靜電梳狀驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)與建模開題報(bào)告-預(yù)覽頁(yè)
【正文】 年 月 日 。s the Word for Optical Beam Manipulation [J1 ． IEEE Circuitsamp。這個(gè)軟件，我已經(jīng)在網(wǎng)上下載，而相關(guān)的一些資料在陳老師處給我們一定的提供，這個(gè)軟件我以前沒有接觸過，很難上手，這些問題我會(huì)在課題完成過程中，通過自己看書學(xué)習(xí)和向老師請(qǐng)教克服完成。同時(shí)每隔一定時(shí)間主動(dòng)向老師匯報(bào)畢業(yè)設(shè)計(jì)進(jìn)展?fàn)顩r以得到老師及時(shí)的指導(dǎo)。 大概在 3 月份末 4 月份初的時(shí)候，就必須開始進(jìn)行設(shè)計(jì)，建模與仿真了。用 ANSYS 軟件先對(duì)其進(jìn)行結(jié)構(gòu)建模，然后再對(duì)其進(jìn)行仿真。這種微驅(qū)動(dòng)器是目前 MOEMS 中使用 最廣泛的一種驅(qū)動(dòng)器 ,可用于驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)微鏡 、微掃描器等。在微機(jī)械領(lǐng)域已經(jīng)成為靜電驅(qū)動(dòng)的首選結(jié)構(gòu)。然后設(shè)計(jì)出自己的靜電梳狀驅(qū)動(dòng)器，形狀，尺寸，材料，以及工藝。同時(shí)進(jìn)一步查閱建模和仿真方面以及其他相關(guān)的資料，并對(duì)所查資料進(jìn)行分析，并組織相關(guān)資料，使其使自己知道每一個(gè)知識(shí)點(diǎn)的大體位置，為后面的工作做好充實(shí)的準(zhǔn)備。要清楚自己的整個(gè)制作過程，要能清楚、明了的知道每一個(gè)知識(shí)點(diǎn)的來源和制作步奏，為接下來寫論文和答辯作好準(zhǔn)備。其次就是所需要的軟件， ANSYS 。 參考文獻(xiàn)、資料： [1] LauKY ． ME
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