【正文】 相互校正。校準(zhǔn)表中提供了每個(gè)流量計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)條件。 輸出信號(hào)低于顯示器讀數(shù) 29 有可能是因?yàn)槭褂幂^長(zhǎng)的電纜，而導(dǎo)致輸出信號(hào)產(chǎn)生電壓衰減。 RS232 串行通訊未響應(yīng) 檢查你的流量計(jì)是否通電，并且連接是否正確。 比規(guī)定的響應(yīng)緩慢 體積質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量控制器系列流量計(jì)， 具有 RS－ 232 可編程幾何運(yùn)算平均值（ GRA）的特點(diǎn)。 低流量時(shí)跳到零點(diǎn) 體積流量控制器和質(zhì)量流量控制器系列流量計(jì)， 具有一個(gè) RS232 可編程零點(diǎn)死區(qū)。 新老部件的差異 請(qǐng)看“標(biāo)準(zhǔn)氣體數(shù)據(jù)表”（ 2020 年 10 月修改） 30 標(biāo)準(zhǔn)氣體數(shù)據(jù)表 氣體號(hào)碼 氣體縮寫 氣體全稱 粘度 25℃ PSIA 密度 25℃ PSIA 可壓縮性 25℃ PSIA 0 Air Air 1 Ar Argon 2 CH4 Methane 3 CO Carbon Monoxide 4 CO2 Carbon Dioxide 5 C2H6 Ethane 6 H2 Hydrogen 7 He Helium 8 N2 Nitrogen 9 N2O Nitrous Oxide 10 Ne Neon 11 O2 Oxygen 12 C3H8 Propane 13 nC4H10 normalButane 14 C2H2 Acetylene 15 C2H4 Ethylene 16 iC4H10 isoButane 17 Kr Krypton 18 Xe Xenon 19 SF6 Sulfur Hexafluoride 20 C25 75%Aegon/25%CO2 21 C10 90%Aegon/10%CO2 22 C8 92%Aegon/8%CO2 23 C2 98%Aegon/2%CO2 24 C75 75%CO2/25%Argon 25 A75 75%Argon/25%Helium 26 A25 75%Helium/25%Argon 27 A1025 90%Helium/%Argon/%CO2 (PraxairHelistar A1025) 28 Star29 90%Argon/8% CO2/2%Oxygen (PraxairStargon CS) 29 P5 90%Argon/5%Methane *in microposie(1 Poise=gram/(cm)(sec)) **Grams/Liter (NIST REFPROP 7database) 31 在 25℃氣體黏度，比重和可壓縮性 氣體號(hào)碼 氣體縮寫 氣體全稱 粘度 0℃ PSIA 密度 0℃ PSIA 可壓縮性 0℃ PSIA 0 Air Air 1 Ar Argon 2 CH4 Methane 3 CO Carbon Monoxide 4 CO2 Carbon Dioxide 5 C2H6 Ethane 6 H2 Hydrogen 7 He Helium 8 N2 Nitrogen 9 N2O Nitrous Oxide 10 Ne Neon 11 O2 Oxygen 12 C3H8 Propane 13 nC4H10 normalButane 14 C2H2 Acetylene 15 C2H4 Ethylene 16 iC4H10 isoButane 17 Kr Krypton 18 Xe Xenon 19 SF6 Sulfur Hexafluoride 20 C25 75%Aegon/25%CO2 21 C10 90%Aegon/10%CO2 22 C8 92%Aegon/8%CO2 23 C2 98%Aegon/2%CO2 24 C75 75%CO2/25%Argon 25 A75 75%Argon/25%Helium 26 A25 75%Helium/25%Argon 27 A1025 90%Helium/%Argon/%CO2 (PraxairHelistar A1025) 28 Star29 90%Argon/8% CO2/2%Oxygen (PraxairStargon CS) 29 P5 90%Argon/5%Methane *in microposie(1 Poise=gram/(cm)(sec)) **Grams/Liter (NIST REFPROP 7database) 在 0℃氣體黏度，比重和可壓縮性 32 Alicat 氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器性能指標(biāo) 量程范圍： ～ 050SCCM 指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 體積流量控制器 描述 精度 177。 %滿量程 清零后在校準(zhǔn)條件下 重復(fù)性 177。 RTV 硅樹脂，玻璃纖維增強(qiáng)尼龍 ，鋁，銅， 410 不銹鋼 *對(duì)于體積流量控制器，若入口壓力＞ 10PSIG時(shí)，須同廠家聯(lián)系。 %讀數(shù)177。 % 滿量程 量程比 100:1 測(cè)量和控制 響應(yīng)時(shí)間 100 毫秒（可調(diào)） 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) (STP) 25℃ amp。 **使用 24V 時(shí)需指定 24V線圈 . ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器機(jī)械指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 滿量程范圍 體積流量控制器 滿量程范圍 尺寸 過程連 接 壓降 ** （ PSID） ＞ 50SCCM～ 500SCCM ＞ 50CCM～ 500CCM ″ Hх ″ Wх ″ D 1/8″ NPT 內(nèi)螺紋 1SLPM 1LPM 5SLPM 5LPM 10SLPM 10LPM 20SLPM 20LPM ″ Hх ″ Wх ″ D 1/8″ NPT 內(nèi)螺紋 *可選 1/8″ NPT 內(nèi)螺紋。 %滿量程 清零后在校準(zhǔn)條件下 高精度 177。 （ ） 無(wú) 僅測(cè)量質(zhì)量流量用 溫度范圍 10～ 50 ℃ 零點(diǎn)漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 量程漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 濕度范圍 0100% 無(wú)冷凝 測(cè)量流量范圍 ％ 滿量程 最大耐壓 150 150* PSIG 輸入 /輸出（數(shù)字） 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度 體積流量 RS232 串口 輸入 /輸出（模擬） 質(zhì)量流量 體積流量 05VDC 可選輸入 /輸出 第二路模擬 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓或溫度 體積流量 05VDC,010VDC 或 420mA 電氣連接 8 針 小型圓插頭 供電電壓 2430VDC 供電電流 最大 安裝位置敏感度 0% 安 裝后清零 預(yù)熱時(shí)間 ＜ 1 秒 接液材質(zhì) 303amp。 **可選擇更低的壓降，請(qǐng)聯(lián)系廠家。 %讀數(shù)177。302 不銹鋼， Viton174。 尺寸圖請(qǐng)參考第 36 頁(yè) 。 ALICAT氣體質(zhì)量流量控 制器、體積流量控制器機(jī)械指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 滿量程范圍 體積流量控制器 滿量程范圍 尺寸 過程連接 壓降 ** （ PSID） ＞ 250SLPM ＞ 250LPM ″ Hх ″ Wх ″ D 3/4″ NPT 內(nèi)螺紋 1000SLPM 1000LPM 1500SLPM 1500LPM *可選 1/8″ NPT 內(nèi)螺紋。 % 滿量程 量程比 100:1 測(cè)量和控制 響應(yīng)時(shí)間 100 毫秒（可調(diào)） 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) (STP) 25℃ amp。 %讀數(shù)177。 RTV 硅樹脂，玻璃纖維增強(qiáng)尼龍，鋁，銅， 410 不銹鋼 *對(duì)于體積流量控制器，若入口壓力＞ 10PSIG時(shí)，須同廠家聯(lián)系。 %滿量程 清零后在校準(zhǔn)條件下 重復(fù)性 177。 34 尺寸圖請(qǐng)參考第 35 頁(yè) Alicat 氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器性能 指標(biāo) 量程范圍 ：＞ 20 SLPM ～ 0250SLPM 指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 體積流量控制器 描述 精度 177。302 不銹鋼， Viton174。 %讀數(shù)177。 **可選擇更低 的壓降，請(qǐng)聯(lián)系廠家。 （ ） 無(wú) 僅測(cè)量質(zhì)量流量用 溫度范圍 10～ 50 ℃ 零點(diǎn)漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 量程漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 濕度范圍 0100% 無(wú)冷凝 測(cè)量流量范圍 ％ 滿量程 最大耐壓 150 150* PSIG 輸 入 /輸出（數(shù)字） 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度 體積流量 RS232 串口 輸入 /輸出（模擬） 質(zhì)量流量 體積流量 05VDC 可選輸入 /輸出 第二路模擬 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓或溫度 體積流量 05VDC,010VDC 或 420mA 電氣連接 8 針 小型圓插頭 供電電壓 1218VDC（ 420mA 輸出時(shí)為： 1530VDC） ** 供電電流 安裝位置敏感度 0% 預(yù)熱時(shí)間 ＜ 1 秒 接液材質(zhì) 303amp。 %滿量程 清 零后在校準(zhǔn)條件下 高精度 177。通過 RS232通訊可在滿量程的 0 到 %調(diào)節(jié)死區(qū)。它也會(huì) 導(dǎo)致流量數(shù)據(jù)的響應(yīng)時(shí)間緩慢。確定 RS232 的端口接線是否正確。 體積流量計(jì)的讀數(shù)非常的奇怪，不 協(xié)調(diào)或者不正確 確保你的體積流量計(jì)僅在低壓環(huán)境下（接近大氣壓），和低背壓環(huán)境下，有精確的讀數(shù)。 不恰當(dāng)?shù)?PID 控制設(shè)置會(huì)引起此問題。 ALICAT 質(zhì)量流量計(jì)設(shè)置的標(biāo)準(zhǔn)溫度是 25℃，壓力為。 流量計(jì)不可以和其他流量計(jì)使用一條線路 一般體積流量計(jì)和控制器，不允許和另一個(gè)流量計(jì)，或控制器用在同一個(gè)管路中，因?yàn)樗鼈儠?huì)受到壓降的影響。同時(shí)檢查地線是否連接正確。當(dāng)任何一項(xiàng)閃爍的時(shí)候，則顯示的參數(shù)和質(zhì)量流量測(cè)量數(shù)值都是不精確的。避免安裝時(shí) ,使差壓傳感器所受壓降超過 10PSID。如果氣體不是選擇的，則流量計(jì)的計(jì)算使用的粘度值是不正確的，并且輸出的在兩種不同的氣體粘度的正比結(jié)果是不準(zhǔn)確的。被測(cè)氣體在通過整個(gè)層流部件時(shí)被強(qiáng)制分流為相互平行的流層；因此我們?cè)O(shè)備的運(yùn)行方式都有層流部件所決定。 這個(gè)數(shù)據(jù) 減去 16384，算出一個(gè)新的數(shù)據(jù)。23636 類似于此，輸入信號(hào)也為 ASCII 碼（具體見 ALICAT 操作手冊(cè)）例如 ： *=A回車 為輪循方式 *=A回車 為流方式 $$回車 為輪循方式下選擇氣體、 Address(地址 )$$ 回車 為流方式下選擇氣體 A數(shù)值 回車 為設(shè)定控制點(diǎn)的值 26 Alicat 質(zhì)量流量控制器的設(shè)定點(diǎn)輸入方式切換 通常使用方法如下： 連接質(zhì)量流量控制器，進(jìn)入超級(jí)終端界面下：如果此時(shí)的質(zhì)量流量計(jì)輸入方式為 RS232（ SERIAL） 鍵入 *=A， 然后回車，并確定已經(jīng)連接 鍵入 *R20， 然后回車，會(huì)顯示一個(gè)數(shù)據(jù)， 請(qǐng)立刻記下這個(gè)數(shù)據(jù)！以便將來返回到廠家的初始設(shè)置。48 Air 對(duì)應(yīng) amp。48amp。50amp。52amp。105amp。48amp。32amp。46amp。46amp。57amp。49amp。 當(dāng)接收不正確時(shí)， 1） 地址正確，冗余不正確，回送 0EBH，地址，命令， 01H， 0F5H，冗余。第一列數(shù)據(jù)是指絕對(duì)壓力（通常為 PSIA），第二列數(shù)據(jù)為溫度（通常為攝氏度），第三列數(shù)據(jù)為體積流量，第四列數(shù)據(jù)為質(zhì)量流量。注意，流量控制器顯示屏上的氣體選項(xiàng)也會(huì)相應(yīng)的改變。 你可以通過以下方法改變?cè)O(shè)定點(diǎn)，輸入“ A32020”（ A 是默認(rèn)地址，如果你已經(jīng)通過 RS－232 修改地址，在數(shù)值前的字母也會(huì)相應(yīng)的變化），按回車，來給出一個(gè) 1/2 的滿量程的設(shè)定點(diǎn)，監(jiān)視這個(gè)裝置由此操作引起的變化，確保可以滿足你的需要。 控制器會(huì)讀出當(dāng)前 22 寄存器的值，且在 0~65535 之間。在此最好記錄下這個(gè)數(shù)值，以便你需要恢復(fù)廠家設(shè)置。線性的