《緒論及工藝基礎》ppt課件-全文預覽
【正文】 f Transistors per Die Source: ISSCC 2022 G. Moore “No exponential is forever, but ?forever? can be delayed” 19 摩爾定律－－晶體管貶值 ? Gordon Moore在 1965年提出了摩爾定律，認為芯片上晶體管的數(shù)目每 18個月增加 1倍，這相當于每個晶體管的 價格同步下降 的過程 ? 假設 1965年一輛豪華跑車的售價是 10萬美元，如果該車的價格也能按照摩爾定律發(fā)展，則目前的售價如何？ 1 . E0 61 . E0 51 . E0 41 . E0 31 . E0 21 . E0 11960 1970 1980 1990 2022 2022$/Transistor$ per Transistor 20 緒論 ? 集成電路的歷史 ? 集成電路的發(fā)展規(guī)律 ? 等比例縮小原則 ? 未來發(fā)展和挑戰(zhàn) 21 MOS器件的發(fā)展：按比例縮小 ? 半導體工藝技術的發(fā)展遵循摩爾定律： ? 新工藝的特征尺寸是前代工藝的 ，即器件密度為前代的 2倍 ? MOS器件的發(fā)展就是按比例縮?。?scaling down）的過程 22 MOSFET縮小趨勢 23 按比例縮小理論 ? 為了跟上摩爾定律，器件尺寸不斷縮小，短溝效應等二級效應出現(xiàn)，為了抑制二級效應，在器件按比例縮小過程中需要遵守一定的 規(guī)則 : ? 恒定電場原則 CE ? 恒定電壓原則 CV ? 準恒定電場原則 QCE 24 ? 器件的橫向尺寸和縱向尺寸縮小 α 倍 ? 外加電壓按同樣比例縮小 ? 襯底摻雜濃度按同樣比例增大 ? 對于相鄰兩代工藝， α ＝ 按比例縮小：CE規(guī)則 AADDDDjjoxox39。 ,/39。/39。 ,/39。239。 ,/39。39。 32KB in 1999 doubling every two years) 35 Worldwide Semiconductor Revenue Source: ISSCC 2022 G. Moore “No exponential is forever, but ?forever? can be delayed” 36 緒論 ? 集成電路的歷史 ? 集成電路的發(fā)展規(guī)律 ? 等比例縮小原則 ? 未來發(fā)展和挑戰(zhàn) 37 Gate Length Scaling 微電子未來發(fā)展 —more moore 38 微電子未來發(fā)展 —more than moore 39 40 微電子未來挑戰(zhàn)：物理極限 ? 1999 – 1000 electrons to change state ? 2022 – 8 electrons to change state ? 2020 1 electron to change state Source: California Computer News, 2022 41 微電子未來挑戰(zhàn)：工藝技術 ? 光刻線條 ?
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