【正文】 采用項目研發(fā)的可溯源原子力探針掃描顯微鏡，對上海微電子裝備有限公司光刻工藝硅片進行高分辨率檢測和分析，提出影響光刻關鍵尺寸的工藝參數(shù)。 探針隨著表面的起伏上下移動，引起懸臂梁的變形，導致白光干涉顯微鏡下探針懸臂上初始零級條紋中心線移動，通過條紋移動量測量，可知表面的高度變化。 ③ 大范圍觸針掃描傳感器垂直和水平定位的非線性誤差機理和動態(tài)補償模型 建立相位光柵計量結果與測針橫向和水平位移非線性關系模型，基于該模型，建立對于采樣數(shù)據(jù)的動態(tài)補償模型和算法。 ④多樣性表面形貌與結構特征提取、分析、評定技術 多樣性表面形貌與結構特征提取、分析、評定，即建立涵蓋多種分析工具的特征分析工具箱、標準評定算法和個性化評定算法的評定工具箱，共同組成特征提取、分析、評定軟件系統(tǒng)。通過兩個光電探測器同時對兩正交方向干涉條紋分析計數(shù)，便可同時得到光柵相對位移，從而實現(xiàn)二維位移同步測量。其次，采用相位光柵干涉技術，研發(fā)觸針掃描位移傳感器，并基于 10 音圈電機測力控制設計，建立微恒力觸針掃描表面形貌測量傳感器；研究邁克爾遜白光干涉技術；研究白光干涉垂直定位計量技術。 本項目針對我國重大工程和重大專項研究及先進制造科研領域多樣化表面形貌測量、分析 和評定不斷提高的現(xiàn)實需要，及我國表面輪廓測量儀器產(chǎn)品處于低水平，表面形貌三維測量儀器產(chǎn)品尚處于空白的現(xiàn)狀，提出研究開發(fā)系列高端表面形貌測量儀器。 隨著科學研究和先進制造技術發(fā)展，產(chǎn)品表面形貌與結構越來越多樣化，由傳統(tǒng)工程表面，發(fā)展到越來越多科學表面，如生物表面、 IC 表 9 面、 MEMS 表面、能源器件表面、信息存儲表面、結構光學表面、功能表面等，由平滑表面發(fā)展到結構性表面，由簡單幾何表面發(fā)展到自由曲面，由毫米微米尺度形貌發(fā)展到納米尺度形貌，精度要求也越來越高。主要情況見表 1。由于我 國勞動力成本低，目前95%為手工裝配，隨著國外供應商在中國不斷地加大采購力度，對圓錐滾子軸承的產(chǎn)量和質(zhì)量都提出了更高的要求，以及勞動力緊缺和勞動力成本的大幅提高，加劇了軸承行業(yè)自動裝配線擴展的趨勢。為襄陽汽車軸承股份有限公司打開圓錐滾子軸承國外市場，兩條裝配線貢獻巨大。該項目公司經(jīng)營目標為：（ 1）全自動圓錐滾子軸承數(shù)字化裝配線，每年銷售 1－ 2條，穩(wěn)定到每年 2條以上的水平；（ 2）簡易自動圓錐滾子軸承裝配線，前三年每年銷售 2－ 5條，以后穩(wěn)定到每年 5條以上的水平。該裝配線為高科技產(chǎn)品，采用電子技術、計算機技術、光學技術與機械技術相結合，改變了國內(nèi)傳統(tǒng)的手工裝配模式。大量出口國外設備。進入園區(qū)后，進一步開發(fā)凸輪軸磨床、曲軸銑磨床、曲軸凸輪軸表面淬火機床、曲軸凸輪軸探傷機床、高精膛床等，形成以汽車曲軸為主線的產(chǎn)業(yè)鏈， 5 處于行業(yè)領先水平，提升產(chǎn)能和服務能力。采用以國家高新項目及其研究成果為核心驅(qū)動，集中高、中、低層人才和技術骨干，形成成以技術帶動產(chǎn) 業(yè)、產(chǎn)業(yè)驅(qū)動技術、隊伍實施目標、項目促進協(xié)同的產(chǎn)、學、研多位一體的園區(qū)模式。 建有數(shù)字制造裝備與技術國家重點實驗室、國家數(shù)控系統(tǒng)工程技術研究中心、國家 CAD 支撐軟件工程技術研究中心、制造裝備數(shù)字化國家工程研究中心等 4個國家級科研平臺，科研實力雄厚。早在 1993年，就建有“智能制造技術”教育部重點實驗室， 2021 年升格為國家重點實驗室。發(fā)展智能制造裝備是適合國情的集成創(chuàng)新模式的具體體現(xiàn)，它有可能在一些點甚至面上取得獨創(chuàng)性的重大突破。