薄膜技術(shù)緒論ppt課件-wenkub
2023-05-18 06:00:41 本頁(yè)面
【正文】 薄膜科學(xué)的發(fā)展歷史 薄膜科學(xué)的發(fā)展歷史 我們一般可能沒(méi)有特別意識(shí)到薄膜的存在 ， 不過(guò)事實(shí)上在日常生活當(dāng)中 ， 我們可以見(jiàn)到各式各樣的薄膜 。 ? 薄膜材料研究已經(jīng)滲透到物理學(xué) 、 化學(xué) 、 材料科學(xué) 、 信息科學(xué)乃至生命科學(xué)等各個(gè)研究領(lǐng)域 , 薄膜科學(xué)已經(jīng)逐漸發(fā)展成為一門(mén)多學(xué)科交叉的邊緣學(xué)科 。 ? 促使薄膜科學(xué)迅速發(fā)展的重要原因是薄膜材料的強(qiáng)大的應(yīng)用背景 、 低維凝聚態(tài)理論的不斷發(fā)展和現(xiàn)代分析技術(shù)的出現(xiàn)及分析能力的不斷提高 。 涂層材料涉及氧化物、碳化物、氮化物、硼化物陶瓷及金屬間的化合物等，它們具有很高的硬度和熔點(diǎn)，耐磨性和耐化學(xué)腐蝕性能。 高溫電絕緣涂層已在電力、電機(jī)、電器、電子、航空、原子能、空間技術(shù)等方面獲得了廣泛的應(yīng)用。增加其耐熱保護(hù)。 金剛石具有一系列優(yōu)異的物理性質(zhì)，包括 已知物質(zhì)中最高的硬度、耐磨性和彈性模量，極高的電阻率、擊穿場(chǎng)強(qiáng)和很低的介電常數(shù)，寬的光譜透過(guò)范圍，極高的熱導(dǎo)率，極低的線膨脹系數(shù)，很寬的禁帶寬度，極高的載流子遷移率和極高的化學(xué)穩(wěn)定性 。s1 18① 密度 /gs)1 2200① 空穴遷移率 / cm2(V本身又是極好的絕緣材料。 另外，利用金剛石膜制備的聲表面波器件使得工作頻率范圍大大增加；金剛石膜也是很好的光學(xué)窗口材料。 ? 潤(rùn)滑薄膜 用于真空 、 高溫 、 低溫 、 輻射等特殊場(chǎng)合的MoS MoS2Au、 MoS2Ni等固體潤(rùn)滑薄膜 薄膜的分類(lèi) 裝飾薄膜： 廣泛用于燈具 、 玩具 、 汽車(chē)等交通工具；家用電器 、 鐘表 、 工藝美術(shù) 、 日用小商品等 。 ? 界面和表面結(jié)構(gòu) ? 薄膜的缺陷和固體擴(kuò)散 ? 薄膜的成核和生長(zhǎng) ? 薄膜表面動(dòng)力學(xué) ? 薄膜反應(yīng) 、 界面擴(kuò)散和界面遷移 ? 薄膜物理性能 薄膜科學(xué)的研究?jī)?nèi)容 薄膜科學(xué)中的熱點(diǎn)問(wèn)題： ? 薄膜成長(zhǎng)的過(guò)程與影響因素 ? 蒸鍍技術(shù)－熱蒸鍍、電子束蒸鍍、離子束輔助蒸鍍、分子束薄膜成長(zhǎng) ? 濺鍍技術(shù)－ DC濺鍍、 RF濺鍍、反應(yīng)濺鍍、磁控原理 ? 化學(xué)氣相鍍膜技術(shù)－常壓 CVD、 低壓 CVD、 電漿輔助CVD ? 薄膜生長(zhǎng)技術(shù)－材料匹配、應(yīng)力層超晶格、低溫生長(zhǎng) ? 薄膜間的反應(yīng)、相互擴(kuò)散、電遷移等現(xiàn)象 ? 薄膜分析方法－結(jié)晶結(jié)構(gòu)、化學(xué)組成、表面及界面分析、顯微分析 薄膜科學(xué)的基本概念 ? different from bulk materials ? Thin films may be: ? not fully dense ? under stress ? different defect structures from bulk ? quasi two dimensional (very thin films) ? strongly influenced by surface and interface effects ? This will change electrical, magic, optical, thermal, and mechanical properties. 薄膜的特性： 薄膜科學(xué)的基本概念 Typical steps in making thin films: 1.
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