高端制造裝備協(xié)同創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園工程項(xiàng)目可行性研究報(bào)告-全文預(yù)覽
【正文】 采用項(xiàng)目研發(fā)的可溯源原子力探針掃描顯微鏡，對上海微電子裝備有限公司光刻工藝硅片進(jìn)行高分辨率檢測和分析，提出影響光刻關(guān)鍵尺寸的工藝參數(shù)。 探針隨著表面的起伏上下移動，引起懸臂梁的變形，導(dǎo)致白光干涉顯微鏡下探針懸臂上初始零級條紋中心線移動，通過條紋移動量測量，可知表面的高度變化。 ③ 大范圍觸針掃描傳感器垂直和水平定位的非線性誤差機(jī)理和動態(tài)補(bǔ)償模型 建立相位光柵計(jì)量結(jié)果與測針橫向和水平位移非線性關(guān)系模型，基于該模型，建立對于采樣數(shù)據(jù)的動態(tài)補(bǔ)償模型和算法。 ④多樣性表面形貌與結(jié)構(gòu)特征提取、分析、評定技術(shù) 多樣性表面形貌與結(jié)構(gòu)特征提取、分析、評定，即建立涵蓋多種分析工具的特征分析工具箱、標(biāo)準(zhǔn)評定算法和個(gè)性化評定算法的評定工具箱，共同組成特征提取、分析、評定軟件系統(tǒng)。通過兩個(gè)光電探測器同時(shí)對兩正交方向干涉條紋分析計(jì)數(shù)，便可同時(shí)得到光柵相對位移，從而實(shí)現(xiàn)二維位移同步測量。其次，采用相位光柵干涉技術(shù)，研發(fā)觸針掃描位移傳感器，并基于 10 音圈電機(jī)測力控制設(shè)計(jì)，建立微恒力觸針掃描表面形貌測量傳感器；研究邁克爾遜白光干涉技術(shù)；研究白光干涉垂直定位計(jì)量技術(shù)。 本項(xiàng)目針對我國重大工程和重大專項(xiàng)研究及先進(jìn)制造科研領(lǐng)域多樣化表面形貌測量、分析 和評定不斷提高的現(xiàn)實(shí)需要，及我國表面輪廓測量儀器產(chǎn)品處于低水平，表面形貌三維測量儀器產(chǎn)品尚處于空白的現(xiàn)狀，提出研究開發(fā)系列高端表面形貌測量儀器。 隨著科學(xué)研究和先進(jìn)制造技術(shù)發(fā)展，產(chǎn)品表面形貌與結(jié)構(gòu)越來越多樣化，由傳統(tǒng)工程表面，發(fā)展到越來越多科學(xué)表面，如生物表面、 IC 表 9 面、 MEMS 表面、能源器件表面、信息存儲表面、結(jié)構(gòu)光學(xué)表面、功能表面等，由平滑表面發(fā)展到結(jié)構(gòu)性表面，由簡單幾何表面發(fā)展到自由曲面，由毫米微米尺度形貌發(fā)展到納米尺度形貌，精度要求也越來越高。主要情況見表 1。由于我 國勞動力成本低，目前95%為手工裝配，隨著國外供應(yīng)商在中國不斷地加大采購力度，對圓錐滾子軸承的產(chǎn)量和質(zhì)量都提出了更高的要求，以及勞動力緊缺和勞動力成本的大幅提高，加劇了軸承行業(yè)自動裝配線擴(kuò)展的趨勢。為襄陽汽車軸承股份有限公司打開圓錐滾子軸承國外市場，兩條裝配線貢獻(xiàn)巨大。該項(xiàng)目公司經(jīng)營目標(biāo)為：（ 1）全自動圓錐滾子軸承數(shù)字化裝配線，每年銷售 1－ 2條，穩(wěn)定到每年 2條以上的水平；（ 2）簡易自動圓錐滾子軸承裝配線，前三年每年銷售 2－ 5條，以后穩(wěn)定到每年 5條以上的水平。該裝配線為高科技產(chǎn)品，采用電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、光學(xué)技術(shù)與機(jī)械技術(shù)相結(jié)合，改變了國內(nèi)傳統(tǒng)的手工裝配模式。大量出口國外設(shè)備。進(jìn)入園區(qū)后，進(jìn)一步開發(fā)凸輪軸磨床、曲軸銑磨床、曲軸凸輪軸表面淬火機(jī)床、曲軸凸輪軸探傷機(jī)床、高精膛床等，形成以汽車曲軸為主線的產(chǎn)業(yè)鏈， 5 處于行業(yè)領(lǐng)先水平，提升產(chǎn)能和服務(wù)能力。采用以國家高新項(xiàng)目及其研究成果為核心驅(qū)動，集中高、中、低層人才和技術(shù)骨干，形成成以技術(shù)帶動產(chǎn) 業(yè)、產(chǎn)業(yè)驅(qū)動技術(shù)、隊(duì)伍實(shí)施目標(biāo)、項(xiàng)目促進(jìn)協(xié)同的產(chǎn)、學(xué)、研多位一體的園區(qū)模式。 建有數(shù)字制造裝備與技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、國家數(shù)控系統(tǒng)工程技術(shù)研究中心、國家 CAD 支撐軟件工程技術(shù)研究中心、制造裝備數(shù)字化國家工程研究中心等 4個(gè)國家級科研平臺，科研實(shí)力雄厚。早在 1993年，就建有“智能制造技術(shù)”教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室， 2021 年升格為國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。