端口或 COM2端口（必須為COM 端口或 USB 模擬 COM 端口） 4. 然后選擇“配置”，配置如下：每秒位數(shù)： 19200，數(shù)據(jù)位： 8，奇偶校驗(yàn)：無，停止位： 1，數(shù)據(jù)流控制：無。然后鍵入 *=， 再回車，如果數(shù)據(jù)還是沒有出現(xiàn)，請檢查所有的連接和端口部件。每個(gè)流量計(jì)都具有一個(gè)單獨(dú)的地址。同時(shí)，流量計(jì)不能執(zhí)行“后退鍵 Backspace”和“刪除鍵 delete”，所以必須一次準(zhǔn)確鍵入。 2. 然后你可以鍵入 A再回車。如果想繼續(xù)進(jìn)入輪循模式可重復(fù)步驟 1。每個(gè)質(zhì)量流量控制器需要給其一個(gè)單獨(dú)的地址，用同一個(gè)線可以將地址還原并且進(jìn)行單獨(dú)的輪循操作。如果它們沒有變化， 請多次鍵入回車，并且重復(fù)命令。 22 控制器會(huì)讀出當(dāng)前 21 寄存器的值，在 0~65535 之間。 想要調(diào)節(jié) PID 控制器的導(dǎo)數(shù)項(xiàng)“ D”請鍵入 *R22 然后回車。例如，如果你希望“ D”值為 25，那么你可鍵入 *W22=25 然后回車。其命令如下： 流模式： $$ 回車 輪循模式：地址 $$ 回車（舉例說明， A$$ 回車） 在這里， 號(hào)指的是選擇氣體的代碼，具體如下圖。對于體積流量控制器，這里有 3 列參數(shù)對應(yīng)控制器命令、設(shè)定點(diǎn)、和選擇氣體 A + Air A + Air A + Air A + Air A + Air ALICAT 體積流量控制器數(shù)據(jù)格式 對于質(zhì)量流量控制器，這里有 6 列數(shù)據(jù)對應(yīng)流量計(jì)壓力、溫度、體積流量、質(zhì)量流量、設(shè)定點(diǎn)、和被選擇氣體。 2） 在命令 3， 4， 7 時(shí)，回送相應(yīng)信息。 反映在 ASCII 碼上則例如： Air ASCII 碼則對應(yīng)為 amp。54amp。53amp。48amp。48amp。48amp。65amp。49amp。57 對應(yīng) amp。54 0. 000 對應(yīng) amp。48amp。114 回車換行“，”對應(yīng) amp。此時(shí)控制器 4 號(hào)針口輸入信號(hào)方式則變?yōu)槟M輸入！ 同理，開始為模擬輸入的方式時(shí)： 鍵入 *=A， 然后回車，確定已經(jīng)連接 鍵入 *R20， 然后回車，得到一個(gè)數(shù)據(jù)， 請立刻記下這個(gè)數(shù)據(jù)！以便將來返回廠家的初始設(shè)置。體積流量是由流量計(jì)內(nèi)部獨(dú)特的截流裝置兩端的差壓所決定的， Alicat 的這種截流裝置稱為層流部件。這是很重要的，因?yàn)榱髁坑?jì)計(jì)算的流量是在根據(jù)測量溫度下的氣體粘度計(jì)算的。 28 常見問題及技術(shù)支持 顯示屏無顯示或很微弱 檢查電源和地線連接 讀數(shù)不隨實(shí)際在線流量的變化而變化，幾乎固定且接近零點(diǎn)或滿量程 差壓傳感器可能已經(jīng)損壞。 質(zhì)量流量、體積流量、壓力或溫度的顯示閃爍并且顯示“ MOV” “ VOV” “ POV”或“ TOV”流量計(jì)和控制器在傳感器的測量值超出量程時(shí)，會(huì)顯示報(bào)錯(cuò)信息（ MOV=質(zhì)量超量程 ， VOV=體積超量程， POV=壓力超量程， TOV=溫度超量程）。檢查你現(xiàn)在的設(shè)定點(diǎn)信號(hào)，并且是否有正確針口（ PIN）連接，同時(shí)，在設(shè)定點(diǎn)控制模式下是否在“ Input”選項(xiàng)中，選擇了正確的輸入模式。如果 D參數(shù)數(shù)值相對 P 參數(shù)數(shù)值較大， PID 控制的設(shè)置不當(dāng)，也會(huì)引起此現(xiàn)象。在氣體測量時(shí)，兩個(gè)兩量 計(jì)必須是校準(zhǔn)的。 控制器的流量顯示相對于設(shè)定點(diǎn)的改變，顯得緩慢或有時(shí)會(huì)來回?cái)[動(dòng)。使用更粗的電纜，尤其是地線，可以減少電壓衰減。確保與流量計(jì)連接的電腦端口是工作的。根據(jù)流量計(jì)的滿量程，它可有 GRA設(shè)置，來使流量計(jì)具有更高的穩(wěn)定性和可讀性。廠家設(shè)置通常為滿量程的 %。 %讀數(shù)177。 % 滿量程 量程比 100:1 測量和控制 響應(yīng)時(shí)間 100 毫秒（可調(diào)） 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) (STP) 25℃ amp。 **使用 24V 時(shí)需指定 24V線圈 . ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器機(jī)械指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 滿量程范圍 體積流量控制器 滿量程范圍 尺寸 過程連接 壓降 ** （ PSID） ～ 1SCCM ～ 1CCM ″ Hх ″ Wх ″ D 1032UNF * 2SCCM～ 50SCCM 2CCM～ 50CCM *可選 1/8″ NPT 內(nèi)螺紋。 %滿量程 清零后在校準(zhǔn)條件下 高精度 177。 （ ） 無 僅測量 質(zhì)量流量用 溫度范圍 10～ 50 ℃ 零點(diǎn)漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 量程漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 濕度范圍 0100% 無冷凝 測量流量范圍 ％ 滿量程 最大耐壓 150 150* PSIG 輸入 /輸出（數(shù)字） 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度 體積流量 RS232 串口 輸入 /輸出（模擬） 質(zhì)量流量 體積流量 05VDC 可選輸入 /輸出 第二路模擬 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓或溫度 體積流量 05VDC,010VDC 或 420mA 電氣連接 8 針 小型圓插頭 供電電壓 1218VDC（ 420mA 輸出時(shí)為： 1530VDC） ** 供電電流 安裝位置敏感度 0% 安裝后清零 預(yù)熱時(shí)間 ＜ 1 秒 接液材質(zhì) 303amp。 **可選擇更低的壓降，請聯(lián)系廠家。 %讀數(shù)177。302 不銹鋼， Viton174。 尺寸圖請參考第？頁 35 Alicat 氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器性能指標(biāo) 量程范圍 ：＞ 250 SLPM ～ 01500SLPM 指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 體積流量控制器 描述 精度 177。 %滿量程 清零后在校準(zhǔn)條件下 重復(fù)性 177。 RTV 硅樹脂，玻璃纖維增強(qiáng)尼龍，鋁，銅， 410 不銹鋼 *對于體積流量控制器，若入口壓力＞ 10PSIG時(shí)，須同廠家