《稀土磁致伸縮薄膜》ppt課件-全文預(yù)覽
【正文】 響因素仍然不是十分清楚，相應(yīng)的理論也尚不完善。制備多層膜的出發(fā)點(diǎn)主要是通過增加飽和磁化強(qiáng)度 Ms來降低飽和磁化場(chǎng) Hs ( Hs =2K/Ms)。薄膜的內(nèi)應(yīng)力狀態(tài)可通過改變工藝條件、選用不同熱膨脹系數(shù)的襯底以及后續(xù)處理進(jìn)行調(diào)整。 三、研究現(xiàn)狀 成分對(duì)性能的影響 合金的成分直接影響化合物的磁矩、居里溫度和磁晶各向異性，從而影響薄膜的磁致伸縮性能。作為該能源供給問題的一個(gè)解決方法，便是利用非接觸式驅(qū)動(dòng)的超磁致伸縮功能薄膜型微驅(qū)動(dòng)元件。如利用磁致伸縮效應(yīng)實(shí)現(xiàn)對(duì)閥門的閥口進(jìn)行控制等。 稀土超磁致伸縮薄膜比基體材料位移量大 主要特點(diǎn) 器件微型化 元器件的驅(qū)動(dòng)是無接觸式，靠外加磁場(chǎng)驅(qū)動(dòng) 磁各向異性小、磁滯后小、共振頻率高等 二、應(yīng)用領(lǐng)域 在控制系統(tǒng)中的應(yīng)用 目前，對(duì)包括 微管道 、 微閥 、 微流量計(jì) 、 微泵
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