【正文】 5Vdc。 模擬輸入（ Analog） 在 MiniDIN 連接器（可查看此手冊(cè)安裝部分的描述）的 4 針上設(shè)置一個(gè)遠(yuǎn)程模擬設(shè)定點(diǎn)。按下右上角的動(dòng)態(tài)標(biāo)示為“ Input”上面的按鍵，直到箭頭指向整個(gè)選項(xiàng)，來(lái)改變?nèi)绾谓o控制器傳輸設(shè)定點(diǎn)。按 “ UP”和“ DOWN” 按鍵，可以長(zhǎng)按來(lái)達(dá)到快速調(diào)節(jié)，也可以反復(fù)的按鍵來(lái)達(dá)到微調(diào)。） 圖 7 選擇菜單顯示 控制設(shè)定點(diǎn)模式（ Control Setup Mode） 按下顯示屏上標(biāo)簽“ Control Setup”上面的按鍵，進(jìn)入控制設(shè)定點(diǎn)模式（如圖 7 所示），在此模式下，設(shè)備允許用戶設(shè)置大部分與 PID 控制有關(guān)的參數(shù)。再按下“ MODE”按鍵則返回主菜單模式。若減小所指出的閃爍參數(shù)值，可使設(shè)備恢復(fù)到正常的狀態(tài)和精確度。 閃爍報(bào)錯(cuò)信息（ Flashing Error Message） :我們的 流量計(jì)和控制器，當(dāng)在傳感器 的測(cè)量值超出量程時(shí)，會(huì)顯示報(bào)錯(cuò)信息（ MOV=質(zhì)量超量程， VOV=體積超量程， POV=壓力超量程， TOV=溫度超量程）。 控制器使用所測(cè)出溫度和絕壓，來(lái)計(jì)算 氣體在一個(gè)大氣壓和溫度為 25℃的狀態(tài)下的流量。參數(shù)顯示在正中下方，并且顯示在標(biāo)示為“ Mass”的正上方。在流量計(jì)的計(jì)算中，如果測(cè)量氣體不是所選擇的，則其粘度值是不正確的，將會(huì)導(dǎo)致輸出結(jié)果也 是不精確，且與兩種氣體的粘度值成正比關(guān)系。為了精確的測(cè)量體積流量，必須選擇測(cè)試氣體的種類(lèi)（詳見(jiàn)氣體選擇模式），這是非常重要的。此參數(shù)顯示在左下角標(biāo)簽（ Volume）的上面。按動(dòng)標(biāo)簽“℃”上方的按鍵（中上方），則此參數(shù)可移動(dòng)到主顯示上。流量控制器利用氣體溫度參數(shù)來(lái)計(jì)算質(zhì)量流量。如果轉(zhuǎn)換為公制， 1 PSI= kPa 氣體溫度（ TEM） :ALICAT 流量控制器，使用溫度傳感器來(lái)測(cè)量被測(cè)氣體的在線溫度。絕壓的工程單位為磅 /立方英寸（ PSIA）。此參數(shù)顯示在左上角動(dòng)態(tài)標(biāo) 簽“ PSIA”的下面。 氣體絕對(duì)壓力（ PSIA） ALICAT 流量控制器采用一個(gè)絕壓傳感器，來(lái)測(cè)量被測(cè)氣體的在線壓力。在主界面中，設(shè)定點(diǎn)不可以調(diào)節(jié)的。 圖 6 MS 系列流量控制器 主模式顯示 “ MODE”功能鍵在顯示屏的右下角，用于在模式之間的切換。如圖 6 所示，在主模式上顯示以下的參數(shù)。另外，您的設(shè)備還可以指定累計(jì)模式（ 39頁(yè)），只要接通電源，設(shè)備就會(huì)出現(xiàn)默認(rèn)的主模式。 ALICAT根據(jù)訂購(gòu)的型號(hào)，有多種顯示“模式”（ MODE）。不同輸出信號(hào)的應(yīng)用取決于訂購(gòu)時(shí)的功能選項(xiàng)。不要把此設(shè)備連接到“電源回路”（ loop powered）中。通過(guò)這個(gè)選項(xiàng)輸出，體積流量計(jì)能夠輸出05Vdc（在 6針上）和 420mA（在 2針上）的體積流量，或者質(zhì)量流量計(jì)可以輸出質(zhì)量流量（ 05Vdc 在 6 針上）和絕壓（ 05Vdc 在 2 針上）。（根據(jù)隨流量計(jì)一起的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)表，來(lái)確定您訂貨時(shí)所選擇的輸出信號(hào)）。 注意 ：這是電流源設(shè)備，不要把此設(shè)備連接到“電壓回路”（ loop powered）中去。