由高端制造裝備進一步發(fā)展后的智能制造裝備是一個國 家工業(yè)化水平的重要標志，對提高裝備制造業(yè)智能化、信息化水平，實現(xiàn)制造模式的轉型升級，保障產(chǎn)業(yè)安全、改善民生、推進戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，提升我國裝備制造業(yè)核心競爭力具有重要的意義。同時東莞制造業(yè)的進一步發(fā)展也面臨勞動力缺乏、產(chǎn)品附加值不高、競爭力不強等問題。廣東省作為我國制造業(yè)第一大省，制造業(yè)的產(chǎn)值連 續(xù) 15年排名全國第一， 2021年廣東全部工業(yè)增加值達 ，比 2021年翻了一番，年均增長 %，遠超過臺灣、新加坡和香港同期增量。 1 目 錄 一、 總論……………………………………………………… 1 （一）制造業(yè)產(chǎn)業(yè)轉型升級的需求迫切……………………………… 1 （二）高端制造裝備與技術為產(chǎn)業(yè)轉型升級提供了發(fā)展良………… 1 （三）建立高端制造裝備與技術協(xié)同創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園意義重大………… 2 二、承建單位基本情況……………………………………… 3 三、方案及建設規(guī)?！?4 （一）高速曲軸磨床及其附件………………………………………… 4 （二）高速高精電磁無損檢測裝備及其附件………………………… 4 （三）圓錐滾子軸承全自動數(shù)字化裝 配線…………………………… 4 （四）高精度制造計量、測量器具與儀器…………………………… 6 （五）工業(yè)用裝配、測量特種機械手和機器人……………………… 10 四、工程方案………………………………………………… 10 （一）總圖……………………………………………………………… 10 （二）輔助工程………………………………………………………… 12 五、環(huán)境保護與勞動安全…………………………………… 12 （一）建設地區(qū)的環(huán)境現(xiàn)狀…………………………………………… 12 （二）項目主要污染源和污染物……………………………… ……… 12 （三）項目擬采用環(huán)境保護方案……………………………………… 13 （四）勞動保護與安全衛(wèi)生 ………………………………………… 13 六、投資估算與資金籌措…………………………………… 14 （一）投資估算………………………………………………………… 14 （二）資金籌措………………………………………………………… 15 2 七、財務、經(jīng)濟效益評價…………………………………… 15 （一）年均營業(yè)收入…………………………………………………… 15 （二）年均總成本費用………………………………………………… 16 （三 ）年均凈利潤……………………………………………………… 16 （四）投資利潤率……………………………………………………… 16 （五）項目靜態(tài)投資回收期…………………………………………… 16 （六）項目凈現(xiàn)值……………………………………………………… 17 八、風險因素識別及對策…………………………………… 17 （一）政策法規(guī)風險及對策…………………………………………… 17 （二）市場風險及對策………………………………………………… 18 （三）技術風險及對策………………………………………………… 18 九、組織機構 及人力資源…………………………………… 19 （一）組織機構圖……………………………………………………… 19 （二）勞動定員………………………………………………………… 20 十、項目實施進度…………………………………………… 20 十一、結論…………………………………………………… 21 附圖 研發(fā)生產(chǎn)中心平面示意圖 ……………………………………… 21 2 高端制造裝備協(xié)同創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園工程立項報告 一、總論 數(shù)字