《薄膜技術(shù)緒論》ppt課件-全文預(yù)覽
【正文】 ， 1993 ? 曲喜新 ， 楊邦朝 ， 姜節(jié)儉 ， 張懷武編著 . 電子薄膜材料 . 科學(xué)出版社 ， 1997 ? 吳自勤 ， 王兵 . 薄膜生長(zhǎng) . 科學(xué)出版社 ， 2022 ? 薛增泉 ， 吳全德 ， 李浩 . 薄膜物理 . 電子工業(yè)出版社 ， 1991 ? 鄭偉濤 . 薄膜材料與薄膜技術(shù) 。 薄膜科學(xué)的研究?jī)?nèi)容 薄膜研究是以薄膜制備為起點(diǎn)的 , 因此 , 薄膜生長(zhǎng)理論和薄膜制備技術(shù)是薄膜材料研究的基礎(chǔ) 。 其它的分離器件，如發(fā)光二極管、異質(zhì)結(jié)激光器、超晶格與量子阱結(jié)構(gòu) 薄膜磁頭、只讀（ ROM）光盤、一次寫入（ WORM）式光盤、可擦重寫（ EDRAW)式光盤、直接重寫式光盤 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 在信息顯示技術(shù)中的應(yīng)用 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 在信息顯示技術(shù)中的應(yīng)用 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 在信息存貯技術(shù)中的應(yīng)用 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 在日常生活中的應(yīng)用 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 在計(jì)算機(jī)技術(shù)中的應(yīng)用 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 在計(jì)算機(jī)技術(shù)中的應(yīng)用 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 薄膜的分類 薄膜在當(dāng)今和未來都擁有十分廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域 ，尤其是微電子和光電子領(lǐng)域 。 （ 3）電學(xué)性質(zhì)的應(yīng)用 利用其高載流子遷移率、寬禁帶寬度、高擊穿場(chǎng)強(qiáng)、高熱導(dǎo)率和高飽和運(yùn)動(dòng)速度等優(yōu)點(diǎn)。s1 107 ①在所有已知物質(zhì)中為最高值；②在已知所有物質(zhì)中列第二 金剛石的物理性質(zhì) （ 2）熱學(xué)性質(zhì)的應(yīng)用 利用其極高的熱導(dǎo)率。cm 1016 1010 介電強(qiáng)度 /V焊接在工具尖端或直接沉積在工具的表面，提高工具的使用壽命 物理性質(zhì) 天然金剛石 CVD金剛石薄膜 硬度 /GPa 100① 90～ 100 楊氏模量 /GPa 1200① 接近天然金剛石 溫度熱導(dǎo)率 /W(cm應(yīng)用的領(lǐng)域包括石油化工、煤炭氣化及核反應(yīng)堆的機(jī)械部件涂層方面。例如 TiN、 TiC涂層。如石墨導(dǎo)體表面上的 氮化硼 或 氧化鋁 、 氟化銅涂層，到 400℃ 仍有良好的電絕緣性能。在用涂層方法制備出材料組合，則可以有效地發(fā)揮各種材料的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)避免各自的局限性。 ? 從制備技術(shù) 、 分析方法 、 形成機(jī)理等方面系統(tǒng)地研究薄膜材料則起始于上世紀(jì)五十年代 。 ? 薄膜材料由于其在微觀結(jié)構(gòu) 、 宏觀性能等方面所具有的特殊性 , 在科學(xué)技術(shù)發(fā)展和人們的日常生活中發(fā)揮著越來越重要的作用 。進(jìn)入上世紀(jì) 70年代后，透光材料在建筑、裝璜等方面被廣泛應(yīng)用，在房屋、車輛、太陽能電池、太陽能熱水器等的透明光窗上采用增透、防輻射和反射等薄膜。 一般的固體薄膜 ， 乃是由把原子或分子狀的蒸發(fā)粒子沉積 （ 或稱蒸鍍 ） 在表面平滑的基板表面上所獲得 。 ” 該薄膜的膜厚約為 10197。薄膜物理與技術(shù) 教材：唐偉忠 . 《 薄膜材料 制備原理 、 技術(shù)及應(yīng)用 》冶金工業(yè)出版社 32學(xué)時(shí) ， 選修課 緒 論 ? 薄膜科學(xué)的發(fā)展歷史 ? 薄膜的分類 ? 薄膜科學(xué)的研究?jī)?nèi)容 ? 薄膜科學(xué)的基本概念 ? 本課程的主要內(nèi)容 ? 教材及參考書 ① twodimension materials
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1