《稀土磁致伸縮薄膜》ppt課件-全文預覽
【正文】 響因素仍然不是十分清楚，相應的理論也尚不完善。制備多層膜的出發(fā)點主要是通過增加飽和磁化強度 Ms來降低飽和磁化場 Hs ( Hs =2K/Ms)。薄膜的內應力狀態(tài)可通過改變工藝條件、選用不同熱膨脹系數(shù)的襯底以及后續(xù)處理進行調整。 三、研究現(xiàn)狀 成分對性能的影響 合金的成分直接影響化合物的磁矩、居里溫度和磁晶各向異性，從而影響薄膜的磁致伸縮性能。作為該能源供給問題的一個解決方法，便是利用非接觸式驅動的超磁致伸縮功能薄膜型微驅動元件。如利用磁致伸縮效應實現(xiàn)對閥門的閥口進行控制等。 稀土超磁致伸縮薄膜比基體材料位移量大 主要特點 器件微型化 元器件的驅動是無接觸式，靠外加磁場驅動 磁各向異性小、磁滯后小、共振頻率高等 二、應用領域 在控制系統(tǒng)中的應用 目前，對包括 微管道 、 微閥 、 微流量計 、 微泵
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