《探針方法測電阻率》ppt課件-全文預(yù)覽
【正文】 DC電源變換器組成。（ b）簿片電阻率測量 簿片樣品因為其厚度與探針間距比較，不能忽略，測量時要提供樣品的厚度形狀和測量位置的修正系數(shù)。 材料 電 阻率式中： S S S3分 別為 探 針 １與２，２與３，３與４之 間 距，用 cm為單 位 時 的 值 ， S1=S2=S3=1mm. 每個探 頭 都有自己的系數(shù)。二 實驗原理體電阻率測量：四探針法測量原理圖 當(dāng)１、２、３、４四根金屬探針排成一直線時，并以一定壓力壓在半導(dǎo)體材料上，在１、４兩處探針間通過電流 I，則２、３探針間產(chǎn)生電位差 V。探 針 系數(shù)(1)(2)（ a）塊狀和棒狀樣品體電阻率測量： 由于塊狀和棒狀樣品外形尺寸與探針間距比較，合乎于半無限大的邊界條件，電阻率值可以直接由（１）、（２）式求出。當(dāng) 圓 形硅片的厚度 滿 足 W/S＜ ， 電 阻率 為 ： 帶擴(kuò)散層的方塊電阻測量 當(dāng)半導(dǎo)體薄層尺寸滿足于半無限大時： 若取 I ＝ I0， I0為該電流量程滿度值，則 R0值可由數(shù)字表中直接讀出的數(shù)乘上 10后得到。具有高靈敏度、高輸入阻抗的直流放大器中將直流信號放大（
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1