信號(hào)的地線在公共端 8 針上。電流信號(hào)為零流量時(shí)對(duì)應(yīng) 4mA，滿量程時(shí)對(duì)應(yīng) 20mA。 選項(xiàng)（ 420mA）電流輸出信號(hào) 如果你的流量計(jì)訂購(gòu)的是 420mA 電流輸出信號(hào)，它將會(huì)連接在 1 針上。輸出電壓在整個(gè)量程過(guò)程中是呈線性的。（根據(jù)隨流量計(jì)一起的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)表，確定您訂貨時(shí)所選擇的輸出信號(hào)。接地端為信號(hào)的公共端 8 針。 這個(gè)通常也是 其他的訂購(gòu)命令的輸出選項(xiàng) ， 電壓對(duì)應(yīng)量程范圍：零流量時(shí)對(duì)應(yīng) ，滿量程時(shí)對(duì)應(yīng) 。在圖 3中，注意圖表顯示的連接“端口”界面圖，連接器在流量 8 計(jì)的上部， DB9 型端口在計(jì)算機(jī)的背部。 RS232 數(shù)字輸出信號(hào) 如果你使用 RS232輸出信號(hào)，按圖 2 所示，必須把 RS232輸出信號(hào)（ 5針）， RS232輸入信號(hào)（ 3 針），和地線（ 8 針）接到你的計(jì)算機(jī)串行口上。 通常容易誤將 2針（ Vdc輸出參考電壓）作為標(biāo)準(zhǔn)的 05 Vdc的模擬輸出信號(hào)！ 實(shí)際上 2 針只是普通的恒定的 電壓，它反映的是系統(tǒng)總電壓，也可以作為輸入信號(hào)的電源。在圖 3中，注意圖表顯示的連接“端口”界面圖，連接器在流量計(jì)的上部， DB9型端口在計(jì)算機(jī)的背部。 RS232 數(shù)字輸入信號(hào) 如果你使用 RS232輸入信號(hào)，按圖 2 所示，必須把 RS232輸出信號(hào)（ 5針）， RS232輸入信號(hào)（ 3 針）， 和地線（ 8 針）接到你的計(jì)算機(jī)串行口上。 可選信號(hào) 4~20mA：如果訂購(gòu)時(shí)選用此模式，則把 420mA輸入信號(hào)將接到 4 針上，公共地線接到 8 針上。在 2 針上有一個(gè) 的電壓輸出，然后通過(guò)一個(gè) 50K 歐姆的電位計(jì)，將轉(zhuǎn)換的模擬輸入信號(hào)再返回到 4 針，這樣就構(gòu)成一個(gè)可調(diào)節(jié)的05Vdc 輸入信號(hào)源。 表中帶 下劃線 的選項(xiàng)，為儀表標(biāo)準(zhǔn)單上注明的可選配置 圖 1 通用 8 針 MiniDIN 連接器針口 注意：禁止連接電源到 1~6 針上以免造成永久的損壞！ 7 輸入信號(hào) 模擬輸入信號(hào) 如圖 1， 4 針連接模擬輸入信號(hào) 標(biāo)準(zhǔn)信號(hào) 05Vdc：標(biāo)準(zhǔn)模擬輸入信號(hào)是 05Vdc，除非訂購(gòu)其它輸入方式。 針數(shù) 功能 MiniDIN 線纜顏色 1 420mA輸出信號(hào)或無(wú)用 黑色 2 或 第二路模擬輸出（ 420mA,5 Vdc,10 Vdc） 或 報(bào)警 褐色 3 RS232 輸入信號(hào) 紅色 4 模擬設(shè)定點(diǎn)輸入信號(hào) 橙色 5 RS232 輸出信號(hào) 黃色 6 05 Vdc（或 010 Vdc）輸出信號(hào) 綠色 7 電源正極輸入（如上所述） 蘭色 8 地線（公共端） 紫色 注解：上面的針輸出說(shuō)明，應(yīng)用在所有的使用 MiniDIN 連接器的流量計(jì)和控制器上。 注意： 420mA 輸出模式時(shí)，電源要求至少15Vdc。電纜和直流 /交流適配器可從制造廠家購(gòu)買(mǎi)（看 45 頁(yè)配 件），或者由當(dāng)?shù)氐闹圃焐讨圃?。如下面的注釋?zhuān)靡粋€(gè)適配器來(lái)使交流轉(zhuǎn)換為直流電壓和電流。不可超過(guò)此壓力，否則測(cè)量數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確，而且還會(huì)給儀表造成損害 。注意體積流量計(jì)和控制器不適合應(yīng)用在高壓或高背壓的環(huán)境中。