發(fā)展智能制造裝備是適合國情的集成創(chuàng)新模式的具體體現(xiàn)，它有可能在一些點(diǎn)甚至面上取得獨(dú)創(chuàng)性的重大突破。由高端制造裝備進(jìn)一步發(fā)展后的智能制造裝備是一個(gè)國 家工業(yè)化水平的重要標(biāo)志，對提高裝備制造業(yè)智能化、信息化水平，實(shí)現(xiàn)制造模式的轉(zhuǎn)型升級，保障產(chǎn)業(yè)安全、改善民生、推進(jìn)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，提升我國裝備制造業(yè)核心競爭力具有重要的意義。同時(shí)東莞制造業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展也面臨勞動力缺乏、產(chǎn)品附加值不高、競爭力不強(qiáng)等問題。廣東省作為我國制造業(yè)第一大省，制造業(yè)的產(chǎn)值連 續(xù) 15年排名全國第一， 2021年廣東全部工業(yè)增加值達(dá) ，比 2021年翻了一番，年均增長 %，遠(yuǎn)超過臺灣、新加坡和香港同期增量。 1 目 錄 一、 總論……………………………………………………… 1 （一）制造業(yè)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級的需求迫切……………………………… 1 （二）高端制造裝備與技術(shù)為產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級提供了發(fā)展良………… 1 （三）建立高端制造裝備與技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園意義重大………… 2 二、承建單位基本情況……………………………………… 3 三、方案及建設(shè)規(guī)模………………………………………… 4 （一）高速曲軸磨床及其附件………………………………………… 4 （二）高速高精電磁無損檢測裝備及其附件………………………… 4 （三）圓錐滾子軸承全自動數(shù)字化裝 配線…………………………… 4 （四）高精度制造計(jì)量、測量器具與儀器…………………………… 6 （五）工業(yè)用裝配、測量特種機(jī)械手和機(jī)器人……………………… 10 四、工程方案………………………………………………… 10 （一）總圖……………………………………………………………… 10 （二）輔助工程………………………………………………………… 12 五、環(huán)境保護(hù)與勞動安全…………………………………… 12 （一）建設(shè)地區(qū)的環(huán)境現(xiàn)狀…………………………………………… 12 （二）項(xiàng)目主要污染源和污染物……………………………… ……… 12 （三）項(xiàng)目擬采用環(huán)境保護(hù)方案……………………………………… 13 （四）勞動保護(hù)與安全衛(wèi)生 ………………………………………… 13 六、投資估算與資金籌措…………………………………… 14 （一）投資估算………………………………………………………… 14 （二）資金籌措………………………………………………………… 15 2 七、財(cái)務(wù)、經(jīng)濟(jì)效益評價(jià)…………………………………… 15 （一）年均營業(yè)收入…………………………………………………… 15 （二）年均總成本費(fèi)用………………………………………………… 16 （三 ）年均凈利潤……………………………………………………… 16 （四）投資利潤率……………………………………………………… 16 （五）項(xiàng)目靜態(tài)投資回收期…………………………………………… 16 （六）項(xiàng)目凈現(xiàn)值……………………………………………………… 17 八、風(fēng)險(xiǎn)因素識別及對策…………………………………… 17 （一）政策法規(guī)風(fēng)險(xiǎn)及對策…………………………………………… 17 （二）市場風(fēng)險(xiǎn)及對策………………………………………………… 18 （三）技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)及對策………………………………………………… 18 九、組織機(jī)構(gòu) 及人力資源…………………………………… 19 （一）組織機(jī)構(gòu)圖……………………………………………………… 19 （二）勞動定員………………………………………………………… 20 十、項(xiàng)目實(shí)施進(jìn)度…………………………………………… 20 十一、結(jié)論…………………………………………………… 21 附圖 研發(fā)生產(chǎn)中心平面示意圖 ……………………………………… 21 2 高端制造裝備協(xié)同創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園工程立項(xiàng)報(bào)告 一、總論 數(shù)字
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