《和電子探針》ppt課件-全文預覽
【正文】 電子信號主要來自樣品表層 5~10nm深度范圍，能量較低 (小于 50eV)。 （ 3） 景深 SEM（二次電子像）的景深比光學顯微鏡的大，成像富有立體感。p 觀察時，樣品臺可根據(jù)需要沿 X、 Y及 Z三個方向平移，在水平面內(nèi)旋轉或沿水平軸傾斜。16 二、構造與主要性能 電子光學系統(tǒng) (鏡筒 )偏轉系統(tǒng)信號檢測放大系統(tǒng)圖像顯示和記錄系統(tǒng)電源系統(tǒng)真空系統(tǒng)SEM的構造17 電子光學系統(tǒng)示意圖p 由 電子槍 、電磁聚光鏡、光欄、樣品室等部件組成。技 術 參數(shù) ： (15kV)/(1kV) 電壓 ： ： 25650K 品室尺寸：最大 200mm直徑 樣 品 強 度： 1013到 2X109 主要特點 場發(fā) 射 電 子 槍 ： 108Pa order pressure in Gun 鎖 式 樣 品交 換 、全 對 中大 樣 品臺 動 聚焦、消像散、合 軸 、控制 掃 描速度 品臺 標 配三 軸馬 達卻 動 ，可 選 四、五 軸馬 達 驅(qū)動 日本電子株式會社 (JEOL)14 JSM7001F熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡 KYKY,R=360176。技 術 參數(shù) 領 ： ： 15X～ 250,000X 電壓 ： ～ 30kV 尺寸： Φ60mm（最大） 品臺 1） 標 準 樣 品臺：X=Y=50mm,Z=25mm,T=5176。SEM 特點p 儀器分辨本領較高。p 在最近 20多年的時間內(nèi)，掃描電子顯微鏡發(fā)展迅速，綜合了 X射線分光譜儀、電子探針以及其它許多技術而發(fā)展成為 分析型掃描電子顯微鏡， 分析精度不斷提高，應用功能不斷擴大。5 SEM示例 形貌觀察 SEM TEM金相組織觀察珠光體組織斷口形貌觀察解理斷口沿晶斷口韌窩斷口疲勞斷口SnO納米線的 SEM照片清晨林中漫步11 KYKY2800B型掃描電子顯微鏡 2）大 樣 品臺：X=80mm,Y=50mm,Z=30mm,T=0～ +90176。LTD. 動電 子 槍 導 體背散射探 頭 級圓錐 形物 鏡 ，高精度的 變 焦聚光 鏡 系 統(tǒng) 樣 品室，全 對 中的 樣 品臺，大 視 野 觀 察范 圍 可 觀測 到 2厘米 見 方的 樣 品日本電子株式會社 (JEOL)13 JSM6701F冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡 類似電視攝影顯像的方式 。近年來還開發(fā)了可放置尺寸在 ?125mm以上的大樣品臺。 （ 2） 分辨率
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