根據(jù)應(yīng)用的不同，兩個(gè)控制器會(huì)有相同量程，但是型號(hào)會(huì)有所不同 。 如果在線壓力高于 125 PSIG（ 862 kPa） , 應(yīng)當(dāng)在流量控制器的前端管路中，安裝一個(gè)壓力調(diào)節(jié)器，使壓力降低到 125 PSIG（ 862 kPa），或更低壓力。 應(yīng)用 允許最大的在線操作壓力為 125PSIG（ 862 kPa）。推薦閥門(mén)柱體要豎直安裝。小閥門(mén)控制器對(duì)位置通常是不敏感的。 裝配 所有 ALICAT 氣體流量控制器，都帶有方便安裝在平坦的面板上的裝配孔。當(dāng)更換配件時(shí)，一定要先清除螺紋 外部的任何密封帶，否則它們可能會(huì)松落，并進(jìn)入氣流中。當(dāng)使用螺紋密封時(shí)，通常采用特伏龍密封膠帶，來(lái)防止螺紋周邊的泄漏。 配有 1032 端口的控制器，有“ O”型環(huán)面密封，無(wú)須其他的密封劑和膠帶。進(jìn)口和出口尺寸相同，并且是同軸對(duì)稱(chēng)。該手冊(cè)介紹了以下 Alicat 的產(chǎn)品： 16 位 氣體質(zhì)量流量控制器 16 位 氣體體積流量控制器 安 裝 管道設(shè)備 所有 ALICAT 氣體流量控制器，進(jìn)口和出口都是內(nèi)螺紋連接。請(qǐng)仔細(xì)查找和閱讀該操作手冊(cè)。這樣會(huì)使閥門(mén)變得非常熱而永久損壞 確保 根據(jù)你的重新校準(zhǔn)表來(lái)使用產(chǎn)品 如果您有問(wèn)題請(qǐng)聯(lián)系我們。 確保 產(chǎn)品在最佳性能下運(yùn)行 確保 可以調(diào)節(jié)你的控制器 P 和 D 閥參數(shù)設(shè)置，以便適應(yīng)您的系統(tǒng)要求，注意調(diào)節(jié)前的最初設(shè)置 永遠(yuǎn)不要 在沒(méi)有壓力的情況下，來(lái)設(shè)置控制器的非零的設(shè)定點(diǎn)。對(duì)于壓力表和壓力控制器，產(chǎn)品的壓力應(yīng)該在其滿量程之內(nèi)。 確保 設(shè)備經(jīng)常復(fù)位，在復(fù)位的時(shí)候，應(yīng)該確保此時(shí)絕對(duì)沒(méi)有流量通過(guò)。通常使用在 10~15 PSIG（ ~1bar）的壓力下。請(qǐng)查看手冊(cè)中關(guān)于校正附備氣體粘度的指示。 如果可能的話，請(qǐng)確保 在設(shè)備的前端使用一個(gè) 2050 微米）過(guò)濾系統(tǒng)（ 2 設(shè)備操作的建議 確保 質(zhì)量和體積流量計(jì)的標(biāo)定介質(zhì)與測(cè)量介質(zhì)一致。 不要 讓流量控制器的外殼置于任何液體中，因?yàn)楸井a(chǎn)品不具有防水的電氣外殼。 設(shè)備安裝的注意事項(xiàng) 不要快速 的切斷 /開(kāi)啟閥，那樣會(huì)致使流量計(jì)處在瞬時(shí)的高壓下－（尤其重要的是低流量（ 50SCCM 和更低）和小流量的流量線路），因?yàn)槟菢幽茉斐刹顗簜鞲衅鞯膿p壞。 不要 用于任何腐蝕性的氣體，例如：氨，丙烯， HCI， SO2， H2S， NO2， NO，硅 烷，氯，等等 不要 在流動(dòng)氣體，當(dāng)水蒸汽凝結(jié)成水，并堵塞產(chǎn)品內(nèi)部的條件下使用此產(chǎn)品，這樣會(huì)造成壓力傳感器的破壞 不要 使用一個(gè)量程范圍超出實(shí)際測(cè)量值很多的流量計(jì)，例如，不要把 1000 升的量程用在 100升的應(yīng)用上，這樣會(huì)導(dǎo)致流量計(jì)達(dá)不到理想的精度。本設(shè)備無(wú)用戶可維護(hù)部件，并且只能由廠家授權(quán)方維護(hù)或維修。 氣體質(zhì)量流量控制器 氣體體積流量控制器 操作手冊(cè) 10/26/2020 DOCALIMAN16C 1 保護(hù)你的權(quán)益和延長(zhǎng)你的產(chǎn)品使用壽命 設(shè)備應(yīng)用的注意事項(xiàng) 請(qǐng)不要 隨意 拆卸，替換部件，或者執(zhí)行未經(jīng)認(rèn)可的修正。這樣會(huì)使產(chǎn)品失去保修。 不要 在易爆，潮濕或腐蝕的環(huán)境下使用此產(chǎn)品。 