探針方法測電阻率ppt課件(已修改)
2025-05-17 18:45 本頁面
【正文】 探針方法測量半導(dǎo)體的電阻率〈 一 〉 實(shí)驗(yàn)?zāi)康摹?二 〉 實(shí)驗(yàn)原理〈 三 〉 儀器結(jié)構(gòu)特征〈 四 〉 操作步驟〈 五 〉 注意事項(xiàng)〈 六 〉 技術(shù)參數(shù)一 實(shí)驗(yàn)?zāi)康睦斫馑奶结樂椒y量半導(dǎo)體電阻率的原理；學(xué)會用四探針方法測量半導(dǎo)體電阻率。二 實(shí)驗(yàn)原理體電阻率測量：四探針法測量原理圖 當(dāng)１、２、３、４四根金屬探針排成一直線時，并以一定壓力壓在半導(dǎo)體材料上，在１、４兩處探針間通過電流 I，則２、３探針間產(chǎn)生電位差 V。 材料 電 阻率式中： S S S3分 別為 探 針 １與２，２與３，３與４之 間 距，用 cm為單 位 時 的 值 ， S1=S2=S3=1mm. 每個探 頭 都有自己的系數(shù)。 C?? 位 cm。 若 電 流取 I = C 時 ， 則 ρ＝ V，可由數(shù)字 電壓 表直接 讀 出。探 針 系數(shù)(1)(2)（ a）塊狀和棒狀樣品體電阻率測量： 由于塊狀和棒狀樣品外形尺寸與探針間距比較，合乎于半無限大的邊界條件，電阻率值可以直接由（１）、（２）式求出。（ b）簿片電阻率測量 簿片樣品因?yàn)槠浜穸扰c探針間距比較，不能忽略，測量時要提供樣品的厚度形狀和測量位置的修
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