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稀土磁致伸縮薄膜ppt課件-wenkub

2023-05-27 12:43:02 本頁(yè)面
 

【正文】 目錄 ☆ 二 應(yīng)用領(lǐng)域 ☆ 三 研究現(xiàn)狀 ☆ 一 簡(jiǎn)介 ☆ 四 前景展望 一、簡(jiǎn)介 稀土超磁致伸縮薄膜材料是以稀土超磁致伸縮材料為靶材而制備的一種功能薄膜, 包括(Tb, Dy)Fe薄膜和 SmFe薄膜等。用稀土超磁致伸縮功能薄膜制備的線性超聲微馬達(dá)由 (100)晶向硅晶片基板和具有正磁致伸縮效應(yīng)的TbFe功能薄膜制成。 分子束外延生長(zhǎng) (MBE)法 離子束濺射 (IBS)法 制備方法 三、研究現(xiàn)狀 真空輝閃蒸鍍 (FE) 磁控濺射法 脈沖激光輔助沉積 三、研究現(xiàn)狀 設(shè)備能長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)地工作 成分易于控制 可得到大面積均勻的膜 易形成高熔點(diǎn)物質(zhì)的膜法 磁控濺射法優(yōu)點(diǎn) 膜與基片之間的粘著力強(qiáng) 三、研究現(xiàn)狀 對(duì)于稀土磁致伸縮單層膜,通過改變薄膜成分或優(yōu)化
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