判斷 你的流量計(jì)量程，確定工況流量是流量計(jì)滿量程的 70%左右。 在固定或 移動(dòng)配件時(shí)， 不要 讓控制器的閥門(mén)處于受力狀態(tài) —— 閥門(mén)是一個(gè)精密設(shè)備，任何閥徑的扭曲都會(huì)影響產(chǎn)品的控制性能。 保證 電源具有正確的正負(fù)極，電壓和電流 確保在使用一個(gè) DC61 或其他鈍切電纜時(shí)，在通電之前請(qǐng)仔細(xì)檢查你的接線線路。 確保 考慮到了當(dāng)改變測(cè)量氣體或測(cè)混合氣體時(shí)，會(huì)減小質(zhì)量和體積流量計(jì)的 精度，和出現(xiàn)無(wú)法預(yù)測(cè)的結(jié)果。 確保設(shè)備不要 使用在高壓，或高背壓的環(huán)境中。不可超過(guò)此壓力，否則測(cè)量數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確，并且還會(huì)給儀表造成損害。（控制器將在設(shè)定點(diǎn)為零的時(shí)候自動(dòng)復(fù)位） 確保 產(chǎn)品使用在 150PSIG 壓力下。產(chǎn)品特別指定，在低壓使用時(shí)可能會(huì)減小耐壓極限。這樣的話，控制器會(huì)給閥門(mén)提供一個(gè)滿電壓，來(lái)達(dá)到這個(gè)設(shè)定點(diǎn)。我們樂(lè)意為您提供幫助！ 北京頗特儀器有限公司 聯(lián)系電話： 010－ 6442403轉(zhuǎn) 28 分機(jī) 技術(shù)部 3 目錄 頁(yè)數(shù) 安裝 5 管道設(shè)備 5 裝配 5 應(yīng)用 5 電源和信號(hào)連 接 6 輸入信號(hào) 7 模擬輸入信號(hào) 7 RS232 數(shù)字輸入信號(hào) 7 輸出信號(hào) 7 RS232 數(shù)字輸出信號(hào) 7 標(biāo)準(zhǔn)（ 05Vdc）電壓輸出信號(hào) 8 選項(xiàng) 010Vdc 電壓輸出信號(hào) 8 選項(xiàng)（ 420mA）電流輸出信號(hào) 8 選項(xiàng)第 2 路模擬輸出信號(hào) 8 氣體質(zhì)量流量控制器操作說(shuō)明 10 主模式 10 設(shè)定點(diǎn) 10 氣體絕對(duì)壓力 10 氣體溫度 10 體積流量 11 質(zhì)量流量 11 閃爍報(bào)警信息 11 選擇菜單模式 11 控制設(shè)定點(diǎn)模式 12 輸入 12 回路 13 選擇回路 13 氣體選擇模式 14 通信選擇模式 15 部件 ID 15 波特率 15 數(shù)據(jù)速率 15 廠家數(shù)據(jù)模式 16 4 目錄 頁(yè)數(shù) 氣體體積流量控制器操作說(shuō)明 17 主模式 17 體積流量 17 設(shè)定點(diǎn) 17 閃爍報(bào)錯(cuò)信息 17 選擇菜單模式 18 控制設(shè)定點(diǎn)模式 18 輸入 18 選擇回路 19 氣體選擇模式 20 通信選擇模式 20 廠家數(shù)據(jù)模式 20 RS232 輸出和輸入 20 超級(jí)終端的使用和設(shè)置 20 切換流模式到輪循模式 20 通過(guò) RS232 發(fā)送設(shè)定點(diǎn) 21 通過(guò) RS232 線纜調(diào)節(jié)比例和導(dǎo)數(shù)條款 22 選擇一種氣體 23 數(shù)據(jù)格式 24 RS232 通訊協(xié)議基本結(jié)構(gòu) 25 Alicat 質(zhì)量流量控制器的設(shè)定點(diǎn)輸入方式切換 26 操作原理 27 常見(jiàn)問(wèn)題及技術(shù)支持 28 標(biāo)準(zhǔn)氣體數(shù)據(jù)表 30 氣體質(zhì)量流量控制器和體積流量控制器性能指標(biāo) 32 氣體質(zhì)量流量控制器和體積流量控制器尺寸圖 36 選項(xiàng)：累計(jì)模式 39 選項(xiàng)： 9V電池包 40 選項(xiàng)：本地設(shè) 定點(diǎn)模塊 42 選項(xiàng)：高溫選項(xiàng) 43 附件： FlowVision 軟件 44 附件說(shuō)明 45